Устройство для автоматического нанесениядиэлектрических слоев

Устройство для автоматического нанесениядиэлектрических слоев

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

1 (»)813132 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (si) v. кл.

G 01 В 11/06 (22) Заявлено 13. 08. 74 (21) 2053987/18-25 с присоединением заявки ¹

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий. (23) Приоритет

Опубликовано 150381. Бюллетень Н9 10 (53) УДК 535. 24 (088. 8) Дата опубликования описания 25. 03. 31

М ов

t:Ô Й.1, л 4 (72) Авторы изобретения

В. И. Кушпиль, М. Н. Черепанова и В. Е. Михай (71) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО

НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ

Изобретение относится к оптике, а именно к контрольно-измерительным устройствам, регулирующим процесс изготовления интерференционных светофильтров, получаемых путем распы ления диэлектрических слоев в вакууме.

Известно устройство, в котором контроль ведется световым пучком, проходящим поочередно через все изготавливаемые светофильтры, расположенные на одинаковом расстоянии от оси вращающегося держателя образцов Ы

Однако в этом устройстве происходит паразитная модуляция светового потока, обусловленная перекрыванием пучка света оправами образцов.

Известно также устройство для автоматического нанесения диэлектрических слоев, содержащее вакуумную установку с размещенными в ней испарителем, держателем обраЗцов и источником света, и фоторегистрирующий блок (2).

Однако в данном устройстве контроль толщины слоев в процессе изготовления светофильтров ведется по контрольному образцу, расположенному в центре вращающегося держателя образцов, а гнезда пОд изготавливаемые образцы расположены на некоторм расстоянии от центра вращения держателя. Из-за различия в условиях напыления оптические характеристики контрольного и рабочих образцов оказываются различными.

Цель изобретения — повышение точности контроля толщин слоев в процессе их нанесения путем контроля по одному из периферийных. образцов.

15 Указанная цель достигается тем, что устройство для автоматического нанесения диэлектрических слоев снабжено двумя поворотными призмами, расположенными по обе стороны

20 одного иэ гнезд держателя образцов и установленными с возможностью их вращения синхронно с держателем образцов.

На чертеже представлено устройство для автоматического нанесения диэлектри олеский слоев.

Устройство содержит вакуумную установку 1, испаритель 2, держатель 3 образцов, гнезда 4 с оправа-.

30 .ми, источник 5 света, поворотные

813132 призмы 6, соединительный вал 7, фоторегистрирующий блок 8.

Устройство работает следующиМ образом.

В процессе нанесения слоев держатель 3 образцов совместно е призмами 6 вращается вокруг вертикальной оси вакуумной установки 1. Благодаря тому, что обеспечено синхронное вращение держателя образцов и призм, пучок света будет непрерывно проходить через один и тот же рабочий образец. Посредством расположенных на держателе образцов (не показ ано ) оправы с образцами в ращаются относительно держателя с такой скоростью, чтобы отношение числа их оборотов было бы иррациональным числом. Это обеспечивает равномерную толщину напыляемого слоя по поверхности всех образцов.

Изобретение позволяет повысить точность контроля толщин слоев в про- цессе изготовления интерференционных светофильтров, а также устранить паразитнуи модуляцию. формула изобретения

Устройство для автоматического нанесения диэлектрических слоев, содержащее вакуумную установку с размещенными в ней испарителем, держателем образцов и источником света, и фоторегистрирующий блок, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля толщин слоев в процессе их нанесения, оно снабжено двумя поворотными призмами, расположенными по обе стороны одного из гнезд держателя о образцов и установленными с воэможностью их вращения синхронно с держателем образцов °

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2. Кушпиль В.И. и

25 для КОнтрОля толщины нанесении в вакууме. техника", 1970, Р 7, др. Установка слоев при их

"Измерительная с. 24-25.

1. Королев Ф.A. и др. Многослойные интерференционные диэлектрические светофильтры для видимой и близкой

Щ инфракрасной области спектра. "Инженерно-физический журнал", т. 3, 1960, 9 1 с. 55-61.

813132

Составитель О. Гринева

Редактор А.Наурсков Техред М.Коштура Ксрректор В.Макаренко

Заказ 752/47 Тираж 642 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, М-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород.; ул. ПРоектная, 4