Криогенная ловушка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Саеетск)кх

Социалксткческих

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИД,ЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 02.10.78 (21) 2669922/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Опубликовано 15.02.81. Бюллетень № 6 (51) М. Кл.з

F 04 F 9/06

Гепударственнмй кемитет

СССР (53) УДК 621.527..8 (088.8) по делам изобретений и открытий

Дата опубликования описания 25.02.81 (72) Авторы изобретения

Л. 3. Закиров, Л. В. Калайда, В. М. Мухин и Н. (71) Заявитель (54) КРИОГЕННАЯ ЛОВУШКА

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны криогенные ловушки, содержащие охлаждаюшее устройство, размещенное в корпусе. При работе ловушки откачиваемые газы контактируют с поверхностью охлаждающего устройства, и на ней вымораживаются легкоконденсируемые компоненты откачиваемой смеси газов, а также обратный поток паров рабочей жидкости вакуумных насосов (1).

Однако в таких ловушках размещение охлаждающего устройства внутри корпуса снижает их Проводимость.

Известны также криогенные ловушки, содержашие охлаждающее устройство, размещенное в торообразном корпусе и повторяющее его форму. Увеличение проводимости в этих ловушках достигается за счет выполнения охлаждающего устройства в виде спирали, повторяющей форму торообразного корпуса. Наличие зазоров между витками способствует свободному пролету молекул к стенкам корпуса, что влечет за собой необходимость охлаждения стенок (2) .

Однако поскольку в данной ловушке охлаждение стенок производится посредством

2 лучистрго теплообмена между спиралью и стенками, не исключена возможность миграции масла по относительно теплой поверхности стенок.

Цель изобретения — улучшение защитной способности ловушки

Указанная цель достигается тем, что охлаждаюшее устройство выполнено в виде двух коаксиально расположенных сильфонов.

На чертеже показан разрез предлагаетп мой ловушки.

Криогенная ловушка содержит охлаждаюшее устройство 1, размещенное в торообразном корпусе 2 и повторяюшее его форму. Охлаждающее устройство 1 выполнено в виде двух коаксиально расположен15 ных сильфонов 3 и 4 и снабжено патрубком 5 подачи хладагента и патрубком 5, через который отводятся его пары.

Ловушка работает следующим образом.

Хладагент подают через1 патрубок 5 в полость охлаждающего устройства, образованного сильфонами 3 и 4. После охлаждения поверхностей охлаждающего устройства до температуры хладагентр ловушка готова к работе. При откачке смеси га804866

Составитель В. Лазуткин

Техред А. Бойкас Корректор В. Бутяга

Тираж 723 Подписное

Редактор К. Волощук

Заказ 10623/49

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

I 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 зов через ловушку на поверхности сильфонов 3 и 4 вымораживаются легкоконденсируемые компоненты смеси и пары рабочей жидкости насосов.

Предлагаемая ловушка сохраняет высокую проводимость при одновременном улучшении защитной способности, что дает возможность ее использования для получения чистого вакуума с помощью диффузионных насосов.

Формула изобретения

Криогенная ловушка, преимущественно диффузионного насоса, содержащая ох4 лаждающее устройство, размещенное в торообразном корпусе и повторяющее его форму, отличающаяся тем, что, с, целью улучшения защитной способности, охлаждающее устройство выполнено в виде двух коаксиально расположенных сильфонов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР

10 № 590479, кл. F04 F 9/06, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке № 2392? 68/06, кл. F 04 F 9/06, 1976.