Способ измерения плоских концевых мер и диаметров шариков методом интерференции

Способ измерения плоских концевых мер и диаметров шариков методом интерференции

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

И 78518

Класс 42Ь, 12

СССР >» >

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЛОСКИХ КОНЦЕВЫХ МЕР

И ДИАМЕТРОВ ШАРИКОВ МЕТОДОМ ИНТЕРФЕРЕНЦИИ

Заявлено 28 ноября 1946 года в Министерство машиностроения и приборостроения за № О748 (349912)

Опубликовано 28 февраля 1950 года

831

Предметом изобретвния является способ измерения плоских концевых мер и диаметров шариков, основанный на явлении интерференции.

Известны того же назначения способы измерения плоских концевых мер и диаметров шариков методом интерференции, основанные на двукратном отражении от .противоположных поверхностей измеряемо

10 объекта одного из днтерферирую щих пучков лучей.

В предлагаемом способе измерения плоских концевых мер и диаметров шариков отраженный пучок лучей идет обратно по прежнем у направлению. Блатодаря этому один из интерферирующих лучей д|важды отр ажа ется от . противоположных поверхностей концевой меры, падая по нормалям к этим поверхностям. Это позволяет применить данный метод для измерения диаметров шариков.

На фиг. 1 и 2 изображена оптическая схема интерферометра, ис пользуемого для осуществления способа, в двух вариантах исполнения.

Q — лампочка накаливания L— конденсорная линза, М вЂ” коллиматор> К > К > Кз и К4 — кубики с полупрозрачной диагональю, N> и

Л4я — плоские зеркала с наружным алюминированием, R — измеряемая плитка Иогансона, P> — стеклянная плоскопараллельная пластинка, Ря— клиновый компенсатор, Т вЂ” зрительная трубка.

Кубик К разделяет падающий на него параллельный пучок лучей на два пучка. Пучок 1 после отражений от диагоналей четырех кубиков падает в зрительную трубку Т.

Пучок 11 проходит через кубик Кь отражается от первой по. верхности калибра Я, после чего последовательно отражается от диаго нали кубика Кь от зеркал N и N, 07 диа гонал и кубика Кя и,падает на вторую поверхность калибра R, от разившись от которой, проходит черм;кубик Кя и падает в зрительную трубку. Пучки 1 и П интерферируют между собой. Кубики Ка и К4 служат для компенсации толщины стекла, проходимого пучком П в кубиках К и К2, а также и для соответствующего ослабления пучка 1.

В окуляр зрительной трубки видна система прямых интерференционных полос, ширину и наклон которых можно регулировать, например, поворотами кубика К4. № 78518 — 2 ——

Фиг. 1 фиг. 2 к, N(Р«

832

Первоначально устанавливают в положение R эталонный калибр и совмещают нулевую интерференционную полосу с центральной нитью в окуляре, после чего заменяют эталонный калибр измеряемым. Если толщины этих калибров отличаются друг от друга, то интерференционные полосы сместятся в ту или другую сторону. Смещение нулевой полосы измеряют при помощи влнтового окулярного микрометра или, в случае больших смещений, при помощищ комаенсатора Р>.

Интерферометр подобного типа может быть йрименен также для измерения диаметров и эллиптичности шариков, что имеет большое значение для миниатюрных птарико подшипников. В этом случае, (фиг. 2) прибор снабжается дополнительными объективам и 0> и 02, соби рающими падающие на них параллельные пучки лучей в одну точку, с которой совмещен центр измеряемого шарика R.

Телескопические системы S и S2 служат для компенсации толщины Отв. редактор М. М. Акишии стекла, проходимого пучком П в объективах 0 и 02.

Установив в положение Я сначала эталонный, а затем измеряемый шарик, измеряют смещен не нулевой интерференционной полосы. Перемещение шарика вдоль оптической оси не вызывает смещения полос, а также мало сказывается и перемещение его перпендикулярно оси.

Это позволяет быстро контролировать шарики, укладывая их один за другим в специальное гнездо.

Предмет изобретения

Способ измерения плоских концевых мер и диаметров шариков методом интерференции, . основанный на двукратном отражении m противоположных поверхностей измеряемого объекта одного из интерферирующих,пучков лучей, о т л и ч а ю щи йс я тем. что, с целью устранения разности хода, этот интерферирующий пучок направляют по нормалям к отражающим поверхностям.

Редактор А, И. Киселев