Турбомолекулярный насос

Турбомолекулярный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советскиз

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 110777 (21) 2506334/25-06 (51) М. КЛ.

=Ф с присоединением заявки ¹â€”

F 04 0 19/04

Государствеииый комитет

СССР по деяам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано О? 02,81. Бюллетень № 5 (53) УДК 621.527. . 8 (088. 8) Дата опубликования описания 0702,81 (72) Авторы изобретения

В. И. Бойцов и Б. В. Иванов

Московский ордена Трудового Красного Знамени институт химического машиностроения (7! ) Заявитель (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуум ной технике и касается устройства турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный насос, содержащий корпус со статорными дисками и ротор с роторными дисками (1).

Недостатками этого насоса являются сложность конструкции и высокие требования к точности расположения роторных дисков относительно статорных.

Известен также турбомолекулярный насос, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками, в которые встрое- 15 ны магнитные вставки, и установленный по оси корпуса вал, несущий лопаточные роторные диски, выполненные из магнитного материала 2).

Недостатками такого насоса явля- 20 ются сложность конструкции и ограниченность рабочего диапазона.

Цель изобретения — упрощение конструкции и расширение рабочего диапазона.

Это достигается тем, что лопатки ротор 1blx дисков выполнены гибкими и имеют одноименные полюса на входных кромках и противоположные им полюса на выходных кромках, а встав- 30 ки расположены по окружности статорных дисков и выполнены в виде электромагнитов, полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса.

На фиг. 1 представлен общий вид насоса; на фиг. 2 — роторный диск насоса.

Турбомолекулярный насос содержит корпус 1 с укрепленньми на его внутренней поверхности статорными дисками 2, в которые встроены магнитные вставки 3, и установленный по оси корпуса 1 вал 4, несущий лопаточные роторные диски 5, выполненные из магнитного материала, причем лопатки 6 роторных дисков 5 выполнены гибкими и имеют одноименные полюса на входных кромках и противоположные им полюса на выходных кромках, а ,вставки 3 расположены по окружности статорных дисков 2 и выполнены в виде электромагнитов, полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса 1.

Насос работает следующим образом.

При вращении роторных дисков 5 между статорными дисками 2 с магнитными вставками 3, полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса 1, входные кромки лопаток 6 притягиваются

802625

6иг.! юг. 2

ВНИИПИ Заказ 10578/45 Тираж 723 Подписное филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 к верхнему статорному диску, а выходные кромки — к нижнему статорному диску. Таким образом, каждая лопатка 6 роторного диска 5 изгибается, образуя межлопаточный канал.

Благодаря магнитным вставкам 3, выполненным в виде электромагнитов, можно обеспечить переменный угол накl лона лопаток 6 в зависимости от условий откачки, что ведет к расширению рабочего диапазона насоса.

Формула изобретения

Турбомолекулярный насос, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками, в которые встроены магнитные вставки, и установленный по оси корпуса вал, несущий лопаточные роторные диски, выполненные из магнитного материала, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью упрощения конструкции и расширения рабочего диапазона, лопатки роторных дисков выполнены гибкими и имеют одноименные полюса на входных кромках и противоположные им полюса на выходных кромках, а вставки расположены по окружности статорных дисков и выполнены в виде электромагнитов, полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции Р 2246756, кл. F 04 D 19/04, опублик. 1975.

2. Лвторское свидетельство СССР по заявке Р 2503389/25-06, кл. F 04 О 19/04, 1977 °