Координатная система для устройствпроекционной печати

Координатная система для устройствпроекционной печати

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских оциапистическии

Республик

< 838649 (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) 3аявлеио 0 0979 (2f ) 2832278/18-10 с присоедииением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 15.06.81. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания .15.0681 р ) К„З

G 03 8 27/32

G 03 F 1/02

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (53) УД 6 5 5 ° 2 8 7 (088. 8) (54) КООРДИНАТНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ УСТРОЙСТВ

ПРОЕКЦИОННОЙ ПЕЧАТИ

Изобретение относится к оборудованию для производства изделий микроэлектроники, в частности к фотолито-. графическому оборудованию тля изготовления полупроводниковых приборов, а именно к устройствам, применяемым в оптико-механическом оборудонании для фотолитографии: в генераторах иэображения, фотопонторителях, установках совмещения и мультипликации и др, Известны координатные система в устройствах для изготовления фотошаблонов, содержащие днухкоординатный-стол с гнездом для крепления фотопластин, наборную диафрагму, проекционный объектив, дачтики перемещения кареток и систему управления (1), Наиболее близкой к предлагаемой является координатная система для фотоповторителя, содержащая основание с проекционным объективом, анализирующие головки датчиков, перемещаю- 25 щийся в плоскости координатный стол, несущий фотопластину, связанный с приводами по координатным осям и углу, и устройство управления, связанное с приводами P2 ). зо

Однако такая координатная система имеет сложную конструкцию и не обеспечивает достаточной точности.

Цель изобретения — упрощение конструкции и повышение точности

Указанная цель достигается тем, что координатная система для устройств проекционной печати, содержащая основание с проекционным объективом, анализирующие головки датчиков, перемещающийся н плоскости координатный стол, несущи.. фотопластину, связанный с приводами по координатным осям и углу, и устройство управления, связанное с.приводами, снабжена блоком перемножения сигналон датчикон и закрепленными на основании симметрично относительно проекционного объектива двумерными дифракционными решетками, оптически связанными с анализирующими головками датчиков, установленных на координатном столе симметрично относительно фотопластины, при этом блок перемножения сигналов датчиков входами связан с выходами анализирулцих головок, а выходами — с приводами координатного стола.

838649

Па фИГ. 1 СХЕМатИЧЕСКИ по«с.эаНО предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 — то же, вид сверху.

Координатная система сод}ерз<ит основание 1 с проекционным объектив вом 2, дв мерные дифракционные pe— шетки 3 и 4, двумерные анализирующие головки 5 б,координатный стол 7, приводы 8-10 стола 7 пс координа.тным осям ы углу соотвeòственно, блок

11 перемножения сиг}}алов, устрОЙство

12 программного управления и фо1"пластину 13. двумерчые дифракционные решетки

3 и 4 установлены на неподвижном Gcновании, симметрично относительно проекционного объектива 2. 1}а координатном столе 7,связанном с приводами 8 и 9 по координатным Осям ., ( соответственно и приводом (П поворота, расположена фотопластина 13, C}-; метрично относительно аотопластины

13 установлены две двумерные анализирующие головки 5 и б,которые оптически, взаимодействуя с дифРакционными решетками 3 и 4 представ)(яют собой два двумерных z,ачтика перемещений.

Координатная система работае"". следующим образом.

При перемещении координатного стсла 7 анализирующие головки 5 и 6 осуществляют выработку электрических сигналов, имеюк(их вид

sin Х4, cos Х ; 5 и Y ; cos

Х, cos X ., s i n Yg; ros (;. где Х л Y» — перемещение анализирующей голонки 5 относительно дифракционной решетки по координатным осям;.

Х и (— перемещение анализи-рующей головки 6 относытельнО дифракциОнной решетки 4 по координат-" ным осям, сигналы с анализирующих головок 5 и 6 поступают в блок 11 перемножения сигналов, который обеспечивает вы— по; нение операций

sin X° cosXg+co5Xi 5}пХ»

siï Х, siï } cos Хл cos X) !

5}п ((.cos } } cos (,(s in Y (Y„,sin (} + сos Y cos "(, sir ((cos 1 + cos (л 5}п YI

sin Yg s in YQ cos (q - cQs такИМ образом. обеспечивая выраб»отку сиг (алов

9 } П (),(+ XX)(cos ()4 + X ) )

sin (Yq + Y2)(, cos (Y4 + Y ))

5 (П (Y — (() ,4

Cos (.

