Зондовая головка для измерения электрических параметров микросхем

Зондовая головка для измерения электрических параметров микросхем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социапистнческих

Республик

< 790372

1 т

Г (6I ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 25. 1 1.78 (2 I ) 2689459/18-21 (51 ) М. Кл.

Н 05 К 1/04

Н 01 Гс 9/09 с присоединением заявки М

Гааударатввииый комитет

СССР (23)Ilриоритет по делам иэааретеиий и открытий

Опубликовано 23.12.80. Бюллетень М 47

Дата опубликования описания 23.12.80 (63) УДК621.315, .684(088,8 ) (7..I ) Заявитель (54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА йЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

ПАРАМЕТРОВ МИКРОСХЕМ

Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано при контроле. микросхем не неразрезанной пластине.

Известны зондовые головки, содержащие размещенные в диэпектрическом корпусе зонды, в виде заостренных стержней с диэлектрическим покрытием, позволяю- . щим уменьшить шаг между зондами Pl).

Однако введение диэлектрика между зондами приводит к увеличению паразитных емкостей системы, что значительно ухудШает ее электрические параметры.

Известны зондовые головки для измерения электрических параметров микросхем содержащие зонды в виде заостренных стержней, соединенные экранированным заземленным коаксиепьным кабелем с измерительным прибором, позвопящие измерять динамические параметры микросхем на неразрезанной пластине $2).

2Q

Однако эти зондовые головки имеют ограниченный частотный диапазон измерения динамических параметров микросхем.2 в области высоких частот из-аа наличия значительных; межконтактных паразитных емкостей между открытыми зондами.

Цель изобретения — расширение частотного предела измерения динамических параметров микросхем.

Поставленная цель достигается тем, что в зондовой головке для измерения электрических параметров микросхем, содержащей размещенные в диэпектрическом корпусе зонды в виде заостренных стержней с диэлектрическим покрытием, соеди ненных экранированным коаксиапьным кабелем с йзмерительным прибором, каждый зонд снабжен металлической оболочкой, которая размещена на диэлектрическом покрытии, соединена с экраном кабеля и заземлена.

На фиг, 1 изображена схема зондовой головки, на фиг. 2 — зонд дпя измерения электрических параметров микросхем.

Зондовая головка содержит диэпектрический корпус 1 с зондодержатепями 2, в которых зекреппены зонды в виде зеост3 7 903 ренных стержней 3 и экранированные коаксиальные кабели 4 для соединения с измерительным прибором 5. Контролируемая пластина расположена на предметном столике,6.

5 центрапьная жили 7 кабеля 4 соединена со стержнем 3 зонда, На поверхность стержня 3 нанесено диэлектрическое покрытие — пленка 8, например фторопластовая, а сам зонд размещен в металпической обопочке 9 (например. медь, серебро).

Металлическая оболочка 9 зонда соединена с экраном 10 кабепя и заземлена.

Зондовая головка работает следующим образом.

If

Зонды, число которых соответствует числу зондируемых точек прибора, размещают в зондодержателях зондовой головки.

Визуально проводится настройка зондов на контактные площадки пластины и переФ и мещением предметного столика осуществляется контактирование.

Предлагаемая зондовая головка позволяет наряду с контролем статических параметров проводить предварительные измере- ..

5 ния динамических параметров высокочастотных микросхем на пластине до герметизации их в корпусах, т.е. позволяет свести к единому критерию оценки качества приборов как на пластине, так и в корпусе

ЗО

72 4 по высокочастотным параметрам. Введение единого критерия оценки приооров на пластине и в корпусном исполнении позво. ляет выявить брак "годных" полупроводниковых приборов на ранних стадиях технологического процесса.

BH

Т Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул.Проектная, 4

Формула изобретения

Зондовая головка для измерения электрических параметров микросхем, содержащaII размещенные в диэлектрическом корпусе зонды в виде заостренных стержней с диэлектрическим покрытием, соединенных экранированным коаксиальным кабелем с измерительным прибором, о т л и ч а— ю щ а я с я тем, что, с целью расширения частотного предела измерения динамических параметров микросхем, каждый зонд снабжен металлической оболочкой, которая размещена на диэлектрическом покрытии, соединена с экраном кабеля и заземлена.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР и 586577, кл, Н 05 К 1/04, 1975.

2. Патент США N 3911.361, кл. 324-158, 1977 (прототип).