Установка для обработки лен-точного материала b вакууме

Установка для обработки лен-точного материала b вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик ()808555

МГ ,1 муФ -=. (о1) Дополнительное к авт. саид-ву (51)М. Кл. (22) Заявлено 21. 11. 78 (21) 2686849/18-21 с присоединением заявки ¹

С 23 С 13/08

Государственный комитет

СССР оо делам изобретений и открытий (23) Приоритет о (53) УДК 621.793.14. .002.52 (088.8) Опубликовано 2802В1. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 28. 02. 81 (72) Авторы изобретения

А.Я. Вигант, Г.И. Мамаев и П.В. Городецкая

) .* «) 1;;";-т p f p rp " (71) Заявитель

« ..w. г l (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОБРАБОТКИ ЛЕНТОЧНОГО

МАТЕРИАЛА В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к вакуумной технике-,и предназначено для технологической обработки в вакууме ленточных рулонных материалов, например, для снятия фоторезиста в процессе изготовления микроэлектронных изделий.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме на рулонные материалы, содержащая камеру металлиэации,внутри которой установлены испаритель и нагревательные элементы, затворы, отсеки перемотки, соединенные с камерой металлиэации, механизм подачи ленты в камеру, включающий направляющие, смонтированные в камере металлизации, каретку с роликами, установленными по ее краям, и механизмы фиксации каретки. Затворы закреплены между камерой металлизации и отсеками перемотки, каретка выполнена из двух частей с воэможностью их взаимного зацепления по месту разъема; а механизм фиксации— в виде толкателей и расположенных в камере металлиэации. упоров (.13.

Недостатком этого устройства является сложность конструкции и кинематики механизмов подачи ленты и ее фиксации, сложность вакуумных вводов для приводов этих механизмов, недостаточная эффективность вакуумирования, приводящая к нарушению требований вакуумной гигиены.

Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой является установка для обработки ленточного материала в вакууме, содержащая рабочую и шлюзовую камеры, вакуумные затворы, размещенные попарно на рабочей и шлюзовых камерах,механизм перемещения ленточного материала 52).

Недостатком установки является

15 сложность конструкции.

Цель изобретения — упрощение конструкции.

Цель достигается тем, что в установке для обработки ленточного ма20 териала, содержащей рабочую и шлюзовые камеры, вакуумные затворы, размещенные попарно на рабочей и шлюзовых камерах, механизм перемещения ленточного материала выполнен

25 в виде двух различных по весу роликов, размещенных в шлюзовых камерах на поверхности ленточного материала с возможностью вертикального перемещения под собственным весом и

30 кинематически соединенные с вакуум808555 . ными затворами рабочей и шлюзовых камер.

На фиг. 1 показана схема предлагаемой установки;на фиг. 2 — то же, рабочее положение. Установка содержит рабочую вакуумную камеру 1, сообщающуюся посредством управляеьых уплотнителей 2 и 3 с загрузочной шлюзовой камерой 4 и разгрузочной шлюзовой камерой 5.

Вокруг камеры 1 расположен индуктор б, образующий плазму для снятия фотореэиста с поверхности протягиваемого через нее ленточного материала

7 со смоточного шпинделя 8 на намоточный шпиндель 9, снабженный приводом вращения (не показан). Шлюзовые камеры 4 и 5 сообщаются через управляемые уплотнители 10 и 11 с окружающей атмосферой. Обрабатываемая в вакууме лента проходит от смоточного шпинделя 8 к намоточному шпинделю 9 через загрузочную шлюзовую камеру 4, внутри которой на входе и выходе, соответственно в зоне уплотнителей 10 и 2, установлены направляющие ролики 12 и 13, через вакуумную камеру 1 и разгрузочную камеру 5, внутри которой на входе и выходе, соответственно в зоне уплотнителей 3 и 11, установлены направляющие ролики 14 и 15.

Устройство снабжено механизмом шагового перемещения ленточного материала 7, который выполнен в виде двух подающих роликов 16 и 17,установленных на поверхности ленточного материала 7 соответственно в загрузочной камере 4 между направляющими роликами 12 и 13 и в разгрузочной камере 5 между направляющими роликами 14 и 15 с воэможностью свободного перемещения под собственной силой тяжести. Масса подающих роликов выбрана такой, что усилие давления на материал ролика 16 в загрузочной с камере 4 достаточно для преодоления сил трения, возникакщих при смотке ленточного материала б со шпинделя 8 и его протяжке в загрузочной камере 4, а усилие давления на материал ролика 17 в загрузочной камере 5 больше усилия давления на этот материал ролика 16 в загрузочной камере 4 на величину, превышающую силу тяжести ролика 16 и суммарную си@у трения, возникающую при перемещении материала через загрузочную 4, рабочую 1 и разгрузочную 5 вакуумные камеры.

