Прибор для определения скорости откачивания вакуумными насосами и измерения вакуумной проводимости

Прибор для определения скорости откачивания вакуумными насосами и измерения вакуумной проводимости

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

М 79674

1К,ласс 42о, 1

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ,1- « «1

» 1

Г. И, Дркин l

I .ПРИБОР ДЛЯ .ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ ОТКАЧИВАНИЯ—

ВАКУУМНЫМИ НАСОСАМИ И ВАКУУМНОЙ ПРОВОДИМОСТИ

Заявлено 31:января 1948 года в Комитет по изобретениям и открытиям при Совете Министров СССР за ЛЪ 373767

Опубликовано 31 января 1950 года

Предметом изобретения является прибор для определения скорости откачивания вакуумньгми насосами и измерения вакуумной проводимости с применением манометров.

Отличительной осо бенностью гпредлагаемого прибора является соединение испытуемого насоса, регулируемых дросселей и манометров по схеме моста Уитстона.

На фиг. 1 и 2 приведены пневматические схемы предлатаемого прибора при использовании его для вышеуказанных измерений. Здесь имеются следующие обозначения:

Дрз — регулируемый дроссель, соединенный с атмосферой; Кр — кран, соединяющий дроссель Др> с прибором; К, и W> — регулируемые дроссели, у которых устанавливается одинаковая вакуумная проводимость, W — измеряемая вакуумная проводимость; Др — отградуированный дроссель; М, и

М вЂ” манометры, измеряющие давление соответственно в точках А

И В; ДН И ФН вЂ” дИффуЗИОННЫй И форвакуумный насосы; ББ — балластный баллон.

Перед производством измерений между точками А и С (фпг. 1) при помощи дросселей В,, 1Г» и 5pi устанавливается соответствующий период давлений, Затем кран Кр ставится в такое положение, при котором манометр

М измеряет давление в точке А.

Изменяя вакуумную проводимость дросселя Дрь можно добиться равных показаний у манометров Mi и М>, при которых проводимость йзмеряемого элемента Ю „будет равна проводимости дросселя Др,.

Если необходимо оценить величину течи в вакуумной системе по ее вакуумной проводимости, то первая подключается одним концом к точке А. Дроссель Др при этом соединяется с атмосферой, после чего измерения производятся вышеописанным о бр а зом.

««

При измерениях скорости откачки в ветвь 1 моста (фиг. 2) включается испытуемый насос, а в ветвь

2 — насос с известной скоростью откачки н отградуированный дроссель gpg. При этом проводимости ветвей 8 и 4 должны быть равны.

Для действительной скорости откачки Se в ветви 2 справедлива

1 формула Se, где /S — из,+ Р вестная скорость откачки насоса, 2и7

М 79674

Фиг. !

248 / — вакуумная проводимость дросселя в этой ветви. Регулируя дроссель Дрь можно добиться совпадения показаний манометров М и AI>, причем скорость Se будет равна скорости откачки у испытываемого насоса.

Предмет изобретен и я

Прибор для определения скорости откачивания вакуумными насосами и измерения вакуумной проводимости с применением манометров, присоединенных к вакуумной системе, составленной из испытуемого объекта, форвакуумного и диффузионного насосов, балластного баллона между ними и трубопроводов с кранами и регулируемыми дросселями, о тл и ч а ю щ ий с я тем, что испытуемый насос и три регулируемые дросселя, в том числе один градуированный, последовательно к которому приключен контрольный насос с известной скоростью откачивания или измеряемой проводимостью, соединены по схеме моста Уитстона с установленными в двух его узловых точках манометрами, по равенству показаний которых определяют равенство скорости откачивания испытуемого и контрольного насосов или равенство вакуумных проводимостей испытуемого объекта и градуированного дросселя.