Способ активного контроля толщины пленки

Способ активного контроля толщины пленки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБР ЕТЕ Н И Я

Союз Советских

Социалистических

Республик

7774I 3

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву— (22) Заявлено 28.12.78 (21) 2708287/18-28 с присоединением заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.11.80. Бюллетень № 41 (45) Дата опубликования описания 04.12.80 (51) М Кч G 01 В 15/02

Гасударственный комитет па делам изобретений и открытий (53) УДК 620.179.14 (088.8) (72) Авторы изобретения 1О, Н. Хлопов, В. А. Тучин, А. И. Гуров и В. И. Захаров (71) Заявитель Московский авиационный технологический институт имени К. Э. Циолковского (54) СПОСОБ АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ

ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ

Изобретение относится к средствам автоматизированного контроля соблюдения технологии изготовления узлов и элементов с пленочными покрытиями и может быть использовано для контроля толщины наносимой плен ки непосредственно в зоне нанесения.

Известен способ контроля толщины материала, заключающийся в том, что контролируемый материал индуктивно связывают с СВЧ-резонатором и по параметрам последнего судят о результатах контроля (1).

Однако точность активного контроля этим способом толщины материала в процессе его нанесения на основу недостаточная, так как при установке резонатора в зоне нанесения возможны необратимые изменения его параметров из-за загрязнения стенок резонатора напыляемым материалом.

Известен наиболее близкий к изобретению по технической сущности способ активного контроля толщины пленки, заключающийся в том, что в среде наносимого материала устанавливают СВЧ-четырехполюсник и измеряют его коэффициент передачи, по которому судят о результатах контроля (2).

Однако точность контроля этим способом недостаточная, так как в качестве СВЧчетырехполюсника используют покрываемый материалом узел, параметры которого нестабильные.

Целью данного изобретения является повышение точности контроля.

Эта цель достигается тем, что в качестве СВЧ-четырехполюсника используют отрезок волновода со сквозным каналом, ось которого перпендикулярна продольной оси отрезка волновода, через сквозной канал направляют поток наносимого материала, в котором располагают элемент-«свидетель» и по влиянию его на коэффициент передачи определяют толщину наносимой пленки.

На чертеже приведен эскиз СВЧ-преобразователя, реализующего данный способ.

Он содержит отрезок 1 прямоугольного волновода (СВЧ-четырехполюсник), в стенках которого имеются вырезы 2 и 8, обра20 зующие сквозной канал, в тсотором расположен элемент-«свидетель» 4. Ось сквозного канала перпендикулярна продольной оси отрезка / волновода.

Способ осуществляется следующим образом.

Поток 5 наносимого материала направляют через сквозной канал на подложку (на чертеже не показана); часть материала осаждается на элементе-«свидетеле» 4, вследЗО ствие чего изменяется коэффициент переда777413

Формула изобретения

Составитель А. Духанин

Техред И. Заболотнова Корректор И. Осиповская

Редактор Н. Тимонина

Заказ 1470/1477 Изд. № 545 . Тираж 810 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» чи СВЧ-сигнала, проходящего через отрезок волновода.

По изменению этого коэффициента судят о толщине пленки на подложке. Предварительно на эталонных подложках при соответствующих режимах нанесения материала определяют корреляционные зависимости между изменением коэффициента передачи СВЧ-сигнала и толщиной пленки.

Учитывая время нанесения, можно определить и его скорость.

Способ активного контроля толщины пленки, заключающийся в том, что в среде наносимого материала устанавливают СВЧчетырехполюсник и измеряют его коэффициент передачи, по которому судят о результатах контроля, о т л.и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности контроля, в качестве СВЧ-четырехполюснииа ис5 пользуют отрезок волновода со сквозным каналом, ось,которого перпендикулярна оси отрезка волновода, через сквозной канал направляют поток наносимого материала, в котором располагают элемент-«свиде10 тель» и по влиянию его на коэффициент передачи определяют толщину наносимой пленки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 568839, G 01 В 15/02, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР № 253188, G 01 В 19/88, 1966 (прототип).