Устройство для изготовления межопера-ционного спутника из адгезивнойпленки, преимущественно для полу-проводниковых пластин

Устройство для изготовления межопера-ционного спутника из адгезивнойпленки, преимущественно для полу-проводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Соцналистнческнк

Республик (1838824 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 12.09.79 (21) 2820542/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.з

Н 01 L 21 00

В 65 В 15/00

Гооударстееиный комнтет (53) УДК 621.396. .69.001.2 (088.8) Опубликовано 15.06.81. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 25.06.81 по делам лзобретеннй и открытий

А. В. Ярош, Н. С. Колядко, В. Ф. Масленко

Г. М. Иванушко, В. А. Яковлева и Г. М. Ста х (72) Авторы изобретения (7!) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕЖОПЕРАЦИОННОГО

СПУТНИКА ИЗ АДГЕЗИВНОЙ ПЛЕНКИ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО

ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и интегральных схем и может быть использовано для формирования из адгезивного пленочного носителя и базового кольца спутника для межоперационного перемещения полупроводниковых пластин в сборочных процессах.

Способы ручного изготовления межопера ционных спутников с использованием адгезивного пленочного носителя малопроизводительны и не позволяют получить удовлетворительного качества спутников. то

Известно устройство для установки радиоизделий в ленточный носитель, содержащее расположенные в корпусе и связанные с приводным механизмом каретку, механизм вырубки с пуансоном и матрицей, механизм сборки и механизм загибки, решающее техническую задачу, сходную с задачей изготовления спутника из адгезивной пленки с точки зрения сходства осуществляемых операций и наличия основных узлов 11j

Однако это устройство не позволяет осу- 10 ществить изготовление межоперационного спутника из адгезивной пленки с учетом всех требований, предъявляемых к этому спутнику. В частности, при изготовлении спутника важно добиться плотного, без воздушных пузырьков, прилегания пленки к поверхности полупроводниковой пластины, что необходимо для сохранения их первичной ориентации и исключения их потери при транспортировке и операциях разделения и монтажа.

Цель изобретения — расширения функциональных возможностей, увеличение производительности и повышение качества изготавливаемого спутника.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для изготовления межоперационного спутника из адгезивной пленки, соержащем расположенные в корпусе и связанные с приводным механизмом каретку, механизм вырубки с пуансоном и матрицей, механизм сборки и механизм загибки, механизм сборки снабжен предметным столом, герметизирующим кольцом и кольцевым прижимом, механизм загибки выполнен в виде диска с закрепленными на нем пружинными загибочными элементами, пуансон механизма вырубки выполнен в виде кольца, установленного на каретке концентрично коль838824 цевому прижиму механизма сборки, в мат. рице механизма вырубки выполнены отверстия для прохода загибочных элементов механизма загибки, причем предметный стол и герметизирующее кольцо совместно с адгезивной пленкой и матрицей образуют герметичную полость в сомкнутом положении, а приводной механизм выполнен в виде группы силовых цилиндров, штоки которых связаны соответственно с предметным столом, герметизируюшим кольцом, кольцевым прижимом, пуансоном и диском механизма загибки, и снабжен программным золотниковым блоком, выходы которого связаны с сило-. выми цилиндрами. Кроме того, режущие эле.менты пуансона .механизма вырубки выполнены в виде расположенных на его торце по замкнутому пилообразному контуру режущих пластин, на кромках которых выполнены пилообразные зубья.

На фиг. 1 изображено устройство в позиции формирования спутника, общий вид, разрез; на фиг. 2 — вид А на фиг. 1 (перевернуто); на фиг, 3 — 8 — положения элементов устройства по ходу технологического процесса; на фиг. 9 — межоперационный спутник с закрепленной на нем полупроводниковой пластиной, вид в плане без защитной пленки.

На корпусе 1 в рабочей позиции над кареткой 3 закреплена матрица 18 механизма вырубки, в отверстиях 19 которой расположены загибочные элементы 20 механизма загибки 16, расположенные на диске 21 кон.центрично кольцевому прижиму 6, и пружина 22 возврата диска 21 в исходное положение. Для возврата в исходное положение предметного стола 4, вырубного пуансона 5, кольцевого прижим а 6, герметизирующего кольца 7 также предусмотрены пружины возврата (на чертежах не показаны).

Устройство содержит корпус l (фиг. 1) в направляющих 2 которого смонтирована каретка 3, несущая расположенные концентрично предметный стол 4 механизма сборки, 30 вырубной пуансон 5 механизма вырубки, кольцевой прижим 6 и герметизирующее кольцо 7 механизма сборки, имеюшие самостоятельные приводы 8 — 11 и 14 со штоками соответственно для независимого друг от дру

ra перемещения по программе, задаваемой программным золотниковым блоком 12, представляющим собой набор программно-взаимосвязанных золотниковых, выходы которых связаны с силовыми цилиндрами 13 приводов 8 — 11 и 14 и силовым цилиндром 15 ме- 40 ханизма 16 загибки. Толкатели 17, закрепленные на предметном столе 4, пуансон 5 на кольцевом прижиме 6 и герметизируюшем кольце 7 в рабочем положении каретки 3 устанавливаются соосно штокам приводов

8 — 11 и имеют возможность перемещения в

45 направляющих каретки 3..

