Способ получения изделий из карбидов ниобия и тантала

Способ получения изделий из карбидов ниобия и тантала

Реферат

Способ получения изделий из карбидов ниобия и тантала, включающий газофазное осаждение металлов из их галогенидов, например пентахлорида ниобия или тантала, на нагретую углеродную подложку, отделение образовавшегося слоя карбидов металлов от подожки, термическую обработку слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности химического состава по толщине слоя, осаждение галогенида проводят в присутствии инертного газа при мольном их соотношении 1 : 10 - 1 : 20 при температуре подложки 2100 - 2500^oC в течение 30 - 500 мин, а термическую обработку осуществляют также в среде галогенида с инертным газом при мольном соотношении 1 : 15 - 1 : 30 и температуре осаждения в течение 10 - 250 мин.