Устройство для осаждения слоев изгазовой фазы

Устройство для осаждения слоев изгазовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ р»843028 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1806.79 (21) 2780938/18-21 с присоединением заявки Йо (23) Приоритет .—

Опубликовано 3006.81. Бюллетень Йо 24

Дата опубликования описания 300681 (51)М. Кл 3

Н 01 L 21/00

Государственный комитет СССР но делам изобретений и открытий (53)УДК 621 382 (088. 8) (72) Авторы изобретения

В. Н. Баранов и В. И. Иванов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к изготовлению установок для осаждения слоев из парогазовой фазы с лучистым нагревом и может быть использовано в производстве полупроводниковых прибОров и интегральных схем для проведения процессов эпитаксиального наращивания кремния,. нитрида кремния, ниэкотемнературного осаждения легированных слоев S102 и т.д.

Известна установка осаждения слоев иэ парогазовой фазы с лучистым нагревом (1).

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является 15 устройство для осаждения слоев иэ газовой фазы, содержащее реактор, выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкодержа- 20 телем, водоохлаждаемые отражатели с излучателями, расположенные с его внешней стороны, и систему подачи и отвода газовой смеси (2) .

Недостатками известных устройств. являются неравномерность нагрева подложек и низкая надежность.

Цель изобретения — повышение равномерности нагрева подложек и повышение надежности. 30

Указанная цель достигается тем, что в устройстве для осаждения сло-, ев из газовой фазы, содержащем реактор, выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкЬдержателем, водоохлаждаемые отражатели с излучателями, расположенные с его внешней стороны, и систему подачи и отвода газовой смеси, наружная кварцевая оболочка реактора выполнена в виде набора цилиндрических стержней, плотно прилегающих друг к другу по образующим.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 — разрез A-A на фиг. 1.

Устройство для осаждения слоев иэ газовой фазы включает в себя четыре водоохлаждаемых отражателя 1, внутри которых установлены,в шахматном порядке по высоте излучатели

2 типа галогенных или гаэоразрядных ламп. С отражателями 1 состыкованы фланцы 3 с коллекторами подачи 4 и отвода 5 воздуха, охлаждающего уплотненный в них кварцевый реактор 6.

В фланцах 3 закреплена кварцевая оболочка 7, являющаяся внешней стенкой реактора б. Кварцевая оболочка 7

843028 выполнена в виде набора цилиндрических стержней 8, плотно прилегающих друг к другу по образующим.

Кварцевый реактор 6 уплотнен крьшкой 9 и имеет устройства подачи 10 и отвода 11 газовой смеси. В крыаке9 установлен вращаемый подложкодер5 жатель 12 в виде тонкостенной усеченной пирамиды, на гранях которой размещены полупроводниковые подложки 13.

Отражатели 1 с установленными на них элементами закреплены в герметичном каркасе 14, в который нагнетается охлаждающий колбу излучателей 2 воздух.

Устройство работает следующим об- IS разом.

Оболочка 7 обеспечивает светорассеивание лучистых потоков, так как каждый цилиндрический стержень 8 является линзой с минимальным фо-,ф кусным расстоянием. В результате наличия большого числа.линз обеспечивается перераспределение и выравнивание лучистых потоков по поверх-, ности пирамиды, что уменьшает влияние явления полосатости нагрева.

Воздушное охлаждение реактора 6 .и излучателей 2 осуществляется двумя параллельными потоками воздуха, один из которых поступает из коллектора 4, другой - из каркаса 14 через отверстия 15 для установки излучателей 2. Потоки воздуха объединяются в коллекторе 5, причем воздух от излучателей 2 поступает через неплотности между стержнями 8 эа счет избыточного статического давления в каркасе 14. При взрыве реактора 6 куски кварца ударяются в цилиндрические стержни 8 и их кинематическая энергия гасится, в то время 40 как взрывная волна может беспрепятственно пройти через неплотности между ними и погаситься в большом объеме.

Таким образом, кварцевая оболоч» ка 7 выполняет несколько функций: рассеивает лучистые потоки, падающие на подложкодержатель, выравнивает температурные поля, организует воздушные потоки в целевом зазоре у поверхности реактора 6, гасит взрывную волну и защищает излучатели и отражатели от механических повреждений. При этом конструкция устройства упрощается.

Формула изобретения

Устройство для осаждения слоев из газовой фазы, содержащее реактор, вйполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкодержателем, водоохлаждаемые отражатели с излучателями, расположенные с его внешней стороны, и систему подачи и отвода газовой смеси, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения равномерности нагрева подложек и повышения надежности, наружная. кварцевая оболочка реактора выполнена в виде набора цилиндрических стержней, плотно прилегающих друг к другу по образующим.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1 ° Обзоры по электронной технике.

Сер. Полупроводниковые приборы, вып. П, ч.1, ПМ., 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

В 180271, кл. 21 h 3/02, 1964 (прототип) .

843028

Составитель Л. Беспалова

Техред М. Ксштура Корректор Н. Стец

Редактор A. Лежнина

Заказ 5140/72

Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. ужгород, ул. Проектная, 4