Устройство для контроля толщиныпокрытия

Устройство для контроля толщиныпокрытия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСЛНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. сеид-ву— (22) Заявлено 28 ° 06 79 (21) 2789816/18-28 (5 ) К т

G 01 В 21/08

G 01 В 7/06 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет—

Государственный комитет

СССР во дедам изобретений и открытий

Опубликовано 07.04,81. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 08. 04. 81 (53) УДК S31. .717.1(088.8) /

В. А. Агеев, А. В. Колесник, A. А. Янковский и-".!Q.Â. Х опков

/ .7.

j,;, к / к " дого те а

ЖР (72) Авторы изобретения

Витебское отделение Института и полупроводников AH Б (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ НОКРЫТИЯ

Изобретение относится к технике измерения и контроля толщины металлизированных и диэлектрических покрытий и может быть использовано в промышленности, связанной с применением пленочной технологии, например часовой, радиоэлектронной, машиностроительной.

Известно устройство для определения толщины покрытия путем разрушения 1О его химическим раствором, содержащее капельную воронку с краном, калибро-. ванную капиллярную трубку, соединенную. с воронкой, резиновую трубку, соединяющую капиллярную трубку и 15 капельную воронку $1 J.

Недостатком известного устройства является малая производительность контроля.

Наиболее близким техническиМ реше- 20 нием к изобретению является устройство для контроля толщины покрытия, содержащее источник энергии разрушения покрытия и блок контроля появления паров материала покрытия (2). 25

Недостатком известного устройства является низкая производительность.

Целью изобретения является повышение производительности контроля. - 3P

Поставленная цель достигается тем, что блок контроля выполнен в виде соединенных последовательно двух электродов, электрической цепи импульсного разряда и блока регистрации сигналов.

Кроме того, для достижения поставленной цели источник энергии разрушения покрытия выполнен в виде оптического квантового генератора.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.

Устройство состоит из оптического квантового генератора 1 с набором калибровочных светофильтров 2, фокусирующих линз 3 и 4, двух электродов

5, соединенных с электрической цепью

6 импульсного разряда, светоприемника 7, расположенной перед объективом светоприемника 7 щели 8 с перегородкой, и блока 9 регистрации сигнала.

Устройство работает следующим образом.

Ча покрытие 10 воздействует излучение оптического квантового генератора 1, сфокусированное линзой

3 на поверхности 2 покрытия 10. Мощность излучения оптического квантового генератора 1 устанавливается

819586

Формула изобретения

Составитель Е. Глазкова

Редактор T. Зубкова Тех е М.Коштура Кор екторВ. Б тяга

Заказ 1365 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва Ж-35 Раушская наб. д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 соответствующей разрушению покрытия

10 при изменении его толщины ниж» заданной максимальной величины.

При увеличении толщины покрытия

10 выше заданной максимальной величины происходит смещение точки максимальной интенсивности излучения на перегородке шели 8, которая получена при фокусировке линзой

4 отраженного от поверхности покрытия.10 луча на перегородке шели 8.

Это смещение приводит к воздействию светового пятна на светоприемник 7 через верхнее его отверстие, вызывая срабатывание блока 9 регистрации сигнала. Уменьшение толщины покрытия 10 вызывает сдвиг точки максимальной интенсивности в противоположную сторону. Кроме того, уменьшение толщины покрытия 10 ниже минимального допустимого значения приводит к тому, что излучение оптического квантового генератора

1 прожигает покрытие или частично разрушает его. Этот процесс сопровождается образованием облака паров материала, которое замыкает электроды 5 и тем самым способствует развитию электрического импульсного разряда. Развитие электрического разряда позволяет визуально фиксировать уменьшение толщины покрытия и вызывает срабатывание блока регистрации сигнала.

Использование предлагаемого устройства позволяет повысить скорость и надежность контроля, а слеповат»ль но, и нроиэводител»ность контроля толщины покрытия.

1. Устройство для контроля толщины покрытия, содержащее источник энергии разрушения покрытия и блок контроля появления паров материала покрытия, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности контроля, блок контроля выполнен в виде соединенных последовательно двух электродов, элек-!

5 трической цепи импульсного разряда и блока регистрации сигнала.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что источник энергии разрушения покрытия выполнен в виде оптического квантового генератора.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Валитов A.М. — 3., Шилов Г.И.

Приборы и методы контроля толщины покрытий. Справочное пособие. Л., Машиностроение, 1970, с. 97.

2. Валитов А.М.-З., Шилов Г.И.

Приборы и методы контроля толщины по крытий. Справочное пособие. Л., Машиностроение, 1970, с. 109, (прототип).