Легкоплавкое стекло

Легкоплавкое стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 210878 (23) 2660267/29-33 (5 )

С 03 С 3/12

С 03 С 3/08 с присоединением заявки Йо (23) Приоритет

Государствекиый комитет

СССР ко делам кзобретеккк к открыткй

Опубликовано 3010.80 Бюллетень Но40 (53) УДК 666.112..93:666.117,9 (088.8) Дата опубликования описания 30.1 080 (72} Авторы изобретения

H.H;ÅðìîëåHKî, 3,Ф.Манченко, В.Н.Самуйлова и В.И.Шамкалович

-1>

Велорусский ордена Трудового Красного Знамен;Ф("!:;",. .,„ . политехнический институт

{71) Заявитель (54 ) ЛЕГКОПЛАВКОЕ СТЕКЛО

Pb0

В аз

ZnO

2,5-7,98

4,5-10,0

1,5-9

80-85 и кроме того, 1-3

0,5-3,5 (1j.

L i 0

T i 0

S! o2 въ03

Pb0

Zn0

14

63

16,5 (2) .

Изобретение относится к легкоплавким составам стекол, обладающих комплексом физико-химических свойствт необходиых для защиты отдельных участков интегральных схем, работающих 5 в условиях повышенных механических нагрузок, а также в качестве химической изоляции полупроводниковых приборов.

Известно легкоплавкое стекло, включающее,.вес.%.

Наиболее близко по составу к изоб-Щ ретению легкоплавкое стекло, включающее, вес.Ъ:

Данное стекло имеет КЛТР равный (72+1,5) ° 10 град 1 износоустойчи,вость (пот ри веса) — 2,4-3 г/err 3Q о температуру размягчения 415 10 С, т.пл. 460 С.

Однако укаэанные стекла содержат значительное количество окиси свинца, а также не обладают достаточной иэносоустойчивостью..

Цель изобретения — повышение иэносоустойчивости стекла. указанная цель достигается тем, что стекло дополнительно содержит

В1 02 при следующем соотношении компонентов, вес.Ъ

S i 0

В 0

Ет-03 в о

Замена окиси свинца на окись висмута позволяет значительно увеличить химстойкасть, износоустойчивость стекла и снизить его корроэионное воздействие на огнеупор при варке.

Предлагаемое стекло варят при

1000 С, вырабатывают и измельчают.

Защитное покрытие из предлагаемого стекла наносится на кремниевую подложку методом соосаждения центрифугированием. Толщина пленки находится в пределах 1,5-2 мкм. Температура растекания покрытия составляет 520Компоненты, вес.Ъ

S i 0

7,9 в,оз

4,5

81,38

80,0

B i>0>

85 0

Zn0

Свойства

88,5

82,5

83 9

0,08

0,02

0,04

Кристах- Кристаллов нет лов нет

Кристаллов нет

520

2 10 4 " 10

0,á-0,7 0,3-0 5

0,2"Ор4

Формула изобретения

O 555 С. Внешний вид покрытия характеЬ

1 ризуется равномерной блестящей поверхностью. Поры и включения отсутствуют.

Предлагаемое легкоплавкое стекло по сравнению с прототипом обладает почти в б раз более высокой иэносоустойчивостью, повышенной химической устойчивостью (1 гидролитический класс), хорошими технологическими

Коэффициент теплового расширения, d 10 град

Температура начала размягчения, С

Химическая устойчивость, потери веса в Ъ в воде (ГОСТ 10134-62) Кристаллизационная способность стекол в интервале температур 400-1000 С

Температура оплавления, С

Температура растекания покрытия из порошкообразного стекла, о С

Удельное электрическое сопротивление при 300 С, Ом см

Иэносоус"ойчивость, потери веса г/см (ГОСТ б140-70) Применение предлагаемого стекла в качестве защитных износостойких покрытий интегральных схем в элект. ронно-вычислительных устройствах и химически устойчивых изолирующих . покрытий позволит увеличить надежность и долговечность электронных приборов, свойствами. Оно может использоваться в электронно-вычислительных устройствах для защиты отдельных интегральных схем, работающих в контакте с движущимися элементами (бумагой

М др), а также в качестве химически устойчивых тонкопленочных (1,52 мкм) покрытий полупроводниковых приборов.

Химический состав и свойства предлагаемых стекол приведены в таблице.

455 450 480

60 Легкоплавкое стекло, включающее

Si0<„. В ОЗ, Zn0, отличающеес я тем, чтб, с целью повышения износоустойчивости,,оно дополнительно содержит Вi 0 при следующем соотноше65 нии компонентов, вес.В

775061

Составитель B.Tîâìàñÿû

Т,ехред A.Ач Корректор С. Щомак

Редактор A.Ñîëoâüåâà

Заказ 7646/29 Тираж 528 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская иаб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

510 2,5"7,98

8203 4,5-10,0

Zn0 1,5-9

Bf j03 80-85 . Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе

1. Петрова В.З, и др. Легкоплавкие стекла. Сб. научных трудов по приблемам микроэлектроники (техн серия) . И., МИЭМ, 1969, с. 333-340.

2. Павлушкин Н.М. и Журавлев А.К.

5 Легкоплавкие стекла, М., 1970, с. 108.