Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов

Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВМ ИИЯЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических Республик

<11 78????82 (61) ???????????????????????????? ?? ??????. ????????-???? (5!)??. ????. (22) ???????????????? 250428 (21) 2??09332>

Н 01 1 21/00

Государствеииый комитет

СССР. оо делам изобретеиий и открытий

Опубликовано 1 1180. бюллетень М42

Дата опубликования описания 15,1180 (53) УДК 621. 328 (088.8) (72) Авторы изобретения

П.Е.Шатохин, Д.Д.Шанин, A.Р.Рейнштейн и Л.И.Балюра

Е" " (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ В КАССЕТУ

КРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Недостатками известного устройства является низкая производительность загрузки вследствие того, что вибP атор обеспечивает движение кристаллов по плоскости вибролотка,тольк о в одну сторону с малой амплитудой олеоаний а вакуум в устройстве исФ

1 о ц ользуется для удержания кристалл в

0 при повороте вибролотка на 180 и нв способствует эффективности загрузки. Кроме того, появленке микротрещин и микросколов кристаллов вызывается интенсивным трением кристаллов между собой в связи с высокой (50 Гц) частотой колебаний вибролотка

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть использовано для мехаиизацйй загрузки кассет деталями в радиоэлектронике. известно устройство для загрузки в кассеты плоских деталей типа диска, кристалла, прокладки, содержащее электромагнитный вибропривод, форвакуумный насос и съемный вибролоток с каналами и гнездами; через которые осуществляется вакуумный присос деталей. Однако известное устройство не обеспечивает ориентирован- 15 ной загрузки в кассеты переходов полупроводникоьых приборов 11).

Известно устройство, которое содержит электромагнитный вибратор с постоянной частотой колебаний,.виб- 20 ролоток, установленный на оси вращения, с двух сторон которого имеются трафареты с канавками и гнездами под кристаллы и отверстиями для вакуумного присоса, форвакуумный 25 насос с трехпозиционным распределителем. При работе устройства кристал" лы скользят по поверхности лотка, заполняя поштучно гнезда трафарета.

Излишки кристаллов сходят через от- 30

2 крытый торец вибролотка в емкость.

Загруженный вибролоток, прк включенном вакууме, поворачивается на 180 о вокруг своей горизонтальной оси, при этом гнезда его трафарета устанавливаются соосно с отверстиями направляющей решетки. Под решеткой устанавли-, вается кассета. При выключении вакуума кристаллы под действием силы тяжести из трафарета вибролотка через отверстия решетки пересыпаются в кассету, укладйваясь в гнездах произ, вольно (2) . 780082

Цель изобретения - повышение произ-: водительности работы и уменьшения повреждений переходов - достигается тем- что устройство для загрузки в каСсету кристаллов полупроводниковых

У приборов, содержащее соединенный с вибронриводом вибролоток с гнездами для кристаллов и вакуумный присос, снабжено магнитными захватами и стаканами для загрузки кассет с крис-. таллами, а.вибропривод выполнен в виде двух эксцентриковых валов, установ- 10

""ленных с возмбжностью их синхронного вращения при этом вакуумный приJ. сос соединен с гнездами вибролотка, в каждом из которых размещены магнитный захват и стакан, t5

Вибролоток выполнен в виде платформы с шестью магнитными захватами для установки и фиксации стаканов с кассетами. Устройство снабжено централизованной вакуумной системой, в которой вакуум периодичес ки прерывается двухпозиционным проб- ковым золотником (8 раз в минуту).

