Ультразвуковой способ контролякачества многослойных изделий

Ультразвуковой способ контролякачества многослойных изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИCÀÍÈЕ 842567

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистических республик

К АВТОРСК©МУ СВ Н ЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное Ic авт. саид-ву (22) Заявлено 280479 (23) 2760391/25-28 Р1)М. Кл. с присоединением заявки Йо(23) приоритет

G 01 N 29/04

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытн и (53) 3ГДК 620.179. . 16 (088,8) Опубликовано 3006,81. Бюллетень Й9 24

Дата опубликования описания 30р6,81

/ (72) Авторы изобретения, 1

В.М. Колешко и A.Â. Гулай

Институт электроники AH Белорусской ССР

/ (71) Заявитель (54) .УЛЬТРАЗВУКОВОЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА многослойных изДелиИ

Изобретение относится к неразрушающим испытаниям и может быть использовано для контроля качес ва полупроводниковых приборов и интегральных 5 микросхем.

Известен способ контроля шероховатости поверхности изделий, заключающийся в том, что на контролируемую поверхность устанавливают преобразо- О .ватель, возбуждают его радноимпульсами и определяют резонансную частоту преобразователя до получения максимального значения амплитуды их .огибающей f11.

Недостатком известного. способа . является низкая точность контроля, так как контроль ведут на низких резонансных частотах.

Наиболее близкий к предлагаемому ультразвуковой способ контроля ка- 2© чества многослойных изделий заключается в том что в изделии возбуж« .дают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через, изделие колебания, измеряют информативный их параметр и по его производной судят о качестве изделий (2), Недостатком данного способа также является низкая точность контроля,,так как на точность определения 30 минимального значения производной амплитудно-частотной характеристики .поверхностных волн оказывает влияние. невоспроизводимость качества акустических контактов между поверхностью образца и преобразователями. цель изобретения — повышение точности контроля.

Поставленная цель достигается тем, что за информативный параметр принимают коэффициент нелинейных .искажений поверхностных волн.

На фнг.,l представлена блок-схема устройства, реализующего способ; ,на фиг. 2 — график зависимости коэффициента от частоты.

Устройство содержит генератор 1 электрических колебаний, модулятор 2, излучающий преобразователь 3; приемный преобразователь 4, усилитель

5,. измеритель 6 нелинейных искажений, индикатор 7 и дифференцирующий блок 8.

Способ осуществляется следующим

;образом.

С помощью генератора 1 электрических колебаний возбуждают в образце поверхностные волны различных частот, С помощью приемного преобразова, теля 4 осуществляют прием этих волн.

842567

Формула изобретения к

Kg

Ф

К

94и 1

Составитель Л. Лущенко

Техред Е.Гаврилешко . КорректоР Ю. Макаренко

Редактор A. Маковская.Тираж 907 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 5070/48

Филиал OHG Патент, г. Ужгдрод, ул. Проектная, 4

Электрические колебания с выхода преобразователя поступают через усилитель 5 на измеритель 6 нелинейных искажений.

Используемый в качестве информативного параметра коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн вычисляется по формуле

Ъ

Ц ЙА к

16

А„ где А<- амплитудное значение первой гармоники поверхностной волны

А. - амплитудное значение 1 гармоники.

15 ..Сигнал, пропорциональный коэффициенту К, подается на один вход индикатора 7, на другой вход которого поступает сигнал, пропорциональный

К с выхода дифференцирующего блока Я

8, где К - производная коэффициента нелинейных искажений .

С помощью модулятора 2 осуществляется изменение частоты выходного напряжения генератора 1. 25

Предлагаемый способ позволяет повысить точность контроля многослойных изделий.

Ультразвуковой способ контроля качества многослойных изделий, заключающийся в том, что в иэделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через изделие колебания, измеряют информативный их параметр и по его производной судят О качестве иэделий отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, за информативный параметр. принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.,Авторское свидетельство СССР, Р 418791, кл. а 01 М 29/04, 1973.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 658468 кл. G 01 N 29/04, 1977 (прототип)-;