Устройство для сортировки стапелированных плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, разделенных кольцевыми прокладками

Устройство для сортировки стапелированных плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, разделенных кольцевыми прокладками

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

«i>783890 (61) Дополнительное к авт. свид-ву

{51}М. Кл.

Н 01 L 21/00

{22) Заявлено 16.0279 (21) 2728334/18-21 с присоединением заявки É9Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 3011.80. Бюллетень Но 44 (53) УДК 621.382.3.

002 72 (088 8) Дата опубликования описания 10. 12. 80 (72) Авторы . изобретения

В.A,ÑàÔîíîâ и P.A.Ñèäîðîâà (71) Заявитель

1 (54) УСТРОИСТВО @Sr СОРТИРОВКИ СТАПЕЛИРОВАНйЫХ

ДЕТАЛЕИ, ПРЕИМУЬДСТВЕННО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, РАЗДЕЛЕННЫХ КОЛЬЦЕВЫМИ ПРОКЛАДКАМИ

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для обеспечения высокопроизводитель-ной загрузки установок плазмохимичес" кого травления фасок полупроводни- " 5 новых пластин.

Известно устройство перегрузки хрупких изделий,.содержащее транспортирующее приспособление, вакуумный щуп, держатель с большим числом 1Î прорезей и упорные поверхности (1) . устройство предназначено для поштучной переукладки изделий.

Недостатком этого устройства является небольшая производительность 15 иэ-за холостого хода держателя и затрат дополнительного времени на переключение вакуума.

Известно устройство для сортировки плоских деталей, содержащее пита- 2О тель, транспортирующий диск с размещенными на его периферии профилированными ячейками, выполненными открытыми с его торцовой стороны, и приемники для деталей (2). 25

Недостатком известного устройства является его низкая производительность

Цель изобретения - повышения производительности. 30

Это достигается тем, что устройство для сортировки стапелированных плоских деталей, преимущественно полупроводниковйх пластин, разделенных кольцевыми прокладками, со« держащее питатель, транспортирующий диск с размещенными на его периферии профилированными ячейками, выполненными открытыми с его торцовой стороны, приемник для полупроводниковых пластин и приемник для кольцевых прокладок, снабжено платформой, кинематически связанной с транспортирующим диском, который снабжен подпружиненными фигурными штырями, при этом питатель выполнен в виде направляющих, каждый подпружиненный фигурный штырь размещен в каждой второй профилированной ячей» ке транспортирующего диска, а приемники для полулроводниковых пластин н кольцевых прокладок размещены на тлатформе, установленной с возможностью поступательного перемещения в плоскости, перпендикулярной плоскости транспортирующего диска.

На чертеже изображена кинематическая схема устройства для сортировки стапелированных плбских деталей, преимущественно полупроводниковых

783890 пластин, разделенных кольцевыми про кладками.

Устройство состоит из направляющих 1 для установки пакета 2, набранного иэ полупроводниковых пластин с кольцевыми прокладками между ними. Эксцентрично оси пакета 2 вращается транспортирующий диск 3 касательно к нижнему торцу пакета 2 вокруг оси 4 от привода 5. На периферии транспортирующего диска 3 выпол- © нены профилированные ячейки,б и .7, открытые с торцовой стороны транспортирующего диска.

В ячейках 7 установлены фигурные штыри 8 в виде грибка, подпружиненного пружиной 9 вверх. Верхняя часть 1$ грибка совпадает с плоскостью транспортирующего диска 3. В нижней части фигурных штырей 8 имеется выступ.

Под нижней частью транспортирующего диска 3 установлен неподвижно ролик Я

10.

За нижней частью транспортирующего диска 3 установлены приемник 11 для полупроводниковых пластин и при- емник 12 для кольцевых прокладок, находящиеся на одной платформе 13, перемещающейся по винту 14 на разрезной гайке 15. Винт 14 вращается череэ зубчатую передачу 16 от сектора 17, установленного на транспортирующем диске 3, на котором установлена ограничительная планка 18.

Направляющие 1 установлены перпендикулярно плоскости транспортирующего диска 3, при этом направляющие

1, транспортирующий диск 3 и платфор- З5 ма 13 установлены наклонно.

Устройство работает следующим образом.

Пакет 2 полупроводниковых пластин, набранный через прокладки (прокладки имеют форму кольца), поступивший с операции плазмохимической обработки, устанавливается в направляющие 1. Пакет 2 торцом ложится на верхнюю плоскость транспортирующего диска 3.

При его вращении полупроводниковая пластина может запасть только н ячейку б, в ячейку 7 ей не позволит запасть фигурный штырь 8, причем при вращении транспортирующего диска 3 первой идет ячейка 7, чтo предотнра" щает забор ячейкой б кольцевых прокладок. После эападания пластины в ячейку б она поворачивается вместе с транспортирующим диском 3 до нижнего положения, где и соскальзывает под 55 действием силы тяжести в приемник

11. Для предотвращения преждевременного соскальзывания установлена ограничительная планка 18.

Кольцевая прокладка из пакета 2 под действием силы тяжести попадает в ячейку 7, поворачивается нместе с транспортирующим диском 3 до нижнего положения и может соскользнуть только в приемник 12, так как фигурный штырь 8 опустится и освободит кольцевую прокладку, только войдя но взаимодействие с неподвижным роликом 10, установленным напротив приемника 12. 3а двумя ячейками б и .7 на транспортирующем диске 3 установлен зубчатый сектор 17, который войдя во нзаимодейстние с зубчатой, передачей 16 вращает винт

14 на однй оборот, поднимая разрезную гайку 15 на шаг и вместе с ней платформу 13 с приемниками 11 и 12.

После того как приемники 11 и 12 заполнятся, оператор снимает разрезную гайку 15 и опускает платформу

13 в нижнее положение. Эатем устанавливает на нее пустые приемники

11 и 12. Далее цикл повторяется, I

Производительность устройства

2000 пластин и прокладок в час °

Формула изобретения устройство для сортировки стапелиронанных плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, разделенных кольцевыми проклад-ками, содержащее питатель, транспортирующий диск с размещенными на его периферии профилиронакньми ячейками, выполненными открытыми с его торцовой стороны, приемник для полупроводниковых пластин и приемник для кольцевых прокладок, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено платформой, кинематически связанной с транспортирующим диском, который снабжен подпружиненными фигурными штырями, при этом питатель выполнен и виде направляющих, каждый подпружиненный фигурный штырь размещен в каждой второй профилированной ячейке транспортирующего диска, а приемники для поЛупроводниковых пластин и кольцевых прокладок размещены на платформе, установленной с возможностью поступательного перемещения в плоскости, перпендикулярной плоскости транспортирующего диска.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент СЩА Р 3.923.342, кл. 302-2, опублик. 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 165828, кл. Н 01 F 41/02, 1963 (прототип).

783890

Составитель :I.Гришкова

Редактор Н.Суханова Техред N.éeòêî Корректор,O.Kîâèíñêàÿ б

Заказ 8562 57 Тираж 844 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4