Устройство для очистки поверхностиполупроводниковых пластин

Устройство для очистки поверхностиполупроводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н.И E

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 160479 (21) 2752212/18-21 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 3006,81. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 300 81 (5!)М. Кл.з .

Н 01 ? 21/46

Н 05 К 3/26

Государственный комитет СССР по дедам изобретений и открытий (53) УДК 621.382 (088.8) Э.Ф. Матяш, A.В. Кавецкий, A.Â. Бобряков ) (r|" å „";."д, ".r и Л.Ф. Коваленко

1,. 1 . ь

6 Ь (72) Авторы изобретения (71) Заявитель! (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

30

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства изделий микроэлектроники и мо- жет быть использовано для очистки полупроводниковых пластин и подложек приборов от загрязнений и при снятии слоя фоторезиста.

Известно устройство для очистки поверхности полупроводниковых плас. тин, в котором использован способ гидродинамической кавитационной .очистки. Устройство содержит центрифугу с планшайбой, на которой имеются держатели для очищаемых полупроводниковых пластин, неподвижный 15 диск с пневмоприводом для поджатия его к поверхности планшайбы, резервуар для растворения кислорода в очищенной воде и нагрева полученной смеси, систему подачи рабочей жид-. 20 кости в зону обработки и контрольноизмерительную аппаратуру (11.

Очистка полупроводниковых пластин производится жидкостью, истекающей под давлением во время вращения планшайбы от центра ротора по взаимно перпендикулярным каналам, выполненным на диске и вызывающим явление кавитации, разрушающей поверхностные загрязнения на полупроводниковых пластинах.

Недостатком этого устрой"тва является его незысокая надежность, так как при работе устройства для образования тонкого слоя истекающей жидкости ее необходимо подавать под давлением, достаточным для получения эффектов кавитации, что вызывает значительные осевые нагрузки на рабочий вал центрифуги. Кроме того, устройство не обладает достаточной производительностью, а отсутствие вращения пластин вокруг своих осей во время обработки приводит к неравномерному снятию загрязнений на полупроводниковых пластинах. Участки пластин, расположенные ближе к центру имеют меньшую линейную скорость и низкое качество обработки поверхности.

Цель изобретения — повышение производительности и надежности °

Поставленная цель достигается тем, что устройство для очистки поверхности полупроводниковых пластин, содержащее расположенные на основании ротор с валом, связанным с приводным механизмом, планшайбу с держателями пластин, диск с канавками, выполненОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалнстмческик

Республик (61) Дополнительное к asr. свмд-ву (я)м. к„.з

Н 01 1. 31/00 а 01 К 7/02 (22) Заявлено 243.279 (21) 2851902/18-25 с присоединением заявим Йо

Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 30.06,81,Бюллетень Н9 24

Дата опубликования описания 300681 (53) УДК 62-555 ° 621 (088. 8) (72) Авт"оры изобретения

Ю.И. Сукацкас, С.И. Гечяускас, А.A. Алексеюнас, С.A. Балейшис и В.М. Бондаренко

Ордена Трудового Красного Знамени институт физики полупроводников AH Литовской CCP (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ И РЕГУЛИРОВАНИ

ТЕМПЕРАТУРЫ

Изобретение относится к.контактной термометрии и может быть исполь.зовано для индикации достижения объектом заданной температуры, в том числе и в особых условиях измерения, в частности при измерениях в средах с ионизирующим излучением.

Известен ртутный контактный термометр . который при достижении знаВ °

30 чения заданной фиксированной температуры замыкает или прерывает электрическую цепь и широко применяется при измерении и регулировании температуры различных сред (1).

Недостатками указанного измерите- t5 ля температуры являются большие га- бариты, сложность конструктивного выполнения, малая надежность для эксплуатации, а в некоторых особых условиях, например для измерения 20 температуры при изготовлении пищевых продуктов, он вообще неприменим, так как термочувствительным элементом является токсичная ртуть.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для контроля и регулирования температуры, содержащее термочувствительный элемент с электродами, выполненный в виде слоистой структуры, включающей слой -З0 подложки, слой нагревателя, термочувствительный слой из стехиометрического состава оксида металла переходной группы, например из ЧО

Термочувствительный элемент крепится. на держателе, а его электроды подключены последовательно к источнику питания и исполнительному механизму (2) .

Недостатком этого устройства является низкая надежность особенно при работах в условиях существования ионизирующего излучения и относительная сложность конструкции.

Цел,ь изобретения - увеличение надежности устройства и упрощение его конструкции.

Поставленная цель достигается тем, что в известном устройстве для контроля и регулирования температуры, содержащем термочувствительный элемент, выполненный в виде многослойной структуры, термочувствительная область которой содержит слои из стехиометрического состава оксида металла переходной группы, держатель, источник питания и исполнительный механизм, подключенные последовательно к электродам термочувствительного элемента, в термо