Устройство для получения пленок в вакууме

Устройство для получения пленок в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Соввтских

Социалистических

Рвснубпим

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВМДВТИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.08.77 (21} 2516115/23-26 (51)М. Кл.

В 01 J 17/00 с присоединением заявки Мо

Гоеударствениый комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 30.11.80. Бюллетень Ко 44

Дата опубликования описания 30. 11. 80 (53) УДН 621.315.592 (088.8) Б.М. Гольцман, М.Г. Камиссарчик, В.A. Кутасов, A.A. Соколова, А.Л. Степанов, В.И. Смыслов и В.И. Язовцев (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к устройствам для получения пленок и может быть использовано в полупроводниковой технике и других отраслях,связанных с получением и использованием пленок, разлагающихся при испарении материалов.

Известны устройства для получения пленок, содержащие вакуумную камеру, подложку и тигель-испаритель, заполненный материалом стехиометрического состава, с подогревателем (1).

Подобные устройства позволяют получать пленку с определенными свойствами и свойствами элементарных материалов сложных составов, не разлагающихся при испарении .

Наиболее близким к предложенному Я является устройство, включающее вакуумную камеру, установленный . внутри нее тигель-испаритель в виде емкости с отверстием для загрузки испаряемого материала, размещенный 2S в графитовом стакане и снабженной нагревателем (2). Это устройство не обеспечивает получения пленок однородных по составу многокомпонентных разлагающихся соединений. 30

Цель изобретения — получение более однородных по составу пленок многокомпонентных разлагающихся соединений, С зтой целью предложено емкость выполнять в виде цилиндра, имеющего в центре по всей высоте цилиндрическую выемку, в нижней части которой имеется капиллярное отверстие и объем которой меньше объема емкости в 10-30 раз, а стакан преимущественно имеет отверстие в центре, диаметр которого равен диаметру выемки.

На чертеже схематически изображено устройство в разрезе.

Устройство включает вакуумную камеру 1, внутри которой установлен стакан 2, снабженный нагревателем

3. Тигель-испаритель выполнен в виде цилиндрической емкости 4, имеющей в центре по всей высоте цилиндрическую выемку 5, в нижней части которой имеется капилярное отверстие 6. Над цилиндром 4 в стакане 2,установлена крышка 7 с отверстием по цилиндру

8, диаметр которого равен диаметру выемки. Над крышкой установлена обрабатываемая подложка 9. Для загрузки исходного материала в цилиндрической

783374 емкости 4 имеется отверстие и шлиф

10.

Устройство работает следующим образом.

Для получения пленок многокомпонентных разлагающихся соединений стехиометрического состава в выемку 5 перед. испарением помещают материал, по составу смещенный в сторону избытка труднолетучего компонента этих соединений. При испарении такого соединения в первый момент испаряются компоненты соединения в отношении, соответствующем стехиометрическому составу пленок (затем будет испарятся материал, обедненный легколетучими компонентами). Чтобы сохранить этот состав постоянным на все время испарения, необходимо подпитывать его материалом стехиометрического состава, который помещают в цилиндрическую емкость 4.

При этом перед испарением количества соответствующих материалов таковы, что после расплавления уровни в емкости 4 и выемке 5 сравниваются и начинается перетекание матеРиала из емкости 4 по капилярному отверстию 6. Испаряемый материал конденсируется на подложке 9.

3а счет постоянной подпитки испаряемого материала получают пленки с идентичным составом и свойствами.

В результате высокой однородности по составу получены пленки

B iq Sb<> Te с термоЭЛС с(— 260 мкВ/град, что выше в сравнении с исходным материалом, у которого

oh = 170 мкВ/град.

Формула изобретения

1. Устройство для получения пленок в вакууме, включающее вакуумную камеру, установленный внутри нее тигель-испаритель в виде емкости с отверстием для загрузки испаряемого материала, размещенной в графитовом стакане и снабженной нагревателем, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью получения более однородных по составу пленок, много15 гокомпонентных и разлагающихся сое динений, емкость выполнена в виде цилиндра, имеющего в центре по всей высоте цилиндрическую выемку, в нижней части которой имеется капиллярЩ ное отверстие и объем которой меньше объема емкости в 10-30 раз.

2. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что графитовый стакан имеет отверстие по центру, диаметр которого равен диаметру вы25 емки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Пленочная микроэлектроника.

Под. ред. Л.Холленда. М., "Мир", 1968, с. 193.

2. Технология тонких пленок.

- Под ред. Майссела. т.1. М., "Совет ское радио", 1977, с. 90-92 (прототип) .

733374

10 .г б

Составитель В. Безбородова

Редактор Е. ДайЧ Техред Й.Коштура Корректор Г. Решетник

Заказ 10066 Тираж 809 Подписное

ВНИИПИ Государственного коьытета СССР по делам изобретений и открытий . 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5r

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная,4