Плазменный течеискатель

Плазменный течеискатель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Сфветскнх

Соцналнстнческнк

Уесеублнк (11) 830171 (6f) Дополнительное к авт. сеид-ву(22) Заявлено 130779 (21) 2798832118-25 (51)М. Кл 3

G 01 М 3/40

H 01 J 9/42 с присоединением заявки М9ГоеударетвенныЯ комитет

СССР ао делам нзобретениЯ я открытяЯ (23) Приоритет—

Опубликовано 150581.Бюллетень М18

Дата опубликования описания 1505.81 (53) УДК 621.52 (088.8) (72) Авторы изобретения

О.A ° Загорянский, Л.П. Махлин, М.И. Селиверстов,.

Л.Д. Фроликов и IO.Ô. Солодовников (71) Заявитель (54 ) ПЛАЗМЕННЫЙ ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к приборам для обнаружения вакуумных течей, и предназначено для контроля герметичности электровакуумных приборов (ЭВП) малых размеров.

Известен течеискатель, принцип действия которого основан на измене, нии скорости рекомбинации плазмы газового разряда в зависимости от концентрации молекул электроотрицательного газа (1).

Известен также плазменный течеискатель, содержащий натекатель и газораэрядную трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор, подключенный к системе электродов, расположенных на оболочке газоразрядной трубки. В газоразрядной трубке данного прибора с помощьв откачной системы, откачивала ей поотудалций из натекателя воздух, поддерживается давление на уровне нескольких торр, что создает условия для возникновения газового разряда при подаче на электроды высокочастотного напряжения (2).

65раэование газоразрядной плазмы вызывает изменение параметров меж электродного зазора, приводящее к срыву высокочастотной генерации и погасанию разряда. Возобновление генерации становится возможным после распада плазмы в результате рекомбинации носителей заряда. Процесс возобновле-ния и срыва высокочастотной генерации носит периодический характер. Частота процесса фиксируется регистрирующим прибором. Попадание в зону разряда электроотрицательного газа, которым предварительно заполняют контролируемый вакуумный прибор, приводит к увеличению скорости рекомбинации плазмы и, следовательно, к увеличению частоты указанного процесса. Данный течеискатель предназначен для поиска местонахождения стационарных течей и не позволяет ввиду трудоемкости процесса быстро удостовериться в

20 герметичности прибора в целом. Кроме того, чувствительность такого течеискателя невелика, так как в зону разряда попадает только часть молекул электроотрицательного газа, поступающих из контролируемого прибора в атмосферу.

Цель изобретения — повышение чувствительности течеискателя и контроль интегральной герметичности электровакуумных приборов, исключение вли830171 яния емкости электровакуумного прибора на емкость межэлектродного зазора.

Поставленная цель достигается тем, что в плазменном течеискателе, содержащем натекатель и газоразряд1ную трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор, подключенный к системе электродов, расположенных на оболочке газораз.рядной трубки, между .натекателем и гаэоразрядной трубкой расположена герметичная полость, предназначенная для размещения электровакуумного прибора.

Кроме того, с целью исключения влияния емкости электровакуумного прибора на .емкость межэлектродного зазора в плазменном течеискателе расстояние между герметичной полостью и электродами превышает удвоенный зазор между электродами.

На чертеже представлена схема течеискателя.

Течеискатель содержит натекатель .

1, газораэрядную трубку 2, высоночастотный генератор 3, регистрирующий прибор 4 н откачную систему 5. На стенках газоразрядной трубки, выполненной из стекла, размещены электроды 6. Между натекателем и газоразрядной трубкой расположена герметичная полость 7, предназначенная для установки ЭВП 8. Расстояние между герметичной полостью и электродами газораэрядной трубки превышает удвоенный зазор "а" между электродами.

Перед Началом испытаний ЭВП на герметичность течеискатель калибруют по чистому воздуху. Затем ЭВП

8, заполненный контрол ым газом, размещают в полости 7, производят откачку внутренних объемов течеискателя и подают высокочастотное напряжение на электроды 6.

В случае негерметичности ЭВП практически все молекулы электроотрицательного газа, выделившиеся из объема ЭВП, поступают в зону разряда, что приводит к увеличению скорости рекомбинации плазмы и повышению частоты периодического процесса срыва и возобновления высокочастотной генерации. Изменение сигнала, фиксируемого рагистрирующим прибором, по сравнению с калиброванным сигналом свидетельствует о негерметичности ЭВП.

Применение данного течеискателя., позволяет повысить чувствительность контроля герметичности ЭВП малых размеров 1 ° 1, — 2:10" л мкм.рт.ст./с, значительно увеличить надежность контроля и существенно сократить время испытаний. !

Формула изобретения

1 ° Плазменный течеискатель, содержащий натекатель и газоразрядную щ трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор, подключенный к системе электродов, расположенных на оболочке газоразрядной трубки, о т л и ч а ю щ и ис я тем, что, с целью позьпаения чувствительности течеискателя и контроля интегральной герметичности электровакуумных приборов, между натекателем и газоразрядной трубкой расположена герметичная полость, предназначенная для размещения электровакуумного прибора.

2. Течеискатель по и ° 1, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью исключения влияния емкости электровакуумного прибора на емкость межэлектродного зазора, расстояние между герметичной полостью и электродами превышает удвоенный зазор между электродами.

40 Источники информации, принятые во внимание прн экспертизе

1; Патент Швейцарии 9 558936, кл. G 01 И 3/40, G 01 и 27/62, . опублик. 1975.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке М 264693/25-28, кл. G 01 и 27/62, 1972 (прототип).

830171

Заказ 3632/74

Тираж 907 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, X-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель B. Минаков

Редактор M. Келемеш Техред A.Бабинец Корректор И. Демчик