Способ автоматического регулированияпроцесса электрохимического травлениямикропроволоки

Способ автоматического регулированияпроцесса электрохимического травлениямикропроволоки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Свез Советских

Севрвааистнчесних

Респубимк

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОИЖ©МУ СВ ТВЛЬСТЮУ (11,806789 (6t) Дополмительмое к авт. сеид-ву (22) Заяалемо 130279 (2t) 2724136/22-02 с присоедимемием заявки ИУ— (23) Г3риоритет

Опубликовано 230281 Ьюллетемь.йе 7

Дата опубликования описания 230?81,(5!)м. клз

С 25 F 7/00

С 25 D 21/12

Гаеударетвевяы4 явиитет

СССР яо яеааи язебретеви4 я етярмтя4 (53) VgP(621.794.4 (088.8) «»-, 1., » ».»

»(72) Аэто в изобретемия

Ю.В»Думченко

Барнаульский филиал Опытно-конструкторского бюро;--, автоматики »йбдд(;;м(;, (71) Заявитель (54) СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ

ПРОЦЕССА ЭЛЕКТРО« ИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

МИКРОПРОВОЛОКИ

Изобретение относится к гальванотехнике и может быть использовано для автоматического регулирования процесса электрохимического травления микропроволоки из тугоплавких металлов, применяемой в радиоэлектронике и приборостроении.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является способ автоматического регулирования процесса электрохи.ли еского травления микропроволоки путем формирования регулирующего воздействия в зависимости от суммы сигналов производной электропровод- 1з ности входных секций ванны в направлении движения проволоки и интеграла от отклонения выходного диаметра проволоки от уставки flj.

Недостаток известного способа зак- 20 лючается в том, что он не обеспечивает компенсации параметрических возмущений в объекте регулирования, вызванных изменениями скорости движения проволоки, концентрации и температуры ванны, гальванического режима и

Т,Д

Цель изобретения — снижение неравномерности проволоки по выходному диаметру, путем компенсации парамет- 30 рических возмущений в объекте регулирования, вызванных изменением технологических параметров.

Поставленная цель достигается тем, что формируют сигналы, пропорциональные производной электропроводности входных секций ванны в направлении движения проволоки и отклонению выходного диаметра проволоки от задания с коэффициентами пропорциональности, дополняющими друг друга до единицы, вычисляют разницу этих сигналов и формируют регулирующее воздействие, пропорциональное произведению этой разницы на интеграл отклонения выходного диаметра проволоки от зацания.

На чертеже представлена блок-схема устройства, поясняющего способ.

Устройство состоит из емкостного преобразователя 1, блока 2 сравнения, интегрирующего блока 3, параметрического усилителя 4, кондуктометрического преобразователя 5 и блока 6 суммирования.

Проволоку 7 протягивают через ванну 8 в электрическом поле между электродами 9, где происходит изменение диаметра за счет анодного растворения поверхностных слоев металла. Величи806789 формула изобретения

25 ну диаметра проволоки на выходе контролируют емкостным преобразователем

1. Выходной сигнал преобразователя сравнивают с уставкой в блоке 2 сравнения, а выделенное отклонение б(С) регулируемой величины x(t) от уставки х интегрируют блокбм 3 и в зависимости от величины интегральной суммы — (ь(И(М . устанавливают коэффициейт передачи Кр параметрического усилителя 4. На входных секциях ванны измеряют с помощью дифференциального кондуктометрического преобразователя

5 производную электропроводности

dx 8Ä/dL, суммируют этот сигнал с отклонением f(t) в блоке суммирования

6 и на выходе регулятора формируют регулирующее воздействие. х ()=-Кв(К . †- +(1-К) а()).

Так как Кр= „ (t) 3(t), то имеем

Xp(tl= - — („. Щж -k) E(t)) fi(t) dt, У т.е. регулирующее воздействие х p(t) пропд эционально произведению сигнал лов (к "" (-ylKt)L и — ")f(tide Предложенный способ позволяет сни-, зить неравноту микропроволоки по дна- 3Q метру, вызванную изменением коэффициента передачи объекта регулирования, т.е. параметрическим возмущением.

Способ автоматического регулирования процесса электрохииического травления микропровояоки путем формирования регулирующего воздействия в зависимости от производной электропроводности входннх секций ванны в направлении движения проволоки н интеграла от отклонения выходного диаметра проволоки оз задания, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью снижения неравномерности проволоки по выходному диаметру, путем компенсации параметрических возмущений в объекте регулирования вызванных изменением технологических параметров, формируют сигналы, пропорциональные производной электропроводности входных секций, ванны в направлении движения проВолоки и отклонению выходного диаметра проволоки от задания с коэффициентами пропорциональности, дополняющими друг друга до единицы, вычисляют разницу этих сигналов и формируют регулирующее воздействие, пропорциональное произведению этой разницы на интеграл отклонения выходного диаметра проволоки от задания.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

У 663767, кл. С 25 D 21/12, 1977.

806789

Составитель Л.Груднева

Редактор Т.Киселева Техред М. Ко тура Корректор р.Билак

Закаэ 187/46 Тираж .715 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент,.r. Ужгород, ул. Проектная, 4