В герметизируюшем кольце 7 и матрице

18 выполнены отверстия 23 для сообщения с вакуумным отсосом. На кольцевом прижиме 6 выполнен уступ 24 для базового кольца 25 (фиг. 3) формируемого спутника-носителя. Вырубной пуансон 5 (фиг, 1) выполнен в виде кольца 26, в котором закреплены расположенные по пилообразному замкнутому контуру режущие пластины 27 с пилообразными зубьями 28, входяшими при вырубке лепестков адгезионного пленочного носителя 29 (фиг. 2) в пазы 30 матрицы 18: Перемещение каретки 3 (фиг. 1) осуществляется с помощью привода оычного тина.

Устройство работает следующим образом.

В позиции загрузки-выгрузки на предметный стол 4 (фиг. 3) устанавливается защитная пленка 31 и полупроводниковая пластина 32, а на кольцевой прижим 6— кольцо 25 формируемого спутника-носителя. Пленочный носитель 29 протягивается под механизмом загибки 16 лепестков. Все механизмы находятся в исходном положении

Каретка 3 (фиг. 1) перемещается в рабочую позицию формирования и в конце перемещения, после ее фиксации, выключается программный блок 12, которое подает сжатый воздух соответственно программе в полости силовых цилиндров, приводов 8 — 11.

При этом вначале сжатый воздух подается в полость приводов 9 и 10 вырубного пуансона 5 и кольцевого прижима 6, осуществляя подъем последних вверх (фиг. 4).

Кольцевой прижим 6 прижимает пленочный носитель 29 к матрице 18, а вырубный пуансон 5 вырубает пленочный носитель 29, образуя лепестки 33 (фиг. 9) по замкнутому контуру, и отходит вниз под действием пружин возврата (фиг. 5).

Затем включается силовой цилиндр 15 (фиг. 1) диска 21 механизма 16 загибки лепестков, который, перемещаясь вниз своими загибочными элементами 20, выполненными в виде пружин, подгибает лепестки, ЗЗ (фиг. 5). Сжатый воздух отключается в приводе 10 (фиг. 1), и под действием пружин возврата прижимное кольцо 6 (фиг. 6) отходит вниз, а загибочные элементы 20 заходят под кольцо 25 формируемого спутниканосителя, одновременно удерживая его и обжимая лепестки 33 вокруг кольца 25. Следуюшим движением вверх кольцевой прижим 6 совместно с герметизируюшим кольцом 7 производит окончательное подформование лепестков 33 (фиг. 7) вокруг кольца

25, одновременно герметизируя зоны Б и В, которые затем соединяются с вакуумным отсосом, а диск 21 механизма 16 загибки лепестков отходит вверх (фиг. 8) По истечении времени вакуумирования зон Б и В, (фиг. 7) включается привод 8 (фиг. 1) предметного стола 4 и он своим движением вверх производит закрепление полупровод838824

Формула изобретения озицою

+g9l

1. Устройство для изготовления межоперационного спутника из адгезивной пленки, преимущественно для полупроводниковых пластин, содержащее расположенные в корпусе и связанные с приводным механизмом каретку, механизм вырубки с пуансоном и матрицей, механизм сборки и механизм загибки, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, увеличения производительности и повышения качества изготавливаемого спутника, механизм сборки снабжен предметным столом, герметизирующим кольцом и кольцевым прижимом, механизм загибки выполнен в виде диска с закрепленными. на нем пружинными загибочными элементами, пунсон, механизма вырубки выполнен в виде кольца установленного на каретке концентрично кольцевому прижиму механизма сборки, в матрице механизма вырубки выполнены отS верстия для прохода загибочных элементов механизма загибки, причем предметный стол и герметизирующее кольцо совместно с адгезивной пленкой и матрицей образуют герметичную полость в сомкнутом положении, а приводной механизм выполнен в виде группы силовых цилиндров, штоки которых связаны соответственно с предметным столом, герметизирующим кольцом, кольцевым прижимом, пуансоном и дискам механизма загибки и снабжен программным болотниковым блоком, выходы которого связаны с силовыми цилиндрами.

2. Устройство по п. 1. отличающееся тем, что, режущие элементы пуансона механизма вырубки выполнены в виде расположенных на его торце по замкнутому пилообразному контуру режущих пластин, на кромках которых выполнены пилообразные зубья.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 501016, кл. В 65 В 15/04, 29.07.74 (прототип).

838824

Составитель Г. Падучин

Редактор М. Петрова Техред А. Бойкас Корректор Н. Стец

Заказ 4453/79 Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и от крытий! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4