Вакуумный натекатель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) @51} F 16 К 5 12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 2791862/25-08 (22) 05.07.79 (46) 07 ° 06.84. Бюл.. 9 21 (72) О.К. Курбатов, В.К..Лилье, Б.Г. Львов и A.È. Шихов (71).Московский институт электронного машиностроения (53) 621.646(088.8) (56) 1. Патент ГДР Р 188403, кл. F 16 К 5/12, опублик. 1976.

2. Патент CtQA 9 2884078, кл. 251-209, опублик. 1945 (прототип). (54) f57} ВАКУУМНЫЙ НАТЕКАТЕЛЬ с установненной в корпусе уплотнительной втулкой с радиальными отверстиями, в расточке которой установлен поворотный затвор с соосным глухим и радиальным сквозным каналами, о т л ич а ю:шийся тем, что, с целью расширения Функциональных воэможностей, на наружной поверхности затвора концентрично его оси выполнены парал. лельные пазы с различной площадью поперечного сечения, соединенные с одного конца со сквозным радиальным каналом затвора, причем вторые их концы последовательно смещены один относительно другого.

784446. Изобретение относится к области арматуростроения.

Известен игольчатый вакуумный натекатель, в корпусе которого установлен.игольчатый регулирующий орган, - перемещение которого изменяет величи- 5 ну проходного сечения устройства (1).

Известен вакуумный натекатель с установленной в корпусе уплотнительной втулкой с радиальными отверстиям ми, в расточке которой установлен по-10 воротный затвор с соосным глухим и радиальным сквозным каналами (2).

Недостатками известных- устройств явяяются резкое изменение величины газового потока и неэцачительный диа-15 паэон действия.

Белью изобретения является расширение функциональных воэможностей.

Поставленная цель достигается тем, что на наружной поверхности затвора квнцентрично его оси выполнены параллельные пазы с различной площадью поперечного сечения, соединенные с одного конца со сквозным каналом затвора, причем вторые их концы последовательно смещены один относительно другого.

На фиг.:1 показан вакуумный натека- тель в разрезе; на фиг ° 2 — вид по стрелке А; на фиг. 3 — сечение

Б-Б; на фиг.,4 - вид по стрелке В.

В корпусе 1 с проходными каналами

2 и 3 установлена уплотнительная второпластовая втулка 4 с радиальным каналом 5 и нажимная втулка б. В расточке втулки 4 установлен поворотный Ç5 затвор 7 с радиальйым сквозным 8 и глухим 9 каналами. На наружной поверхности затвора 7 концентрично его оси выполнены параллельные пазы

10-13 с различной площадью попереч- 40 ного сечения, соединенные с одного конца со сквозным радиальным каналом 8 затвора. Другие концы поспедовательно смещены один относительно другого . 45

Работает клапан следующим образом.

В закрытом положении вакуумного натекателя затвор 7 герметично перекрывает канал 5 втулки 4. Для создания необходимого парциального или общего давления в вакуумной системе затвор 7 поворачивается на определенный угол. При этом канал с наибольшим углом развертки пересекает канал 5 и напускаемый газ перетекает по каналу 10 через радиальный канал

8, канал 9, проходной канал 3 в вакуммную систему. Вследствие значительной длины канала 10 и его малого сечения достигаются весьма малые потоки газа. Регулирование газового потока обеспечивается изменением длины канала 10.После поворота затвора 7 на угол смещения глухого конца канала 10 относительно глухого конца канала 10 источник газа соединяется с каналом

11 и напускаемый гаэ, продолжая перетекать по каналу 10, который в этом случае уже не оказывает существенного влияния на газовый поток, вследствие меньшей площади сечения в сравнении с каналом 11, течет но каналу 11.

На этом участке регулирования величина газового потока определяется параметрами канала 11.

В дальнейшем натекатель работает аналогично. При этом последовательно увеличивается газовый поток. Для увеличения диапазона регулирования потока газа последний канал или несколько каналов могут быть выполнены пере менного сечения. 1аким образом дости . гается значительный диапазон регулирования потока напускаемого в вакуумную систему газа с ббльшой точностью при незначительном угле поворота вала, что обеспечивает малое время сра батывания.

Задавая соответствующее число каналов, определенные площади сечения и углы смещения, можно обеспечить заданный закон напуска газа.