Устройство для транспортирования
Иллюстрации
Реферат
Союз Соаетсиик
Социалистнчесиик
Республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (ц 834378 (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 25.07.75 (21) 2164193/24-21 с присоединением заявки Ре (23) Приоритет
Опубликовано 30,05.81. Бюллетень _#_s 20 .Дата опубликования описания 03.06.81 (51)М. Кл. F 26 В 15/26
Гвсударстевнимй камитет
СССР
В 65 Я 15/02 лс делам наебретеиий и вткрмтий (53) УДК 66 047.
785 773 55 (088.8) аивитель (S4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ
Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано при транспортировании в напылительных установках для производства интегральных .схем, Известны устройства для транспорти5 рования испаряемого материала, содержащие карусель с тиглями, в которых помещены порции испаряемого материала (1), Недостатком известных устройств является ограниченный запас испаряемого ма-,, териала за счет небольших размеров карусели. Увеличение размеров карусели приводит к конструктивному усложнению устройства.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является уст- ройство для транспортирования, содержа.щее связанные с приводом вертикаль ные вальт, на которых расположены и с которыми фрикционно связаны спирали бесконечного гибкого конвейера с держа . телами, и пружинный механизм натяжения конвейера, на.рычагах которого закреплены опоры вертикальных валов ().
Недостатком известного устройства является его сложное конструктивное выполнение, Бель изобретения — упрощение конструкции устройства.
Поставленная цель достигается тем, что в устройства, содержащем связанные с приводом вертикальные валы, на которых расположены и с которыми фрикционно связаны спирали бесконечного гибкого конвейера с держателями, и пружинный механизм натяжения конвейера, на рычагах которого закреплены опоры вертикаль. ных валов, участки вертикальных валов в зонах схода и захода ленты бесконечного конвейера выполнены в виде усеченных конусов, углы которых равны углу подъема спирали конвейера.
На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — механизм натяжения ленточного конвейера, разрез А-А на фиг. 1.
Устройство содержит вертикальные валы 1, на которых намотана лента 2 бес8343
3 конечного конвейера с держателями 3 тиглей 4, в которых помещен испаряемый материал. Валы 1 закреплены на осях 5, снабжениых шестернями 6. Концы валов
1 установлены в подшипниковых втулках
7, закрепленных на рычагах 8 и 9. Рычаг 9 имеет возможность поворачиваться на втулке 10 под действием пружины 11.
Это. позволяет менять расстояние между вертикальными валами 1 и компенсиро- 1о вать температурное удлинение ленты 2 при:разогреве тигля 4. Втулка 12 рас положена в рычаге 8 и служит подшипником для опоры 13, на которой закреплена ведущая шестерня 14 в храповое колесо 15, а собачка 16 связана с рычагом 8.
Рабочая поверхность вертикальных валов 1 выполнена гладкой и состои из; трех участков. центральный участок имеет цилиндрическую форму 17, а участки в зонах схода и захода ленты (концы валов) бесконечного конвейера выполнены в виде усеченных конусов 18, углы которых равным углу подъема спирали конвейера. д5
При переходе ленты с конического участка вала на цилиндрический шаг навивки ленты остается постоянным.
Устройство работает следующим образом. зо
При повороте храпового колеса ведущая шестерня 14 поворачивает шестерни
6 и связанные с ними валы 1. Лента конвейера 2, намотанная на валы, имеет две прямые ветви — верхнюю и . нижнюю, 35 причем в этих местах плоскость ленты непараллельна плоскости опор валов, поскольку концы валов конические. При наматывании на коническую поверхность . лента изгибается по спирали с определен 40 ным углом наклона относительно опоры вала, задаваемого углом конуса и его протяженностью. При переходе ленты на цилиндрический участок 17 вала угол наклона, приобретенный лентой на кониче- 4s ском участке 18, сохраняется и поэтому
78 4 лента ложится на цилиндрический участок вала по спирали с постоянным шагом. При попадании ленты на сбегающую коническую поверхность лента теряет угол спирали и выпрямляется в сторону приемного конуса другого вала, причем плоскость ленты наклонена к плоскости опор вала под таким же углом, но в противоположную сторону.
При наматывании ленты на другой вал направление спирали будет противополбжным, т.е. если на одном валу оно было правым, то на другом будет левым, а лента, навиваясь на одном валу снизу вверх, перейдет на другой вал и, навиваясь на нем сверху вниз, перейдет на первый.
Предлагаемое изобретение позволит упростить конструкцию устройства и уве:. личить продолжительность работы напылительной установки без разгерметизации..
Формула изобретения
Устройство для транспортирования, преимущественно навесок испаряемого материала, содержащее связанные с приводом вертикальные валы, на которых расположены и с которыми фрикционно связаны спирали бесконечного гибкого конвейера с держателями, и пружинный механизм натяжения конвейера, на рыча,— гах которого закреплены,опоры вертикальных валов, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения, участки вертикальных валов в зонах схода и захода ленты бесконечного конвейера выполнены в виде усеченных конусов, углы которых равны углу подъема спирали конвейера.
Источн ик и информации, принятые во внимание при экспертизе
1. данилин Б, С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М., "Знергия", 1972, с. 49-52.
2. Авторское свидетельство СССР
No 532733, кл, F 26 В 1 5/26, 1 975в
854378
IЯ 10
Составитель А. Елкин
Редактор Н. Кешеля Техред-И.Асталош Корректор С. Шомак
Заказ 4042/60 Тираж 740 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб;, д, 4/5
Филиал ППП "Патент", r, Ужгород,; ул, Проектная, 4