Устройство для нанесения покрытийв вакууме

Устройство для нанесения покрытийв вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОИ:КОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09, 01. 79 (21) 2712959/18-21 (51)М. Кл.з

С 23 С 13/08 с присоадииаи нем за явки ¹

Государственный комитет

СССР во делам нэобретений и открытнй (23) Г1риоритет—

Опубликовано 150181. Бюллетень ¹ 2

Дата опубликования описания 18. 01. 81 (53) УДК 621. 793. .12 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. В. Ворошнин, P. P. Стыркш, М. П. Рудик, М. A. Федчук и P. Р. Берзин

ll г <

Специальное художественно-конструкторское и п технологическое бюро Министерства местной про

Латвийской ССР (71) Заявитель (54)УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ мех<ду направляющими, выполненными в виде призмы с двумя пазами на каждой из ее граней.

На чертех<е представлена конструк5 ция устройства.

Устройство состоит иэ корпуса вакуумной камеры 1, вращающегося барабана 2, выполненного в поперечном разрезе направляющих 3, в которые

10 вставляются в виде решеток кассеты 4 с обрабатываемыми изделиями 5. Мех<ду внешними и внутренними направляющими 3 установлены экраны 6. Барабан 2 размещен эксцентрично относительно корпуса камеры 1 на роликах 7 и получает вращение от привода (на черте><е не показан). Внутри камеры закреплены испарители 8 и 9, служащие для распыления и нанесения металла на поверхность изделий. Необходимое разрежение в камере 1 обеспечивается вакуумной системой (на чертеже не показана).

Устройство работает следующим об25 разом.

Кассеты 4 с закрепленными в них изделиями 5 устанавливаются в направляющих 3 барабана 2. Затем при достижении под действием вакуумной

30 системы необходимого разрежения внутИзобретение относится к нанесению покрытий в вакууме, например металлиэации поверхности зеркал.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, барабан и испарители (13.

Недостатком устройства является то, что воэмох<но нанесение покрытий только на одну сторону подложек,размещенных на поверхности барабана.

Наиболее близким по. технической сущности к предлагаемому является устройство для нанесения покрытий в вакууме, содер>кащее барабан с направляющими для кассет с обрабатываемыми иэделиями, испарители, располох<енные внутри и вне барабана (2)

Недостатком данного устройства являются небольшие технологические возмо>хности.

Цель изобретения — расширение технологических возмох<ностей устройства.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для нанесения покрытий в вакууме, содерх<ащее барабан с направляющими для кассет с обрабатываемыми иэделиями, испарители, размещенные внутри и вне барабана, снабжено экранами, расположенными

796247

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 9709/37 Тираж 1059 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 ри корпуса вакуумной камеры 1 при вращающемся барабане 2 включаются испарители 8 и 9, которые обеспечивают равномерное покрытие легкоплавким металлом одной из стороны изделий 5, обращенных к испарителям.При этом в процессе нанесения покрытия экраны 6, перекрывая одну из сторон кассет с изделиями, способствуют тем самым только одностороннему нанесению покрытий на изделия. При работе испарителей 8 и 9 металлизируются изделия. 5, размещенные в два ряда по периферии барабана. По окончании процесса нанесения покрытия кассеты

4 с изделиями 5 после того, как прекратится вращение барабана, извлекаются из камеры 1, и цикл повторяется вновь.

Внедрение в производство данного устройства дает возможность модернизировать существующие вакуумные установки для металлизации зеркал типа УВ-18. Это позволяет увеличить производительность установки на 60% за счет более рационального использования рабочего пространства вакуумной камеры. При этом не требуется увеличения производственных площадей.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее барабан с нап-. равляющими для кассет с обрабатываемыми изделиями, испарители, размещенные внутри и вне барабана, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возмо>кностей устройства, оно снабжено экранами, расположенными между направляю1S щими и выполненными в виде призмы с двумя пазами на каждой из ее граней.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Щ 1."Зарубежная электронная техника", 1971, 9 12, с. 82.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 425986, кл. С 23 С 13/08, 30.04,74 (прототип).