Управляемые уплотнители 2,3,10 и 11 шлюзовых камер 4 и 5 выполнены с возможностью попарного периодического открытия то со стороны рабочей вакуумной камеры 1 (уплотнители 2 и 3),то со стороны атмосферы (уплотнители 10 и 11) . ,Цля создания вакуума в рабочей камере 1 и промежуточного вакуума в шлюзовых камерах 4 и 5 установка снабжена системой вакуумирования (не показана).

Установка работает следующим образом.

Управляемые уплотнители 2 и 3 закрываются и герметизируют вакуумную камеру 1 со стороны загрузочного и со стороны разгрузочного алюзов 4 и 5, управляемые уплотнители 10 и 11 открываются и шлюзовые камеры 4 и 5 сообщаются с атмосферой. Ленточный материал 7 неподвижно зафиксирован в вакуумной камере 1, где он подвергается технологической обработке в плазме, возбуждаемой

15 индуктором б, удаляющей с ленточного материала 7 фоторезистивный слой.

Подающий ролик 16 под собственной силой тяжести опускается в нижЩ нее положение. Ленточный материал 7, сматываясь со шпинделя 8, протягивается в загрузочную шлюзовую камеру

4 в виде петли, образованной между направляющими роликами 12 и 13 подводящим роликом 16.

Приводимый во вращение намоточный шпиндель 9, преодолевая силу тяжести подающего ролика 17 и возникающие силы трения, протягивает рр обработанный ленточный материал иэ разгрузочной камеры 5 через открытый уплотнитель 11 в атмосферу,при этом петля, образованная между направлякщими роликами 14 и 15 подающим роликом 17, выбирается и ролик

17 занимает крайнее верхнее положение. При открытых уплотнителях 10 и 11 вакуумные насосы поддерживают рабочий вакуум в камере 1. После протяжки ленточного материала 7 в загрузочную камеру 4 и на выходе из разгрузочной камеры 5 в этих камерах производится откачка роэдуха до степени, близкой к разрежению в рабочей камере 1. Управляемые уплотнители 2 и 3 на входе ио.выходе рабочей вакуумной камеры 1 открываются и освобождают ленточный материал

7, который под действием силы тяжести подакв его ролика 17 протягияП вается на шаг в виде петли,образованной между направлякщими роликами 12 и 13 подающим роликом 16 в загрузочной шлюзовой камере 4, выбирается в рабочую вакуумную камеру 1 а ролик 16 занимает крайнее верхнее положение.

Эатем уплотнители 2 и 3 закрываются. В камере 1, герметизированной от камер 4 и 5,создается необходимый рабочий вакуум и после

40 окончания технологического времени обработки поданного в камеру 1 участка ленточного материала 7 цикл работы повторяется.

Положительный эффект от пред65 лагаемой установки выражается в прос808555

Формула изобретения

Составитель Л. Беспалова ехред A. Бабинец Корректор H . Швыдкая

Редактор Н. Кешеля

Тираж 1059 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 79/28

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4 тОте ее конструкции и упрощении уп-. равления шаговыми перемещениями обрабатываемого материала.

Использование установки позволит увеличить эффективность и снизить время откачки шлюзовых камер эа счет сведения к минимуму возможности натекайия воздуха из-за отсутствия вакуумных вводов для привода механизма перемещения ленточного материала, что обеспечивает дополнительную возможность соблюдения высоких требований вакуумной гигиены в процессе изготовления изделий микроэлектроники.

Установка для обработки ленточного материала в вакууме, содержащая рабочую и шлюзовые камеры, вакуумные затворы. размещенные попарно на рабочей и шлюзовых камерах, механизм перемещения лейточного материала, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции, механизм перемещения ленточного материала выполнен в виде двух различных по весу роликов, размещенных в шлюзовых камерах на поверхности ленточного материала с возможностью вертикального перемещения под собственным весом и кинематически соединенные с вакуумными затворами рабочей и шлюзовых камер.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

15 1. Авторское свидетельство СССР

Р 515833, кл. С 23 С 12/10, 1976 °

2. Авторское свидетельство СССР

9 515834, кл. С 23 С 13/10, 1976 (прототип).