Первая пара сигналов поступает на вход привода 8 обеспечивающеcî управление перемещением по координате Х, вторая пара сигналов поступает на вход привода 9, обеспечивающего

Kepi Лeiile ciИHЕ }.О КОО}}ЛИ . а . . e (,. B ТРЕТ } я

Гl аРа СИ Г"-:аЛОБ IOC " П 2Е Т На I}»(G, f HPH

«ОДа 1 П, Обес;}е (ивающего упэавление столом 7 г(О у глу Ч кроме того, приводы 8-16 связань. с ус=ройством 12

Ii poãpBIB.HG T о управле(1(я, обеспечы-акшего зада:;ие (еобхс).и, .Тых перемещенлй H и»1 с;Gpocs.;.-й по программе

;=.àáîò:. . устройства, "},1мме 1.}р}}ч -ое р"-;,JGBОжение pe(!l TGK

3 и 4 отнсслiельн. -.Роекцыонного объан а Jf(.::.= g.i-".:}If,}.}K гОЛОвок 5

6»l2 чиKG}B Относ»(т =! :G фотопластины 13 :}-ривсди-. к 1 с лу, чTG при изл:-:I-:e.!H". теf;::.è -; ат" =" кРтж;"щей сре;. ы . -}(аз }ва":6}}а Tej } epа B«урные neGGD

}!ацH I GC}}с}в 211HR 1 . КGG }д; НЗТНОГО сто.(па 7 „. !".: 1 } >е}IHGc" H: -,1. Нс TDBöHи

G»(, } -}У,,}}, Делствит-ел.,-.o, }-.сл вследстаи". р Са} : р. (-,H} „.:.BП-р(л(}:.= }С GCH Х а.(-:аЛИ—

3.(ðpóK}ùB - го;}Овна:» ITBT -,.fj(выг. B!, TBI.BHE-Т СИТ чаЛЬ} Г(О.-}ож НИ ПО Р,= л— нс стью -""(и г=T G=-к;: — = г: г}: =- }ностью то ИХ СИГИB,:1-1>1 1-(МЕЮт —.-ИД л

5 (;:., (л - - !T.з ) „.

2з

05,. . Z - )i, .-1О КООРД - НатЕ (—:-..Илв

При э то((,. учитывая с..(}:. е (ричность ра спо)10жеl(ия анализ:(р .((Дщ1" х i ОлОВОк

5 H ;. и с.:мметри.»иост} -(o= còpóêöHH

- ) стола 7 „(:!G»K}}G О}}(иг:ать, ч > Heличи (: .-ТРЕМЫ сЯ К НУЛ(5. Выделение сигналов вида

5(в (,}Л " () сos (1.; — д) . л„, Об»еспе"-}ива ет УДобс .--с постРоениЯ системы привода по углу,: поскольку величина ..; — Y »c,.ðBKтеризует гсвоРОт СтОЛа / ОТНОСИ:ЕЛЬНО T TeÍTPB фОТС}лла("ты(}ы f 3 .

Таким Образом, предлагае (BI(коор-. диыатыаЯ СИСтзма ИМЕЕТ ПРОСТУЮ КОНСТрукгию ы обладает,",ол;=:e высокимы

Тr! .(НО Т:b:!c Ii Г(аоа(л -, Ра}л}л 2 СЕЧЕТ Iv}eH Ь },"- т1 ЧУВС Р ON Tc l i!», (К . З(Е } .- -. Hc; уСЛО . Ий ЭКСПЛуат Зцыи, а ic ÅHHÎ К ИЗ—

:.=-KlåK:: = те. 11)ера(;-ур},, (}}армула изобретения

КоорДина тыBc(с}(отejc(B Для у с трой с та

}pOeI(! HGнНОй llecIa! И у Сод}ержаща=

О н 0 в а. (н и е с г(р О е к ц:. О н h ьел G О ь — к т и B 0 м,, BнализиРу10щи = ГОлo.."" к(. датчикОВ паpe мещак щийс." в }}лоскс"":.и координатный стол несу(ций фотсгл .стыну, связанньlй с (}риз}одами по координ атным с ям и у т}у ° H уст;:»О ство упРавления; связс(нноз с приводаэ1и О " л и ч а ю щ а я: с я тем„ что . с целью повыше; — I}i ОЧНОСТИ и УПРОЩЕ}--}!i}I KGBCТРУКЦИЫ, иг.

Составитель С. Коврина

Редактор С. Тимохина Техред М. Коштура Корректор, М. Шароши

Заказ 4439/71 Тираж 506 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 она снабжена блоком перемножения сигналов датчиков и закрепленными на основании симметричНо относительно проекционного объектива двумерными дифракционными решетками, оптически связанными с анализирующими головками датчиков, установленных на координатном столе симметрично относительно фотопластины, при этом блок перемножения сигналов датчиков входами связан с выходами анализирующих головок, а выходами — с приводами координатного стола.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 447664, кл. G 03 8 27/32, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР

9457064, кл. 6 03 Г 1/02, 1972 (прототип).