Микроинтерферометр

Микроинтерферометр

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Класс 42h, 34ы.% 80251

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

А. Н. Захарьевский

МИКРОИ НТЕРФЕРОМЕТР

Заявлено 10 ноября 1948 года в Комитет по изобретениям и открытиям при Совете Министров СССР за ¹ 887552

Опубликовано 3! января 1950 года

Предмет изобретения

Микроинтерферометр, отличающийся тем, что, с пелыо лолу275

Предметом изобретения является усовершенствование интерференционных микроскопов, предназначенных для определения весьма малых перемещений или для определения чистоты поверхностей.

Существующие микроинтерферометры имеют тот недостаток, что ерез их разделительные кубики проходит только один интерферирующий луч, а следовательно, при изменениях параметров этих кубиков с течением времени (вследствие, например, старения бальзама, склеи«акпцего две части кубика) апертуру микрооб ьектива нельзя полностьюю исп ол ь зов ать.

В предлагаемом микроинтерферометре этот недостаток устранен тем, что, с целью полу"чения интерференционной картины в белом свете и возможности применения оолее сильных микрообъективов, его интерферометрическая часть выполнена из двух плоских пластинок, разделенных слоем воздуха и расположенных параллельно или под малым углом одна к другой.

На фиг. 1 схематично изображен микроинтерферометр с осветителем в разрезе; на фиг. 2 — ход лучей в интерферометре; на фиг. 3, 4 и 5— различные варианты осуществления

18к интерференции света при помощи плоско-параллельных пластинок.

Осветитель 1 (фиг. 1) отбрасывает луч света через микрообъектив 2 и интерферометр 8 на испытуемую поверхность 4. В зависимости от характера этой поверхности в картинной плоскости 5 будут наблюдаться интерференционные поло. сы в белом свете.

Интерферометр 8 состоит из полупрозрачного слоя 6 и небольшого зеркального (посеребренного) участка поверхности 7. Полупрозрачный слой нанесен на плоско-параллельные пластинки 8 и9 (фиг. 3 и 4) или на обе стороны одной пластинки 10 (фиг. 5). Пластинки могут быть разделены слоем воздуха (фиг. 3) и могут не быть разделены им (фиг. 4), а также могут оыть установлены параллельно или под малым углом одна к другой. Для повышения яркости и контрастности полос, а также для уменьшения рефлексов непосеребренные поверхности пластинок просветляются и металлизируются. — 2 № 80251

Фиг. 3

Фиг. 2

Фиг. 1 вг

Фиг. 5

Фиг. 4

7 б

2(6 чения интерференционной картины в белом свете и возможности применения более сильных микрообъективов, его интерферометрическая часть выполнена из двух плоских пластинок, разделенных слоем возОтв. редактор M. М. Лкишии духа или же полупрозрачным слоем и расположенных параллельно или под малым углом одна к другой таким образом, чтобы в обеих ветвях микроинтерферометра длина хода луча была одинакова.

Редактор B. Г. Шальнев