Приставка к рентгеновскому дифракто-метру для ориентированной резки moho-кристаллов

Приставка к рентгеновскому дифракто-метру для ориентированной резки moho-кристаллов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Вес ублик

< >842518 (61) Дополнительное к авт. саид-ву р )м. кл. (22) Заявлено 03.08.79 (21) 2804333/18-?5 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

G N 23/20

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 3001ф1. Бюллетень №24

Дата опубликования описания 30. 01. 81 (53) УДК 621.386 (088.8) В.Г. Фомин, В.Ф. Павлов, Ю.В. Юшков, В.К.Гаврилюк и П.И. Ременюк (72) Авторы изобретения

Государственный орденаоОктябрьской Революции наулы исследовательский и проектный институт реЬкомдтаЛлической промышленности (71) Заявитель (54) ПРИСТАВКА К РЕНТГЕНОВСКОМУ ДИФРАКТОМЕТРУ,„, ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕЗКИ NOHOKPHCTAIJIJIOB - "

Изобретение относится к оборудованию для рентгеноструктурного анали за, в частности рентгенодифрактометрам, и может быть использовано для кристаллографически ориентированной резки монокристаллов.

Известно устройство для ориентирования крупных кристаллов полупроводниковых материалов, устанавливаемое на рентгеновском дифрактометре, представляющее собой обойму, в которой закрепляется ориентирующий монокристалл. После установки положения искомой кристаллографической плоскости в монокристалле производят разметку среза и переносят обойму в станок для резки f1) .

Однако в связи с отсутствием связующих элементов между рентгеновским аппаратом и станком погрешность ориентированного среза оказывается достаточно высокой.

Известно также устройство для ориентированной резки монокристаллов, в котором рентгеновский аппарат и режущий механизм соединены между собой присПособлением для переноса монокристалла, выполненным с монтируемой на гониометре рентгеновского аппарата посредством соединительной приставки рабочей головки, которая может поворачиваться при помощи привода, жестко закрепленного на опорном столе режущего механизма, причем на рабочей головке смонтированы круговые и прямолинейные направляющие Г2Д.

Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой является приставка к рентгеновскому дифрактометру для ориентированной резки монокристаллов, содержащая основание, смонтированный на нем держатель оправки с базовой плоскостью и линейными горизонтальными направляющими, съемную оправку для крепления монокристалла и вращения его в обойме вокруг продольной оси с базовым элементом для установки оп20 равки на горизонтальные прямолинейные направляющие держателя. Устройство может быть использовано в комплексе со станками, имеющими диски с внутренней режущей кромкой и обеспечивающими точность реза 610 угловых минут (3) .

Недостатком данного устройства является невозможность устранения погрешности ориентировки, обуслов30 ленной конечной расходнмостью пер842518 вичного пучка, которая составляет не менее 20 угловых минут.Для устранения этой погрешности необходима дополнительная юстировка кристалла с помощью пробных резов.

Цель изобретения — повышение точности ориентирования.

Поставленная цель достигается тем, что в приставке к рентгеновскому дифрактометру для ориентированной резки монокристаллов, содержащей основание, смонтированный на нем держатель оправки с базовой плоскостью и линейными горизонтальными направляющими, съемную оправку для крепления монокристалла и вращения его в обойме вокруг продольной 15 оси с базовыми элементами для установки оправки на горизонтальных линейных направляющих держателя, на основании приставки смонтирован допол .нительный держатель оправки с базовой Я плоскостью, перпендикулярной горизонтальной базовой плоскости первого держателя оправки, а оправка снабжена механизмом поворота обоймы вокруг оси, перпендикулярной базовой плоскости оправки.

На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство, вид спереди, на фиг. 2 — вид А на фиг.1.

