Кассета для обработки деталей вжидкой среде
Иллюстрации
Реферат
Союз Советскнн
Соцнвлнстнческнн
Республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (1)834802 (6I ) Дополнительное к авт. свид-ву (5E)М. Кл.
Н 01 С 21/00
С 25 0 17/06 (22) Заявлено 18.01.79 (21) 2715290/18-21 с присоединением заявки М
Фаеударотнвнный комитет
С ССР ао делам изобретений и .открытий (23) Приоритет
Опубликовано 30. 05. 81. Бюллетень .% 20
Дата опубликования описания 10.06.81 (53) УДК 621.794, .42/47(088.8) (72) Автор изобретения
Н.Н.Алешин
1 ель с1с1яЪ
Проектно-технологический и научно-иссл институт (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ
В ЖИДКОЙ СРЕДЕ
Изобретение относится к технологическому оборудованию, примейяемому в электронной и полупроводниковой технике, в частности, для жидкостной обработки кремниевых и ситалловых пластин, и может быть использовано на таких технологических операциях как обезжиривание, отмывка, фотолитография, травление, никелирование, при которых недопустимо соприкосновейие пластин между собой и с инородными поверхностями.
Известна кассета для химической обработки и отмывки пластин, содержащая корпус с ячейками для укладки пластин, выполненными в виде пазов и сквозньйти отверстиями для реактивов И
Однако при обработке пластин в известной кассете в пазах, сквозных отверстиях и особенно по кромкам соприкосновения пластин с пазами образуются застойные зоны, в которых происходит недостаточное взаимодействие реактива с обрабатываемыми поверхностями.
Известий кассета для обработки деталей в жидкой среде, например полупроводниковых пластин, содержащая установленные на основании средства крепления полупроводниковых пластин, выполненные в виде валков с Ч-образными канавками по цилиндрической поверхности (2).
Недостатком известной кассеты является то, что она не позволяет надежно фиксировать полупроводниковую пластину, а это вызывает ее повреждение в процессе обработки и снижает качество.
Цель изобретения — повьппение качества обработки деталей.
Указанная цель достигается тем, ро что кассета .для обработки деталей в жидкой среде, преимущественно полупроводниковых пластин-, содержащая установленные на основании средства крепления полупроводниковых плас834802 4 ь- щих 2, причем кинематическая связь с приводом выполнена, например, в виде зубчатой пары, один из элементов 20 которой установлен на верхнем конце оси 18, Один иэ валков 6 выполнен откидным относительно направляющей 2 и установлен .на проушине 21, входящей в прорезь ползуна 4 и перемещающийся вместе с полэуном.
10 Устройство работает следующим образом.
Кассета своим основанием .l вставляется в приемное устройство (не показано) автомата загрузки пластин
15 в кассеты с помощью ласточкиного хвоста и .фиксируется в нем. Нажатием кнопки 15 фиксирующего механизма 13 утапливается стержень 14 с планкой 16, на которой укреплены
20 фйксирующие штыри 17, выходящие из своих гнезд. В этом случае разъемная планка 11 разомкнута, валок 6 с кольцевой канавкой откидывается вокруг направляющей 2, проушина 21 также поворачивается вокруг направляющей 2. Доступ в пространство между роликами открытый, происходит загрузка пластин в кассету, т.е. в прорези валков 6 каждая пластина ока50 зывается зафиксированной в трех точках, затем откидной ролик возвращается в исходное положение, срабатывает фиксирующий механизм 13, замыкая пластины с четвертой стороны. з5 Кассета готова к дальнейшему циклу.
Для регулировки положения валков
6 по высоте служат две резьбовые втулки 8 и 9, установленные на оси 5.
45
55 тин, выполненные в виде валков с кол цевыми канавками, снабжена размещенными в оСновании ползунами и меха низмами их перемещения, при этом вал ки попарно связаны с ползунами, а один из валков выполнен откидным, при этом валок, выполненный откидным снабжен запирающим механизмом в виде подпружиненного стержня с фиксирующим элементом.
На фиг, 1 изображена предлагаемая кассета для обработки деталей в жид кой среде, общий вид; на фиг. 2— разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3— вид В на фиг. 2; на фиг. 4 — разрез
Г-Г на фиг. 3; на фиг. 5 — сечение
Д-Д на фиг. 2.
