Устройство для определения степениочистки металлической поверхности

Устройство для определения степениочистки металлической поверхности

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советск их

Социалистических

Республик

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< >840709 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (51)М. Кл. (22) Заявлено 07. 07. 78 (21) 2637864/18-25 с присоединением заявки №

6 01 М 21/21

Геоударствеиный комитет

СССР (23) П риоритет до делам изебретеиий и открытий

Опубликовано 23.06. 81. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 23. 06,81 (53) УЛК 535. 5 (088. 8) М, В. Хащина, В. В. Преждо, Ю.. Новтй(йф ., А. В. Костромеев и А, С. Кужа с@3 @41 . мь | ., 19 .Р "Ж (j r-, Харьковский ордена Ленина политехнический, инстиц им, В. И. Ленина (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТЕПЕНИ

ОЧИСТКИ METAJIJIH×ÅÑÊÎA ПОВЕРХНОСТИ

Изобретение относится к измерению интенсивности и поляризации световым лучей и может быть использовано для качественного и количественного анализа следов соединений на поверхности исследуемого образца.

Известно устройство для определения степени очистки металлической поверхности, содержащее источник монохроматического поляризованного излучения, компенсатор, подложку для исследуемого образца, анализатор, фотоприемник.

Известное устройство позволяет определить характеристики загрязнений, установить качественный и количественный состав загрязнений PI) .

Однако это устройство не обладает достаточной чувствительно тью для определения следов соединений на поверхности, так как вклад аннзотропин, вносимый следами соединений в изменение поляризации не достаточен для их определения.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для определения степени очистки металлической поверхности, содержащее последовательно располо5 женные источник монохроматического поляризованного излучения, компенсатор, подложку для исследуемого образца, анализатор и фотоприемник 1,2).

Недостатком известного устройства является невысокая чувствительность.

Цель изобретения — повьипение чувствительности.

Эта цель достигается тем, что в устройство введен источник электри ческого поля, установленный с возможностью воздействия на поверхность исследуемого образца и расположенный на опоре, при этом опора выполнена с возможностью вращения ее в трех проекциях.

На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство.

3 8407

Устройство содержит последовательно расположенные источник монохроматического> поляризованного излучения, компенсатор 2, подложку 3 для исследуемого образца, источник 4

5 электрического поля, расопложенный на опоре 5, анализатор б, фотоприемник 7.

Введение источника электрического поля, установленного с возможностью щ воздействия на поверхность исследуемо го образца, позволяет создать дополнительную анизотропию молекул соединений, находящихся на поверхности. В результате создания допол- 15 нительной анизотропии, дополнительно изменяется поляризация отраженного от поверхности исследуемого образца.

Сравнение этого излучения с излучением, отраженным от поверхности эта- 20 лонного образца, позволяет судить о качественном и количественном составе соединений.

Источник 4 электрического поля установлен на опоре 5 с возможностью 25 воздействия на поверхность исследуемого образца, расположенного на подложке 3, Опора 5 выполнена с возможностью вращения ее в трех проекциях. 30

Расположение источника электрического поля на опоре, выполненной с возможностью вращения ее в трех проекциях, позволяет изменять пространственную ориентацию электрического 35 поля относительно поверхности исследуемого образца, добиваясь создания максимальной анизотропии молекул соединений.

Компенсатор 2 служит для измене- 40 ния соответствующим образом фазового сдвига между р и s компонентами излучения.

Анализатор 6 представляет собой линейно поляриэующее устройство. 45

Устройство работает следующим образом, При воздействии электрического поля от источника 4 на поверхность исследуемого образца, расположен- 50 ного на подложке 3, возникает допол1 нительная анизотропия молекул соединений (загрязнений), находящихся на поверхности.

Свет от источника 1 монохроматического поляризованного излучения проходит через комненсатор 2, отражается от поверхности образца из09 4 меняя поляризацию, затем проходит через анализатор б и регистрируется фотоприемником 7.

При вращении опоры 5 с установленным на ней источником 4 лектрического поля, изменяется пространственная ориентация электрического поля относительно поверхности исследуемого образца, при qT M достигается максимальная анизотропия соединений, находящихся на поверхности и, следовательно, максимально изменяется поляризация излучения, отраженного от поверхности образца.

По изменению поляризации отраженного от поверхности образца излучения судят о качественном и количественном составе соединений (загрязнений), находящихся на поверхности.

Предлагаемое устройство повышает чувствительность устройства в 5 — 10 раз, что позволяет использовать его для анализа поверхности, исследуемых образцов, наличия на поверхности тонких пленок, комплексов (в том числе химических комплексов), следов соединений и т.д., определять их качественный и количественный состав.

Предлагаемое устройство может быть использовано также для исследования поверхности катализаторов на предмет отравления их нежелательными соединениями, замедляющими катализ, а также проверять степень отравления катодов, например электровакуумных или газовых лазеров.

Формула изобретения

Устройство для определения степени очистки металлической поверхности, содержащее последовательно расположенные источник монохроматического поляризованного излучения,компенсатор, подложку для исследуемого образца, анализатор и фотоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности, в устройство введен источник электрического поля, установленный с возможностью воздействия на поверхность исследуемого образца и расположенный на опоре, прн этом опора выполнена с возможностью вращения ее в трех измерениях, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

840709

Составитель 3. Ляшенко

Редактор Г. Волкова Техред М.ГолинкаКорректор Н. Бабинец

Заказ 4751/63 Тираж 907 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

1. "Система автоматизации эллипсометрических измерений", 1976, т.40, У 3, с. 596-599, 6

2. Горшков М. М. Эллипсометрия.

М,, "Советское радио", 1974, с. 48-50 (прототип).