Приводы золотника и эксцентриковых валов включаются одновременно, но

25 рабora их независима, Одновременное воздействие прерывистого вакуума и соударений стаканов об упругий груз в процессе вибрации способствуют ориентации и загрузке переходов в кассеты, На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 — разрез устройства по оси эксцентрикового В вала (ближний левый стакан с магнитного захвата условно снят); на фиг. 3$

3 — увеличенное изображение возможных положений кристаллов на плоскости кассеты, Устройство состбит из .корпуса 1, на котором смонтированы дна эксцентриковых вала 2 ° Платформа 3 с помощью кронштейнов 4 установлена на эксцентриковых валах. На платформе смонтированы шесть магнитных захватов 5, на которые устанавливаются стаканы б. g$

Привод эксцентриковых валов осуществляется электродвигателем 7 через клиноременную передачу 8,9,10 и зубчатые пары 11,12. Кассета 13 с помощью заглушки 14 устанавливается в Я стакане б,в который навалом насыпаютчя переходы 15, 16, 17, В кассете имеются сквозные. отверстия размером в 1,5 диаметра электрода, Клапан 18 при установке стакана 6 на магнитный зах- ват 5 опускается вниз, открывая вакуум

Груз 19 закреплен на упругих элементах 20. На трубопроводе централь« ной вакуумной аистемы установлен двухпоэиционный золотник 21 с индивидуаль-40 ным электропривОДОм 22е ЗОлОтник выполнЕИ в виде" пробки со сквозным овальным отверстием.

При вращении золотник эа один Оборот Дважиы перекрывает условный про- 65 ход трубопровода, чем обеспечивается прерывистость вакуума в стаканах (8 раз в минуту) .

Работа устройства осуществляется следующим образом.

Стаканы 6 с кассетами 13 устанавливаются на магнитный захват 5,при этом клапан 18, Утапливаясь, открывает вакуум. Переходы засыпаются в стаканы на поверхность кассеты 13 в количестве в 1,5-2 раза большем, чем число отверстий в кассете. Одновременно включаются электродвигатели

7 и 22 привода эксцентриковых валов и золотника, Вращение электродвигателя 7 через кинематическую цепь:клиноременную передачу 8,9,10 и зубчатые пары 11,12 передается на эксцентриковые валы, которые, вращаясь синхронно, обеспечивают вибрацию платформы 3 с амплитудой, равной двум эксцентриситетам.Частота вибрации платформы 3 регулируется числом оборотов электродвигателя 7, Благодаря вибрации небольшой частоты, но значительной амплитуды, переходы двигаются по поверхности кассеты, подскакивая вверх, меняют свое йоложение в пространстве стакана. Переходы 15, занявшие положение электродом книзу под действием сил вибрации, тяжести и вакуума втягиваются B отверстие кас- . сеты,а в положениях 16 и 17 (см,фиг,3) считаются незагруженными, B случае установки перехода 16 кристаллом на отверстие, вакуум era притягивает к кассете, но так как он прерывает-. ся, то такое положение перехода будет неустойчивым и кратковременным.

Переходы 1б,17 будут двигаться (плясать) по кассете до тех пор, пока не загруэятся в отверстие электродом книзу, Для того, чтббы незагруженные переходы не сбивались в одну сторону в стакане б и равномерно распределялись по поверхности кассеты 13, стакан в процессе вибрации соударяется с грузом 19, закрепленным на упругих элементах 20. После заполнения всех гнезд в кассете стакан снимается с магнитного прихвата, при этом его клапан 18 поднимается, прерывает утечку вакуума, Из стакана с помощью заглушки 14 извлекается кассета и лишние незагруженные переходы высыпаются в тару, Одновременно на платформе могут загружаться 6 кассет, процесс загрузки переходов в других стак"анах аналогичен описанному.

Формула изобретения

Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов, содержащее соединенный с виброприводом вибролоток с гнездами для кристаллов, вакуумный присос, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности

780082

12 Pue.1

1У И умаЗ

BHHHtIH Заказ 933б/19 Тираж 844 Подписное

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 работы и уменьшения повреждений переходов, оно снабжено магнитными захватами и стаканами для загрузки. кассет с кристаллами, а вибропривод выполнен в виде двух зксцейтриковых валов, установленных с воэможностью их синхронного вращения, при этом вакуумный присос соединен с гнезда« ми вибролотка, . в каждом иэ которых размещены магнитный захват H стакан, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 170581, кл. Н 01 .L 21/00, 1963.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 421073, кл. h 01 Ь 21/00, 1972 (прототий) .