Устройство для отбора кристаллов

Устройство для отбора кристаллов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (n>809433

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, саид-ву (22) Заявлено 280479 (2! ) 2759493/18-21 (51)М. Кл. с присоединением заявки ¹â€”

Н 01 21/ОО

Государственный комитет

СССР. но делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 280281 Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 280281 (53) УДК 621.385. .832:621.86. .061(088.8) (72) Авторы изобретения

В.A. Смирнов и Н.A. Брюхно (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТБОРА КРИСТАЛЛОВ

Изобретение относится к полупроводниковым приборам и может быть использовано при сортировке и отбраковке кристаллов.

Известно устройство для отбора кристаллов (вакуумный пинцет), содержащее заборник кристаллов в виде трубки и бункер, соединенный с вакуумной системой (1)..

Однако, устройство обладает низкой производительностью.

Цель изобретения — повышение производительности.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для отбора кристаллов, содержащем заборник кристаллов и соединенный с вакуумной системой бункер, заборник кристаллов выполнен в виде стакана с отверстием в донной части, снабженного прозрачной перегородкой в виде пластинки, разделяющей стакан на верхнюю и нижнюю полости, при этом нижняя полость стакана соединена с вакуумной системой через бункер.

Предлагаемое устройство изображено на чертеже, общий вид.

В устройстве на входе трубки 1 заборника присоединен стакан 2 с отверстием 3 в днище, перегороженный прозрачной пластинкой 4, через которую наблюдают с помощью микроскопа с объективом 5 кристаллы 6, находящиеся на решетчатом предметном столике 7, причем отверстие в днище стакана направлено на кристалл. Трубка эаборника выходом соединена с бункером 8, который через клапан 9 соединен трубопроводом с вакуумной !

О системой.

Устройство работает следующим образом.

Допустим, оператору необходимо рассортировать кристаллы 6 на две

15 классификационные группы — на годные и бракованные, причем годные укладываются в бункер. Устройство крепится к объективу микроскопа, с помощью которого оператор наблю20 дает кристалл и принимает решение, к какой группе необходимо его отнести, Если кристалл годный, подключают посредством клапана 9 вакуум к заборнику и воздух доставляет кристалл в стакан 2, а затем в трубку 1 и бункер 8. После отключения вакуума передвигают столик . и проверяют качество следующего кристалла. Если кристалл бракованный, ва30 кумм не подключают и кристалл оста809433

Формула изобретения

Составитель Л. Гришкова

Редактор Т. Мермелштайн Техред С.Мигунова Корректор С, Щомак

Заказ. 444/71

Тираж 795 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ется на предметном столике. Таким образом, сортируют кристаллы на две группы без дополнительной доставки их с поля зрения микроскопа к входу эаборника. Прозрачная пластинка 4, позволяющая наблюдать кристалл, защищает объектив микроскопа от случайных повреждений движущимися кристаллами. Твердость материала этой пластинки выше твердости кристаллов, подвергаемых сортировке. Например, если деталями являются кремневые кристаллы, прозрачную пластинку выпрлняют иэ сапфира. Отверстие

3, через которое кристаллы поступают в стакан, локализирует действие вакуума на кристалл, что исключает попадание в эаборник соседних кристаллов ° Диаметр этого отверстия выбирают несколько большим наибольшего размера кристалла. Освещение кристалла проводят обычным способом либо через объектив микроскопа, либо косыми лучами, либо снизу (когда детали и предметный столик прозрачные). Если необходимо рассортировать и. провести укладку кристаллов при большем числе классификационных групп,.то к стакану подключают необходимое количество трубок эаборников, бункеров и клапа нов. Наблюдая через миКроскоп крис талл и принимая решение, оператор включает клапан соответствующей трубки заборника, в результате чего кристалл поступает в нужный бункер.

Использование предлагаемого устройства повышает производительность труда более чем в,1,5 раза.

Устройство для отбора кристаллов, содержащее заборник кристаллов и соединенный с вакуумной системой

1S eiyHKep, о т л и ч а ю щ е e c я тем, что, с целью повышения производительности, заборник кристаллов выполнен в виде стакана с отверстием в донной части, снабженного проз2О рачной перегородкой, в виде пластинки, разделяющей стакан на верхнюю и нижнюю полости, при этом нижняя полость стакана соединена;;с вакуумной системой через бункер.

25 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 294199, кл. Н 01 ), 2211//0000,03.03.б9 (прототип).