Устройство для ориентации подложек

Устройство для ориентации подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<и)790041 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08 -12 - 78(21) 2694967/18-21 с присоединением заявки ¹(23) Приоритет

Опубликовано 231280, Бюллетень № 47 (51)М. Кл.з

Н 01 L 21/70

Н 05 К 3/00

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621. 382. 77. ,039 (088. 8) Дата опубликования описания 23.12. 80

Р. Э. Курыло, К. М. Рагульскис и Р. П. Шаткус (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК

10 ника (1) .

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано в оптико-механических приборах, в координатных измерительных устройствах. 5

Известно устройство для ориентации подложек, содержащее основание, координатный стол и расположенные между ними пьезокерамические элементы, снабженное демпфирующим элементом соединяющим основание с координатным столом, а упомянутый координатный стол выполнен в виде круглой мембраны, на поверхности которОй жестко закреплены пьезокерамические элементы с образованием шестиугольНедостатком известного устройст- 20 ав является сложность конструкции, заключающаяся в трудности подбора демпфирующего элемента для исключения отражения волны.

Известно устройство для ориента- 25 ции подложек, содержащее координатный стол и основание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезокерамические элементы t 2 . 30

Недостатком этого устройства является малый возможный диапазон перемещений, сложность конструкции.

Цель изобретения — расщирение функциональных возможностей.

Указанная цель достигается тем, что устройство для ориентации подложек, преимущественно микросхем, содержащее координатный стол и основание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезокерамические элементы, снабженно соединительными пластинами, каждая из которых одним концом жестко закреплена на одном из пьезокерамических элементов, д другим — с координатным столом с возможностью фрикционного взаимодействия, при этом пьезокерамические элементы подпружинены.

На фиг.1 показана схема устройства; на фиг.2 — вид устройства сверху.

Устройство содержит основание 1, в котором выполнено. четыре паза 2, расположенных в форме креста. В пазах 2 упруго, например, прн помо.ди пружин 3, установлены стержнсобразные пьезокерамические элементы 4.

Электроды стержнеобразных пьс. <,ке790041

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 9046/52 Тираж 844 Подписное

4 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, рамических элементов расположены на боковых (вертикальных) плоскостях и разделены накрест на четыре зоны

5,6,7 и 8.

На концах пьезокерамических элементов 4 жестко закреплены пластины 9. На пластинах 9 помещен с воз— можностью фрикционного взаимодействия столик 10.

Устройство работает следующим образом.

При подключении двух напротивлежащих зон, например 5 и 8, стержнеобразных пьезокерамических элементов 4 к источнику высокочастотного напряжения через коммутирующее устройство (не показано) пьезокерамические элементы 4 совершают продольные и поперечные (в вертикальном направлении) колебания. Пьезокерамические элементы 4 питаются. на частоте продольного резонанса. Собственная частота колебаний пьезокерамических элементов 4 в поперечном направлении отличается от частоты колебаний в продольном направлении, поэтому имеется сдвиг по фазе продольных и поперечных колебаний . Концы пьезокерамических элементов, на которых закреплены пластины 9, совершают эллипсообразные движения, столик 10 совершает поступательное движение.

Реверсирование осуществляется подключением двух других зон, например

6 и 7, к источнику высокочастотного напряжения посредством переключающего устройства (не показано) .Движение по одной из координат осуществляется подключением к источнику высокочастотного напряжения двух напротиволежащих пьезокерамических элементов 4, движение по другой подключением других пьезокерамических элементов 4.

Устройство позволяет упростить конструкцию, исключая необходимость подбора демпфирующего элемента. Наилучшими динамическими характеристиками устройство обладает при coosношении продольного и поперечного размеров (в вертикальном направлении) пьезокерамического элемента 4.

Устройство для ориентации подло1 жек, преимущественно микросхем, содержащее координатный стол и основвание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стерж- необразные пьезокерамические элемен;Щ ты, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что с целью расширения функциональных возможностей, оно снабжено соединительными пластинами, каждая из которых одним концом жестко закреплена на одном из пьезокерамических элементов, а другим — с координатным столом с возможностью фрикционного взаимодействия, при этом пьезокерамические элементы подпружинены.

ЗО

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР по заявке 9 2608445/18-21, 35 кл. Н 01 L 21/70, 21..04.78.

2. Авторское свидетельство СССР

9 541305, кл. Н 05 К 3/00, 06.01.75 (прототип).