Приставка содержит стационарную часть, устанавливаемую на рентгенгониометре дифрактометра, и переносное приспособление-оправку. Стационарная часть состоит из основания 1, закрепляемого на рентгенгониометре, каретки 2, связанной с основанием соединением типа "ласточкин хвост", поворотной головки 3, смонтированной на каретке, съемного указателя 4 оптического центра гониометра и держателей 5 и 6 оправки, установленных ф() на головке. Переносное приспособление-оправка состоит из базового элемента 7, выполненного в виде соединения "ласточкин хвост" (для перемещения и крепления в направляющих держателей 5 и 6 приставки и держателе станка для резки), стопорного болта 8, обоймы 9, механизма поворота обоймы, состоящего из штыря-фиксатора 10, круговой направляющей 11 и поворотной пластины 12, привода 13 для вращения в обойме 9 вокруг продольной оси штока 14, на котором закрепляется монокристалл 15, стопорных винтов 16 и 17.

Устройство работает следующим образом.

Шток 14 с наклеенным монокристаллом 15 закрепляют винтом 16 в патроне привода 13. Затем оправку вставляют в горизонтальные направляющие 60 держателя 5 и перемещают по ним до касания монокристалла 15 и указателя 4, далее стопорят ее болтом 8 и убирают указатель. Включают. рентгеновский пучок, счетчик устанавли- 65 вают на угол 2 8 (Вульфа-Брэггов) и с помощью привода 13 вращают шток 14 с монокристаллом 15 вокруг горизонтальной оси и всю приставку вокруг вертикальной оси гониометра.

Когда монокристалл оказывается в отражающем положении (максимуме интенсивности дифрагированного излучения), фиксируют азимутальное положение штока винтом 17. После этого вращением обоймы 9 по круговой направляющей 11 вокруг штока-фиксатора

14 и всей приставки вокруг вертикальной оси гониометра устанавливают расчетное значение угла на шкале при максимальных значениях интенсивности дифрагированного излучения и штырем-фиксатором 10 закрепляют положение обоймы 9 на базовом элементе 7.

Затем освобождают болт 8 и переносят оправку в вертикальные направляющие держателя 6, перемещают по ним до касания монокристалла 15 и указателя 4, стопорят оправку болтом и убирают указатель, Вращением всей приставки только вокруг вертикальной оси гониометра вновь находят максимальное положение монокристалла, отвечающее максимальной интенсивности отраженного пучка. После этого ослабляют винт 17 и, поворачивая шток 14 с помощью привода 13 (на угол, не более нескольких градусов) и всю приставку вокруг оси гониометра (на угол, менее 1 ), устанавлио вают расчетное значение на шкале.

Затем фиксируют привод 13 винтом

17 и переносят оправку на станок для резки.

Использование предлагаемого устройства при резке крупных монокристаллов позволяет понизить погрешность ориентированного среза до

6 угловых минут, выполняемого на станках с внутренней режущей кромкой.

Формула изобретения

Приставка к рентгеновскому дифрактометру для ориентированной резки монокристаллов, содержащая основание, смонтированный на нем держатель оправки с базовой плоскостью и линейными горизонтальными направляющими, съемную оправку для крепления монокристалла и вращения его в обойме вокруг продольной оси с базовыми элементами для установки оправки на горизонтальные прямоли- . нейные направляющие держателя, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения точности ориентирования, на основании смонтирован дополнительный держатель оправки с базовой плоскостью, перпендикулярной горизонтальной базовой плоскости первого

842518 .1

ВАМ

Фиг.г

ВНИИПИ Заказ 5056/46 Тираж 907 Подписное.

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул,Проектная,4 держателя оправки, а оправка снабжена механизмом поворота обоймы вокруг оси, перпендикулярной базовой плоскости.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Суходрева И.М., Абрамов В.Н., Захаров Б.Г. Приставка к рентгенов кой установке УРС-504 для ориентировки монокристаллов полупроводниковых материалов. — "Вопросы радиоэлектроники". ñåð. полупроводниковые приборы". 1962, вып. 2, с. 97-100.

2. Авторское свидетельство СССР

9 364129, кл. Н 05 G 1/02, 1971.

3. Авторское свидетельство СССР

Р 443431, кл. Н 01 L 7/68, 1972 (прототип).