Кассета содержит основание 1 с выступом lа на верхней плоскости основания в виде так называемого ласточкиного хвоста для фиксации кассеты в загрузочном устройстве и агрегата для жидкостной обработки (не показаны). На нижней плоскости основания выполнены четыре выступа lб, в которых жестко зафиксированы направляющие 2, по которым перемещаются ползуны 3 и 4. В ползунах закреплены оси 5, на которых установлены валки 6 с кольцевыми канавками, выполненными в обкладке 7 из химически инертного материала, например фторолласта (кольцевые . канавки служат для удержания обрабатываемых пластин). На концах осей 5 установлены резьбовые втулки
8 и 9, служащие для регулировки положения валков 6 по высоте. Нижние концы осей 5 для большей жесткости попарно, связаны с планками 10 и 11 и закреплены гайками 12. Планка 11 выполнена разъемной с фиксирующим механизмом 13, состоящим из подпружиненного стержня 14 с кнопкой 15 расфиксирования и укрепленной на стержне фиксирующей планкой 16, выполненной с двумя фиксирующими штырями 17. В основании 1 установлена свободно вращающаяся ось 18, один конец которой связан кинематически с приводом (не показан), а другой— с двумя кулачками 19, развернутыми один относительно другого по оси на некоторый угол и установленными в прорезях полэунов 3 и 4 для обеспечения возвратно-поступательного движения ползунов с закрепленными на них валками 5,относительно направляюКассета вынимается из приемного устройства на операции загрузки пластин и поступает в агрегат жидкостной обработки пластин (не показан), где крепится в приемном устройстве с помощью того же ласточкиного хвоста основания 1, одновременно входя в зацепление зубчатым элементом 20 со вторым элементом зубчатой пары, . связанной с приводом. Кассета запирается в агрегате. Вращательное движение элемента 20 передается через ось 18 кулачкам 19, которые, поворачиваясь в прорезях полэунов 3 и
4, передвигают нх в двух взаимно перпендикулярных, плоскостях по направляющим 2, сообщая ползунам возвратно-поступательное движение, тем самым сообщая такое же движение и валкам 6, между которыми зажаты
Формула изобретения
5 пластины. Поскольку валки имеют свободное вращение относительно оси
5, то они просто обкатываются по кромкам .обрабатываемых пластин, давая доступ реактивам взаимодействовать со всеми поверхностями пластины без исключения.
Предлагаемое устройство позволяет решить вопрос обработки пластин с максимальной эффективностью, т. е. обеспечить качественную обработку всей пластины, в том числе эффективное удаление продуктов реакции, шлама и пр. с поверхности, так как вся поверхность обрабатываемой пластины легко доступна струям моющих и. других составов, исключается образование каких бы то ни было застойных эон, конструкция кассеты позволяет легко механизировать и автоматизировать известными средствами как процесс загрузки пластин в кассеты, так и жидкостную обработку пластин, причем в любом режиме с любой скоростью, так как имеется один и тот же узел крепления как в процессе загрузки, так и в процессе обработки.
Кассета предназначена,для пластин различных размеров, для чего валки могут быть передвижными, но целесообразнее выполнять кассеты на свой тиг. пластин, так как при массовом производстве полупроводниковых и других микроэлектронных приборов
834802
6 они служат межоперационной тарой.Надежность закрепления пластин в предлагаемой кассете такова, что только разрушение пластины может привести к ее выпадению из кассеты.
Ip 1. Кассета для обработки деталей в жидкой среде, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащая установленные на основании средства крепления полупроводниковых пластин, выполненные в виде валков с кольцевыми канавками, о т л и ч а— ю щ а я с я тем, что, с целью повышения качества обработки деталей, она снабжена размещенными в основа2 нии ползунами и механизмами их перемещения, при этом валки попарно связаны с ползунами, а один из валков выполнен откидным.
2. Кассета по и. 1, о т л и ч а25 10 G II TebI, TG II GK, BbIIIGJI ненный откидным, снабжен запирающим механизмом в виде подпружиненнбго стержня с фиксирующим элементом.
Источники информации, 30 принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
N - 457125, кл. Н 01 L 21/00, 1973.
2. Авторское свидетельство СССР
N - 445709, кл. С 25 0 17/06, 1973
35 (прототип) °
834802
Рад Р
Г-Г
7Ч
Составитель Л.Гришкова
Редактор К,Лембак Техред Ж.Кастелевиич Корректор С.Шекмар
Заказ 4114 81 Тираж 784 Подписное
В11ИИПИ Государственного. комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4