Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЮТЕЛЬСТВУ >783360 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.01.79 (2l) 2712194/18-21

{51 )М. Кл.

С 23 С 11/02 с присоединением заявки Но

Государственный комитет

СССР но делам нзобретеннВ. н откратий (23) Приоритет

Опубликовано 30.1i30. Бюллетень HP 44

Датаопубликоваиия описания 011230, {53) УДК 621. 382. .2(088.8) (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

ИЭ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Недостатком известного устройства является низкое качество покрытий.

Цель-изобретения - повышение ка5 чества покрытий.

Это достигается благодаря тому, что устройство для нанесения покрытий иэ газовой фазы, содержащее цилиндрический корпус, нагреватель, охватывающий .его и установленный с возможностью продольного перемещения относительно корпуса, подающий и откачной трубопроводы, снабжено перфорированным коллектором, разделенным на секции глухой перегородкой, размещенным коаксиально корпусу, причем торцы коллектора жестко соединены с подающим и откачным трубопроводами, а трубопроводы жестко соединены с нагревателем.

На чертеже показано устройство в продольном разрезе.

Устройство содержит цилиндрический корпус 1, в который помещено об2с рабатываемое изделие 2 и расположенные внутри его с возможностью продольного перемещения подающий 3 и откачной 4 трубопроводы подачи реагента и откачки продуктов разложейия, неподвижно соединенные между

Изобретение относится к области обработки металлов немеханическими способами, а более конкретно к,получению покрытий на внутренних поверхностях полых изделий путем терморазложения металлосодержащего соединения.

Известно устройство для нанесения покрытий на внутренние поверхности .полых иэделий способом осаждения иэ газовой фазы, содержащее реактор, средства нагрева обрабатываемого изделия, систему подачи и удаления веществ из рабочего объема 11) .

Однако известная конструкция не позволяет осуществлять в процессе обработки равномерного отвода продуктов разложения непосредственно из зоны реакции.

Из известных технических решений наиболее близким по технической сущ" ности к изобретению является устройство для нанесения покрытий иэ газовой фазы, содержащее цилиндрический корпус, нагреватель, охватывающий его и установленный с воэможностью продольного перемещения относительно корпуса, подающий и откачной трубопроводы (2j.

В. A. Чепурнов, A. И. Алексеева, Г. A. Домрачев и Б. B. Жук

783360 собой посредством перфорированного коллектора 5, внутренняя полость ко, торого разделена в зоне A реакции глухой перегородкой на две секции

Б и В, сообщенные с соответствующими трубопроводами, причем подающий трубопровод 3 жестко связан посредтвом держателя 6 штанги 7 с охватыающим корпус 1 нагревателем 8 и сообщен через эластичную трубку 9, снабженную зажимом-регулятором. 10, с ампулой 11, содержащей реагент.

Работа устройства заключается в следующем.

Нагреватель 8 устанавливают в крайнее нижнее положение так, чтобы отверстия в стенках секции в перфорированного коллектора 5 находились на одном уровне с нижним торцом изделия 2. После этого иэделие вакуумируют и включают нагрев. По достижении в зоне А реакции температуры разложения реагента включают его подачу и привод движения нагревателя 8.

Реагент нз ампулы 11 через эластичную трубку 9 с зажимом-регулятором

10 и подающий трубопровод 3 поступает в полость Б перфорированного.коллектора 5, а из нее через отверстия в стенках — в зону A реакции, где происходит его разложение с осажде.нием покрытия. Образующиеся при этом побочные продукты всасываются в секцию В перфорированного коллектора 5, откуда их удаляют через откачной трубопровод 4.

Такая конструкция коллектора и трубопроводов исключает контакт реагента и продуктов его разложения с покрываемой поверхностью вне зоны реакции, благодаря чему снижается ко личество примесей в покрытии и повышается его равномерность по составу и толщине.

Особенно эффективно применение такой конструкции для обработки длиннойерных полых изделий типа труб. формула изобретения

Устройство для нанесения покрытий иэ газовой фазы, содержащее цилиндри1$ ческий корпус, нагреватель, охватывающий его и установленный с возможностью продольного перемещения относительно корпуса, подающий и откачной трубопроводы, о т л и ч а ю щ ер е с я тем, что, с целью повышения качества покрытий, оно снабжено пер" форированным коллектором, разделен- ным на секции глухой перегородкой, размещенным коаксиально корпусу, причем торцы коллектора жестко соединены с подающим и откачным трубопроводами, а трубопроводы жестко соединены с нагревателем.

Источники инфорИЬции, принятые во внимание при экспертизе

30 1. Патент ФРГ 9 2445564, кл. С 23 С 11/02, 1976.

2. Авторское свидетельство СССР ву526681, кл. С 23 С 11/02, 1976.

783360

Заказ 8481/31 Тираж 1074

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открыТий

113035, Москва Ж-35 Раушская наб. . 4 5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул Проектная, 4

Составитель, Л. Беспалова

Редакто Н. Суханова Тех д.H.Г аб Корректор И. Муска .