Камера для испытания изделий на герметичность
Иллюстрации
Показать всеРеферат
I i i! 82798 8
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.06.78 (21) 2628879/25-28 с присоединением заявки № (51) М. Кл.з б 01М 3/02 (43) Опубликовано 07.05.81. Бюллетень № 17 (45) Дата опубликования описания 07.05.81 (53) УДК 620.165.29 (088.8) оо делам изобретений и открытий (72) Автор изобретения
О. Б. Домбровский
1 (* (71) Заявитель (54) КАМЕРА ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЛИЙ
HA ГЕРМЕТИЧНОСТЬ
Государатвеиимй комитет (23) Приоритет
Изобретение относится к устройствам для испытания на герметичность изделий типа силовых полупроводниковых приборов и может быть использовано в радиотехнической, электротехнической и других отраслях промышленности.
Известна камера для испытания на герметичность замкнутых объемов, содержащая крышку и корпус, образующие рабочую вакуумируемую полость, причем наружная поверхность корпуса выполнена расширяющейся в сторону, противоположную крышке, а толщина стенки корпуса— уменьшающейся в ту же сторону. Стенка корпуса в поперечном сечении выполнена с выступом со стороны вакуумированной полости по высоте не доходящим до торца рабочей поверхности корпуса. Кроме того, стенка корпуса выполнена с двумя выступами, образующими дополнительную ва- 20 куумируемую полость, сообщающуюся с вакуумной системой через штуцер (1).
Недостатком известной камеры является то, что в камере невозможно проверять полупроводниковые приборы на герметичность, так как нельзя создать избыточное давление. Исключается также возможность использования электропроводной рабочей среды, требуемой по технологическому цикЮ лу испытания силовых полупроводниковых приборов.
Наиболее близкой к изобретению является камера для испытания изделий на герметичность, содержащаяся в полуавтоматической линии комплексной проверки полупроводниковых приборов. Камера выполнена в виде разъемного полого корпуса, предназначенного для размещения испытуемого изделия и содержащего каналы подвода и отвода рабочей среды, внешние и внутренние контакты, электрически связанные между собой и предназначенные для подключения испытуемого изделия к измерительной системе, внешние герметизирующие элементы мест подвода и отвода рабочей среды (2).
Недостатками данной камеры являются ненадежность и сложность герметизации мест подвода и отвода рабочей среды из камеры при ее поступлении на позицию контроля герметичности.
Цель изобретения — повышение надежности испытаний.
Указанная цель достигается тем, что герметизирующие элементы камеры выполнены в виде упругих крышек с каналом подвода рабочей среды, а камера снабжена гидравлическими парами в виде плунжеров, взаимодействующих с упругими крыш827988 ками; при этом рабочие полости плунжеров соединены между собой кольцевым каналом, сообщенным с внутренней полостью корпуса и каналом подвода рабочей среды.
Кроме того, в камере канал подвода рабочей среды выполнен в форме трубки
Вентури, к расширяющейся части которого подсоединен кольцевой канал, а герметизирующие элементы выполнены с возможностью их расширения в направлении перемещения плунжеров.
На фиг. 1 представлен общий вид камеры, продольный разрез; на фиг. 2 — поперечное сечение камеры.
Камера для испытания изделия на герметичность состоит из разъемного полого корпуса 1, содержащего каналы подвода 2 и отвода 3 рабочей среды, контакты— внешние 4 и внутренние 5, электрически связанные между собой, упругие герметизирующие элементы 6, гидравлические пары в виде плунжеров 7, соединенные между собой кольцевым каналом 8. Канал 8, в свою очередь, соединен с каналом подвода рабочей среды, выполненным в виде трубки Вентури, и через нее — с внутренней полостью 9 корпуса камеры, где размещено испытуемое изделие 10. В рабочем положении камера закрывается с помощью замка 11 и удерживается в единой линии при проведении испытания, а открывается с помощью пружины 12 после опрессовки изделия.
Камера работает следующим образом.
Для проверки герметичности изделие 10 загружают внутрь корпуса таким образом, чтобы контакты изделия вступили во взаимодействие с контактами 5 камеры. Закрывают ее и устанавливают на позицию испытаний, например, в специальный патрон 13, к которому подведены источники рабочей среды и ее слива, а также система измерения (не показаны), при этом каналы подвода 2 и отвода 3 рабочей среды совпадают с каналами подвода и слива на патроне 13.
Подают в камеру рабочую токопроводящую жидкость, проникающую под действием избыточного давления в имеющиеся неплотности испытуемого прибора. Одновременно с этим рабочая жидкость, действуя на плунжер 7, деформирует упругие крышки 6 и прижимает их к внутренней поверхности патрона, тем самым герметизируя места соединения каналов подвода 2 и отвода 3 рабочей среды с ответными местами на патроне. Кольцевой канал соединен с расширяющейся частью канала подвода, выполненного в виде трубки Вентури с тем, чтобы обеспечить повышенное давлеlO
25 зо
60 ние рабочей среды, поступающей под плунжер, еще в процессе заполнения внутренней полости камеры. После опрессовки изделия токопроводящая жидкость сливается через канал 3, полость 9 просушивается воздухом, поступающим через канал 2 и с помощью подключенной через контакты 4 и 5 измерительной аппаратуры определяется герметичность изделия, по изменению его типовых параметров.
Таким образом, повышается рациональность использования рабочей среды не только для технологических целей (в качестве индикаторов негерметичности), но и для создания дополнительной герметизации элементов устройства, этим самым повышается надежность испытаний и ускоряется процесс испытания.
Формула изобретения
1. Камера для испытания изделий на герметичность, выполненная в виде разъемного полого корпуса, предназначенного для размещения испытуемого изделия и содержащего каналы подвода и отвода рабочей среды, внешние и внутренние контакты, электрически связанные между собой и предназначенные для подключения испытуемого изделия к измерительной системе, внешние герметизирующие элементы мест подвода и отвода рабочей среды, о тл и ч аю щ а я с я тем, что, с целью повышения надежности испытаний, герметизирующие элементы выполнены в виде упругих крышек с каналом подвода рабочей среды, а камера снабжена гидравлическими парами в виде плунжеров, взаимодействующих с упругими поршнями, при этом рабочие полости плунжеров соединены между собой кольцевым каналом, сообщенным с внутренней полостью корпуса и каналом подвода рабочей среды.
2. Камера по п. 1, отличающаяся тем, что канал подвода рабочей среды выполнен в форме трубки Вентури, к расширяющейся части которого подсоединен кольцевой канал.
3. Камера по п. 1, отличающаяся тем, что герметизирующие элементы выполнены с возможностью их расширения в направлении перемещения плунжеров.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
М 308324, кл. G 01M 3/04, 1966.
2. Авторское свидетельство СССР по заявке № 2626149/21-18, кл, Н 011 21/00, 07.06.78 (прототип) .
82798S
Puz. 1
Составитель В. Махрой
Техред А. Камышникова
Редактор Гохфельд
Корректор Л. Орлова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 907/5 Изд. № 324 Тираж 915 Подписное
НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5