Устройство для измерения остаточныхнапряжений при непрерывном травлении

Устройство для измерения остаточныхнапряжений при непрерывном травлении

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советск из

Социалистичесиик

Ресаубиии ()838444 (61) Дополнительное к авт. свид-ву N- 330360 (22) Заявлено 13. 12. 79 (21) 2849456/18- 10 3 (51)M. Кл.

G 01 L 1/22 с присоединением заявки ЭЙ—

ГвсудаРстювниьй квивтвт

СССР аа делам извбрвтвнкй в вткритвк (23) Приоритет

Опубликовано!5.06.81 ° Бюллетень Рй 22

Дата опубликования описания 17.06.81 (53) УДК 531.781

{088. 8) (72) Автор изобретения

М. А. Тихонов

Куйбышевское агрегатное производственно-конструкторское объединение (7I ) Заявитель

{54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ

ПРИ НЕПРЕРЬВНОМ ТРАВЛЕНИИ

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образцов.

По основному авт.св. В 330360 известно устройство для измерения остаточных напряжений при непрерьтвном травлении, используемое для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образца, помещаемого в ванну с реактивом и закрепляемого в расположенном над ванной приспособлений: для крепления, содержащее датчик деформации, прибор, по показаниям которого. судят о толщине стравливаемого слоя, и регистрирующую аппаратуру. Для определения толщины стравливаемого слоя, используются аналитические весы,,к одному из плеч коромысла которых, располагаемых над ванной, подвешивается приспособление для крепления образца, а устройство снабжено фотокиноприставкой, фиксирующей показания шкал приборов (!!

Недостатком данного устройства является погрешность измерения, связанная с увеличением веса нити в процессе ее выхода из жидкого реактива . при непрерывном взвешивании травящегося образца.

Поскольку в площадь нити включаются провода тензодатчика с экранирующей изоляцией, свидетельствующего о деформации образца, а в случае электрохимического травления так же включается и провод питания гальванической ванны, при этом погрешность измерения, связанная с выходом на поверхность электролита указанной системы подвески, может быть недопустимо большой при исследовании тонких слоев образца.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

Эта цель достигается тем, что в устройство введена дополнительная

3 83844 ванна с реактивом, сообщенная каналом: с основной, при этом между ваннами расположена заслонка, установленная с возможностью регулирования перекрытия канала в соответствии с режимами травления.

На чертеже изображено устройство, общий вид.

На поворотном столе l находится ванна 2 с водой и сообщающиеся ванны 3 с реактивом, снабженные заслонкой 4, и шкала 5. Над ванной с реактивом устанавливаются аналитические весы 6, к коромыслу которых через нить

7 подвешивается образец 8, снабженный датчиком 9 деформаций, сигнал с которого поступает на регистрирующий прибор 10 и счетчик 11 времени. Одно- временная регистрация шкалы аналитических весов, измерителя деформации и счетчика времени осуществляется фотокиноприставкой 12.

Устройство работает следующим образом.

Перед началом процесса травления подвешенный к коромыслу аналитических весов образец, снабженный датчиком деформации, опускается в ванну с водой и уравновешивается. Затем вводитсй поправка с учетом разностй удель-, ных весов воды и реактива, после чего образец опускают в основнуЮ ванну с реактивом, уровень которого ниже

4 4 уровня дополнительной ванны. Включением тока начинают процесс травления и одновременно открывают заслонку сообщающихся ванн, устанавливая ее в соответствии с выбранным током скоростью травления, что определяется предварительной градуировкой.

В процессе травления образца регистрируется дефбрмация образца, толщина стравленного слоя и время травления.

По этим данным производят расчет остаточных напряжений.

Формула изобретения

Устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении по авт.св. У 330360, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения,в него введена дополнительная ванна с реактивом, сообщенная каналом с основной, при этом. между ваннами расположена заслонка, установленная с возможностью регулирования перекрытия канала в соответствии с режимами травления.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

У 330360, кл. G 01: б 1/22, 27.04.70 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 4412/61

Тираж 907 Подписное

Филиал ППП Патент г. Ужгород, ул. Проектная,4