Свч-плазматрон
Иллюстрации
Реферат
СВЧ-ППАЗМАТРОН, содержащий коаксиально-волноводный переход иперестыкованную к центральному проводнику коаксиальной части перехода . и соосную ему разрядную камеру, о тличающийся тем, что, с целью повышения надежности плазмгтрона при увеличении мощности разряда, он снабжен закрепленными на центральном проводнике диском и охватывающим его с равномерным зазором кожухом с центральными отверстиями на противолежащих стенках, одной из которых кожух соединен с наружным проводником коаксиальной части волноводного перехода, а через отверстие на другой стенке пропущена разрядная камера.i (ЛаSсл ел
СОЮЗ СОНЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (1% (1И
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НО(МИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 2831904/24-07 (22) 24.10.79 (46) 15.11.84.Бюл.Р 42 (72) Н.И.Чебаньков, Г.В.Лысов и И.И.Девяткин (53) 621.365.29 (088.8) (56) 1. Щипачев В.П. и др. Кинетика и термодинамика химических реакций в низкотемпературной плазме.
М., "Наука", 1965, с.234-235.
2. Патент США У, 3417287, кл. 315-111, 1971 (прототип)". (54)(57) СВЧ-ПЛАЗМАТРОН, содержащий коаксиально-волноводный переход и
З(511 Н 05 В 7/181 Н 05 Н 1/24 перестыкованную к центральному проводнику коаксиальной части перехода, и соосную ему разрядную камеру, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности плазматрона при увеличении мощности разряда, он снабжен закрепленными на центральном проводнике диском и охватывающим его с равномерным зазором кожухом с центральными отверстиями на противолежащих стенках, одной иэ которых кожух соединен с наружным проводником коаксиальной части волноводного перехода, а через отверстие на другой стенке пропущена разрядная камера.
55 .1 линии
Редактор С.Титова
Техред А. Бабинец Корректор Е. Сирохман
Заказ 8931/2 Тираж 782
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и .открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
Подписное ул.Проектная, 4
1 8! 00
Изобретение относится к электротехнике, в частности к генераторам низкотемпературной плазмы.
Известен СВЧ-плаэматрон, в котором;, разрядная камера помещена rioперек волновода и проходит через его широкие стенки. СВЧ разряд возбуждает волны типа Н®о (lj . .Недостаток конструкции заключается в том, что отсутствует электро- 10 динамическая стабилизация разряда и при повышении мощности он смещается к стенке разрядной камеры в сторону возрастания поля, что снижает надежность плаэматрона. t5
Известен также СВЧ-плазматрон, содержащий коаксиально-волноводный переход и пристыкованную к центральному проводнику коаксиальной части перехода и соосную ему разрядную ка- 2б меру (2) .
Недостатком известной конструкции является то, что снижается ее надежность, особенно при увеличении мощности разряда. .25
Целью данного изобретения является повышение надежности плазматрона при увеличении мощности разряда.
Поставленная цель достигается тем, что плазматрон снабжен закрепленным иа центральном проводнике диском и
I охватывающим его с равномерным зазором кожухом с центральными отверстиями на противолежащих стенках, одной иэ которых кожух соосно соединен с
35 наружным проводником коаксиальной части волноводного перехода, а через отверстие иа другой стенке пропущена разрядная камера.
На чертеже изображен ....предлагае-4О мый плазматрон.
СВЧ-плазматрон содержит прямоугольный волновод 1, коаксиально-волноводный переход 2, наружный проводник 3 и центральный проводник 4 коаксиаль- 4 иой части перехода, снабженный диском 5. Соосно с центральным проводником в нем закреплена диэлектрическая разрядная камера 6. Наружный проводник 3 на участке диска 5 расфилиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ширен так, что образованы две радиаль ные линии 7, разделенные отрезком коаксиальной линии 8, для которой центральным проводником служит боковая поверхность диска 5.
Центральный проводник 4 содержит полость 9 и соосный с ник зонд 10, конец которого на некотором участке входит в диэлектрическую разрядную камеру 6. При этом другой конец диэлектрической разрядной камеры .6 пропущен в центральное отверстие радиальной линии 11. Кроме того,конструкция содержит устройство 12 инициирования разряда. Наружный проводник 3 образует вокруг диска 5 кожух 13.
Включение плаэматрона в работу начинается с подачи плазмообразующего газа в полость 9, который из этой полости по кольцевому зазору между диэлектрической камерой 6 и зондом .10 поступает в подзондовое пространство внутри диэлектрической трубки 6.
Далее посредством устройства 12 по оси зонда 10 в подзондовое пространство на участке радиальной линии вводится металлический стержень (на чертеже не показан). Одновременно с этим включается СВЧ-генератор, пи, тающий плазматрон. Энергия посредством коаксиально-волноводного перехода 2 из прямоугольного волновода 1 поступает в коаксиальную линию, образованную наружным проводником 4, и далее через радиальные линии 7 в пространство, ограниченное диэлектрической камерой 6 где на острие металлического стержня инициируется разряд, который по мере удаления стержня формируется на оси диэпектрической камеры 6.
Конструкция СВЧ-плазматрона позволяет осуществить разряд высокого уровня мощности и повысить надежность плазматрона благодаря электродинамической стабилизации разряда при использовании радиальной волноводной