Форвакуумная ловушка
Иллюстрации
Реферат
Союз Советских
Социалистических
Республик о»7733О7 (61) Дополнительное к ввт. саид-ву (22) Заявлено 280778 (21)2649243/25-06 с присоединением заявки Ио (23) Приоритет
Опубликовано 23.10.80. Бюллетень 39
Дата опубликования описания 30. 10, 80 (51)щ, (л 3
F 04 В 37/02
В 01 0 15/04
Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытий (72) Автор изобретения (71) Заявитель
Институт ядерных исследований АН СССР (54) ФОРВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА ным диском посредством сильфона, а в корпуcå между кассетой и подвижным дискам установлена кольцевая диафрагма с уплатнителем, взаимодействующим с послс дним, и корпус снабжен обводным трубопроводом, один конец которо- га подсоединен к выходному патрубку, а другой — введен внутрь корпуса и взаимодействует с уплотнительным элементам.
На чертеже показана ловушка, разрез.
Форвакуумная ловушка содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками, расположенный в нем по оси подвижный шток 4 с дисками 5 и б, один из которых (диск 5) установлен неподвижна, а второй (диск 6) - с возмо>кностью осевого перемещения, и расположенную между дисками 5 и б сорбци- . онную кассету 7. На штоке 4 установлен дополнительный неподвижный диск
8, снабженный со стороны входного патрубка 2 уплотнительным элементом 9 и соединенный с подвижным диском б посредством сильфона 10, à в корпусе
1 между кассетой 7 и падви>хным диском б установлена кольцевая диафрагма 11 с уплотнителем 12. Корпус 1 снабжен обводным трубопроводом 13, 1
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известны форвакуумные ловушки, содержащие корпус с входным и выходным патрубками, расположенный в нем по 5 оси подвижный шток с дисками, один из которых установлен неподвижно, а второй — с возможностью осевого перемещения, и расположенную между дисками сарбцианную кассету j1 1.
В начальный период работы известной лавушки во время прокачки основной массы газа из вакуумной камеры, сарбцианная кассета перекрывается падви>кным диском. Таким образом, до- 15 стигается увеличение ресурса работы ловушки. В известной ловушке необходимы дополнительные устройства слежения за уровнем давления. Шток ловушки перемещается с помощью внешнего при- 20 вода, что усложняет конструкцию и эксплуатацию ловушки.
Цель изобретения - увеличение ресурса работы ловушки при одновременном упрощении ее обслуживания. 25
Указанная цель достигается тем, что на штоке установлен дополнительный.:неподвижный диск,;снабженный со стороны входного патрубка уплотнительным элементом и coeциненный с подвиж-30 (53) УДК 621. 528. 3 66.071.7(088.8) 773307
Составитель Г. Григорова
Редактор И.Ковальчук Техред,Н.Барадулина,Корректор Г.Назарова
Заказ 7 72 5 Тираж 725 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4