Устройство для нанесения покрытийна цилиндрические изделия

Устройство для нанесения покрытийна цилиндрические изделия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТО1зСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (63) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлеио 200778 (21) 2647053/18-21 (51)М. ИЛ3 с арисоедииаиием заявяи Ио

С 23 С 11/00

Гоеударетвеиный коинтет

СССР во делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15,02.81 Бюллетень Йо 6 (53) УДК 621. 793. 14 (088. 8) Дата опубликования описания 150281 (72) Авторы изобретения

И. В. Пшеничный, В. A Завгородний, С. В.

A.M.Мкабров и В.M.Ãoðüêo

ырядк о, (73 j Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ FAHECEHHH ПОКРЫТИЙ

НА ЦИЛИНДРИЧЕСКИЕ ИЗДЕЛИЯ

Изобретение относится к получению изделий способом газового осаждения и может быть использовано в порошковой метаплургии при термообработке и спекании полых изделий.

Известно устройство для изготовления вольфрамовых деталей, в котором изделия получают путем осаждения материалов из парогазовой фазы на нагретую подложку, выполненную по форме. изделия. Подложку после осаждения удаляют фигуческим или химическим способом (1.

Однако при изготовлении изделий возможность их растрескивания не . 15 устраняется полностью даже при выпол-, нении требований подбора материала подложки. Основной причиной растрес.кивания являются внутренние напряжения в осадке, возникающие в процессе 20 его получения.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному является устройство для нанесения покрытий на цилиндрические изделия путем осаждения иэ парогазовой фазы, содержащее реакционную камеру, с цилиндрической подложкой, выполненной иэ инертного материала, например графи- ЗО та, с демпфирующим слоем на ее наружной поверхности, с расположенным внутри нее нагревателем, и токоподвод (2 j.

Недостатком данного устройства является низкое качество покрытий и небольшой выход годных.

Цель изобретения — улучшение качества покрытий, увеличение выхода годных за счет снижения напряженйй на границе подложки-покрытия.

Это достигается тем, что в устройстве для нанесения покрытий на цилиндрические изделия путем осаждения иэ парогазовой фазы, содержащем реакционную камеру с цилиндрической подложкой, выполненной из инертного материала, например, графита, с демпфирующим слоем на ее наружной поверх-. ности, с расположенным внутри нее нагревателем, и токоподвод, в подложке выполнена сквозная винтовая прорезь, а демпфирующий слой выполнен из графитовой ткани, причем подложка консольно закреплена на токоподводе.

На чертеже изображено предлагаемое устройство в разрезе, общий вид.

Устройство состоит из цилиндрической подложки. 1, выполненной из

В04716

Формула изобретения графита, на поверхности которой выполнена сквозная винтовая прорезь 2 с демпфирующим слоем иэ графитовой ткани 3, распопоженной на внешней поверхности подножки, нагревателя 4 с верхним 5 и нижним б токоподводами системы подвески 7.

Устройство работает следующим образом.

В процессе осаждения, в основном карбидографитовых".материалов из газовой фазы, в осадке возникают большие ® внутренние напряжения 50-100 кг/юе .

Прослойка из,графитовой ткани 3, имея непосредственную физико-химическую связь с осадком и скользящую связь с подложкой, воспринимает внут- М ренние напряжения с осадка и передает их подложке Х. От этого действия подложка 1 закручивается и перемещается вдоль своей оси. После процесса осаждения подложку 1 со сквозной.вин-;Щ товой прорезьв 2 извлекают через свободно перемещающийся конец и используют для последующего процесса.

Предлагаемое устройство дает воз- фф можность получить цилиндрические изделия беэ растрескивання. Выход годных изделий повысился на 30-35%.

Креме того, снизилась трудоемкость их изготовления эа счет исключения операции механического удаления подложкодержателя и многоразового его использования в нескольких процессах.

С помощью, устройства получены цилиндрические иэделия иэ карбидографитовых материалов (МЬС -С, ZrC -С) длиной 350 мм и толщиной 5-7 мм, которые сохранили целостность в процессе осаждения.

Устройство для нанесения покрытий на цилиндрические изделия путем осаждения иэ парогазовой фазы, содержащее реакционную камеру с цилиндрической подложкой, выполненной иэ инертного материала,. например графита, с демпфирующим слоем на ее наружной поверхности, с расположенным внутри нее нагревателем, и токоподвод, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения качества покрытий, увеличения выхода годных за счет снижения напряжений на границе подложки-покрытия, в подложке выполнена сквозная винтовая прорезь, а демпфирующий слой выполнен из графитовой ткани., причем псдложка консольно закреплена на токоподводе., Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Осаждение из газовой фазы. Под ред. К.Паузла. Атомиздат, 1970, с. 453.

2. Патент Великобритании Р11S2630, .кл. С 7 f, 23.02.70 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 10824/42

Тираж 1059 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.ужгород,ул.Проектная, 4