Резистивный материал

Резистивный материал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ п>791783 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (51)М, Кл.

С 22 С 27/02

Н 01 В 1/02 (22) Заявлено 260279 (21) 2733349/18-21 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 3012.80. Бюллетень HP 48

Дата опубликования описания 3p128p

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621 315. ,5(088.8) (72) Авторы изобретения

Н.В, Андреев, А,М, Ломакин и Ю,B Тренин (71) 3а яв итель (5 4 ) РЕЗИСТИВНЫИ МАТЕРИАЛ

Изобретение относится к области— радиотехники и может быть использовано при изготовлении переменных ниэкоомных металло-пленочных резисторов и плавнопеременных аттенюаторов.

В известных резистивных элементах в качестве резистивного материала для уменьшения контактного сопротивления использованы пленки благородных металлов, например, палладия 111.

Однако этот материал не обеспечивает требуемой износоустойчивости.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является 15 резистивный материал, используемый для создания постоянных металлопленочных резисторов с низким температурным коэффициентом сопротивления и высокой стабильностью. Он содер- 20 жит от 50 до 90 вес.Ъ металла, выбранного из группы:платина,родий,иридий, палладий, золото, серебро и не менее, чем два металла выбранных иэ группы: вольфрам, рений, тантал, 25 молибден, гафний, цирконий, ниобий в количестве от 10 до 50 вес. % g2).

Однако использование этого сплава в тонкопленочных переменныя резис-, торах не позволяет получить высокую износоустойчивость резистивных элементов, так как его основу 50-90е составляет относительно мягкий ниэ- ° коомный благородный металл.

Цель изобретения — повышение износоустойчивости.

Для достижения поставленной цели резистивный материал, содержащий тантал и палладий, содержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес.Ъ:

Тантал 55-94

Палладий 6-45.

Содержание палладия в слое эа пределами 6-45 вес.Ъ приводит к значительному ухудшению свойств материала. Например, уменьшение содержания палладия до 3 вес.В при прочих равных условиях приводит к возрастанию контактного сопротивления до 21 Ом, а увеличение содержания палладия до 50 вес.Ъ ведет к потере иэносоустойчивости. Необратимое относительное изменение сопротивления резистивного слоя с 50%-ным содержанием палладия достигает 15% через 100000 перемещений подвижного контакта.

Нанесение тонкопленочных слоев из предлагаемого резистивного материала осуществлялось на подложке из

791783 сопротивление осаждаемой пленки ,по контрольному образцу. Варьируя скоростями осаждения тантала и палладия, получали пленки резистивного материала с различным соотношением компонентов.

Основные характеристики пленок, полученных иэ предлагаемого реэистивного материала с различным содержанием тантала и палладия, приведены .в таблице.

21

0,5

0,2

100

97

0,2

0,6

40

1,2

1,5

0,5

60 40

55 45

50 50

0,5

8,0

2,0

0,4

4,0

Из таблицы следует, что на основе реэистивного материала могут быть получены тонкопленочные резисторы с удельным поверхностным сопротивлением.

20-80 Ом/g, выдержиьающие до 100000 циклов перемещений подвижного контакта иэ графита при нагрузке на него

3,7 10 н/м1. Относительное изменение сопротивления при этом составляет

0,6-0,8%, а контактное сопротивление находится в пределах 0 5-12 Ом. В то время, как у переменных металлопленочных резисторов, типа СП2-3 необратимое изменение сопротивления уже 4О после 500 циклов перемещения скользящего контакта может достигать 10%.

Уменьшение содержания палладия в предлагаемом материале менее 6% приво дит к резкому возрастанию контактного сопротивления, а увеличение его выше

45% — к потере иэносоустойчивости.

Использование реэистивного материала с предлагаемым содержанием исходных компонентов позволяет получить тонкопленочные реэистивные слои с высокой износоустойчивостью при одновременном сохранении малого по величине и стабильного в процессе эксплу- атации контактного сопротивления, т.е. дает возможность создавать значитель- И

Формула изобретения

Составитель В. Ленская

Техред М,Голинка Корректор Л. Иван

Редактор Т.Рыбалов

Заказ 9403/?6 Тираж 694 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 ситалла путем одновременного испарения в вакууме иэ отдельных источников массивного тантала и палладия, причем испарение тантала производилось иэ электронно-лучевого испарителя, а палладия - из реэистивного.

Давление остаточных газов в вакуумной камере составляло 1,3 1(Г Па.

В процессе напыления контролировалась гемпература подложки, скорость испарения тантала и палладия, а также ное контактное давление в 5-10 раз

l превышающее давление в известных конструкциях металлопленочных потенциометров. Это позволяет избежать появления "дробовых" эффектов при перемещении подвижного контакта по резистивыому слою, которые особенно отрицательно сказываются на характеристиках плавнопеременных аттснюаторов при этом уменьшается начальный скачок сопротивления и расширяется частотный диапазон работы плавнопеременных аттенюаторов.

Реэистивный материал, содержащий тантал и палладий, о т л н ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения .износоустойчивости, он содержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес.%:

Тантал 55-94

Палладий 6-45

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США к3629776,кл. 338-140, 1опублик. 1975.

2.Патент CILIA 93833410 кл.117/227, опублик. 1977 (прототип).