Вакуумный молекулярный насос

Вакуумный молекулярный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

gi>775397

Союз Соввтскнк

Соцналнстнчаскнк

Республнк

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6t) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 04.04.78(21) 2621212/25-06 с присоединением заявки М— (23) Приоритет—

Опубликовано 3010.80.Бюллетень М 40

Дата опубликования описания 30. 10. 80 (51)М. Кл.з

F 04 0 19/04

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621 ° 527 ° .8 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Л. A. Беляев и A. Л. Лебедев (71) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конст-рукциям вакуумных молекулярных насосов. 5

Известен молекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие решетки с лопатками, образующими межлопа- 10 точные каналы, причем рабочие решетки подключены к приводу возвратнопоступательного перемещения (1J.

Недостатком насоса является асимметричная форма межлопаточных каналов, вследствие чего за рабочим ходом следует холостой ход, при котором возникает обратный поток, снижающий степень сжатия насоса.

Целью изобретения является устране20

We холостых ходов рабочих решеток и повышение степени сжатия.

Укаэанная цель достигается тем, что каждый межлопаточный канал выполнен симметричным относительно плос- 25 кости, проходящей через его середину .перпейдикулярно направлению перемещения рабочих решеток. Поверхности лопаток выполнены плоскими,криволинейными или зубчатыми. 30

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Вакуумный молекулярный насос содержит корпус (1) z размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие решетки 2 и

3 с лопатками 4 и 5, образующими межлопаточные каналы 6 и 7, причем рабочие решетки 3 подключены к приводу возвратно-поступательного перемещения. Каждый межлопаточный канал выполнен симметричным относительно плоскости, проходящей через его середину перпендикулярно направлению перемещения рабочих решеток. Поверхности лопаток 4 и 5 могут быть выполнены криволинейными или зубчатыми.

На чертеже показано выполнение лопаток 4 и 5 плоскими.

Насос работает следующим образом.

Лопатки 5 рабочих решеток 3, движущихся возвратно-поступательно, передают молекулам откачиваемого газа импульс в направлении откачки. Выполнение межлопаточных каналов 6 и 7 симметричными относительно плоскости, проходящей через их середину перпендикулярно направлению перемещения рабочих решеток 3, исключает холостые

775397

На ар а Вление олк а ки

Составитель В. Кряковкнн

Редактор Т. Горячева Техред Н.Граб КорректорО. Билак

Заказ 7690 5 Тираж 725 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытиЯ

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент",,г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ходы рабочих решеток, тем самым увеличивая вдвое число рабочих ходов.

Поскольку прямой и обратный ходы рабочих решеток являются рабочими, то обратный поток газа практически отсутствует, что приводит к повыаению степени сжатия.

Формула . изобретения .1. Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем параллельными рядами чередующие- О ся направляющие и рабочие решетки с лопатками, образующими межлопаточные каналы, причем рабочие решетки подключены к приводу возвратно-поступательного перемещения, о т л и ч а ишийся тем, что, с целью устранения холостых .ходов рабочиХ решеток и повышения степени сжатия, каждый межлопаточный канал выполнен симметричным относительно плоскости, проходящей через его середину перпендикулярно направлению перемещения рабочих решеток.

2. Насос по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что поверхности лопаток выполнены криволинейными.

3. Насос по и. 1, о т л и ч а юшийся тем, что поверхности лопаток выполнены зубчатымн.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. евторское свидетельство СССР

9 252544, кл. F 04 D 19/04, 1968.