Термометр сопротивления

Термометр сопротивления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

«»838420 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 030979 (21) 2812552/18-10 с присоединением заявки М(23) Приоритет

Опубликовано 15.0б81. Smnnexeub " 22

Дата опубликования описания 1506,81 5 „„К„з

G 01 К 7/22

G 01 К 7/16

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (53) УДК 5 3 б . 5 3 1 (088. 8) (72) Авторы изобретения

С.С.Варшава и А.С.Островская

С,g

Львовский ордена Ленина политехничеЖций - Я® . институт (71 ) Заявитель (54) ТЕРМОМЕТР СОПРОТИВЛЕНИЯ

Изобретение относится к термометрии и может быть использовано для измерения температур от-100 до +200 а

Известны полупроводниковые термометры сопротивления для указанных температур, например, из нитевидных кристаллов кремния (1).

Недостатком этих термометров является сравнительно невысокая чувствительность и сложный характер термометрических характеристик.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому является термометр сопротивления, содержащий чувствительный 15 элемент иэ кристалла соединения A В легированного глубокими примесями арсенида галлия (2).

Недостатками термометра. являются невозможность измерения отрицательных 20 температур; диапазон работы термометра составляет от 0 до +200 С, а также большая величина сопротивления3 ° 104Ом при комнатной температуре, что усложняет процесс измерения. 25

Цель изобретения — расширение интервала измерения в низкотемпературную область.

Указанная цель достигается тем, что чувствительный элемент термометра 3() выполнен иэ твердого раствора арсено-фосфида галлия, легированного серой.

На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый термометр; на фиг. 2— градуировочная характеристика термометра.

Термометр содержит чувствительный элемент 1, выполненный из нитевидного кристалла Ga ро, q А.т оь, легированного серой, контакты 2 и токовыводы 3.

Сопротивление термометра при комнатной температуре не привышает 1040м.

Интервал измерений с помощью предлагаемого термометра составляет от

-100 до +200 С. Применение в качестве легирующей примеси серы в количестве

0,1 мг/смЗ при получении кристаллов из газовой фазы обеспечивает активационную зависимость сопротивления термбметра от температуры с достаточным наклоном 6 0,07 эВ и удобные для измерений величины сопротивлений.

Сопротивление термометра описываетСЯ УРовнением R ""- Rot <"т, где Нов сопротивление при Т - ео, Т- абсолютная температура.

В широком интервале температур эависимостьь 8gR э, f (4 fT ) аппроксимируется прямой линией, что упрощает градуировку и процесс измерения.

Термометр. имеет высокую чувствитель- л и ч а ю шийся тем, что, с ность во всем рабочем диапазоне изме- целью расширения интервала измерения рений. в низкотемпературную область, чувствиТемпературный коэффициент оопротив- тельный элемент термометра выполнен ления с для ряда температур составляет иэ твердого раствора арсено-фосфида

tkЗоок — Оi95ЪК, 5 галлия, Легированного серой. чоок

Источники информации, Точйость измерения с помощью термо- принятые во внимание при экспертизе метра О,Ц1 К. 1. Кривоносов A.È., Полупроводниковые датчики температуры,М., ЗнерФормула изобретения .гия, 1974 с.12.

2. Зарубин Л.И. и др. ПолупроводТермометр сопротивления, содержа- никовая техника и микроэлектроника, щий чувствительный элемент из кристал- К.> Наукова Думка, 1977 (протола соединения A В" и выводы, о т - тий).

2 Ф

7Н

Фив. 2

СоставительН ° Соловьев

Редактор A,Ëîëèíè÷. Техред 3 . .Фанта Корректор М, Шароши

Заказ 4410/59 Тираж 907 Подпи сион

ВНИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4