Зондовая головка

Зондовая головка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советскик

Социалистические

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 29.05.79 (21) 2771833/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (51) М. Кл.з

Н 05 К 1/11

G01 R 1/06

Гасударственные кемнтет (23) Приоритет— (53) УДК 621.315..684 (088.8) Опубликовано 30.06.81. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 05.07.81 по делен нзебретеннй н етеритнй (72) Авторы изобретения

В. И. Афанасьев, В. Н. Борщев и Н. П. Гилецкий (71) Заявитель (54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА

Изобретение относится к измерению электрофизических параметров полупроводниковых материалов и может быть использовано в зондовых датЧиках для измерения удельного сопротивления, например, германия и кремния контактными методами.

Известны зондовые головки, содержащие зонды, зондодержатели, механизм перемещения и регулировки давления зондов (1).

Эти зондовые головки позволяют повысить измерения за счет плавной регулировки усилия прижима зонда, но механизм регулировки давления зонда очень сложный.

Наиболее близкой к предлагаемой. по технической еущности является зондовая головка, содержащая размещенные в корпусе зонд, в виде заостренного стержня, зондодержатель, токоподвод и штеккер с регулировочным винтом (2).

Однако конструкцией известной. зондовой головки не предусмотрена возможность плавной регулировки усилия прижима зонда к поверхности кристалла полупроводникового материала, кроме того, на участке токоподвода от штеккера к зонду имеется три контактных перехода между различными металлами. Отсутствие плавной регулировки усилия прижима зонда к поверхности полупроводника может привести к искажениям измеряемых параметров полупроводников за счет неомичности контактов на гра5 нице металл-полупроводник при недостаточном прижиме зондов к поверхности пластины или к погрешности за счет изменения удельного сопротивления в местах контактирования зондов при избыточном давлении

1О их на поверхность кристалла. Наличие многих контактных переходов из различных металлов в токоподводе приводит к дополнительной погрешности при прохождении тока за счет термоэлектронных явлений, а также снижает надежность токоподвода, что влияет на точность измерения.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

Указанная цель достигается тем, что в зондовой головке, преимущественно для измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов, содержащей корпус, зонд с зондодержателем, токоподвод и штеккер с регулировочным винтом, зонд и токоподвод выполнены в виде единого Г-об843325

Формула изобретения

Составитель Л. Прокопенко

Редактор Ю. Ковач Техред А. Бойкас Корректор М. Демчнк

Заказ 5179/85 Тираж 889 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 разного стержня, причем токоподвод снабжен спиральным изгибом, в полости которого размещена ось, жестко закрепленная на корпусе, а конец токоподвода размещен в прорези винта.

На чертеже изображена предлагаемая зондовая головка.

Зондовая головка содержит корпус 1, выполненный из изоляционного материала, в котором закреплены штеккер 2 и зондодержатель 3. В отверстиях зондодержателя

3 запрессованы рубиновые подшипники 4.

Зонд и токоподвод выполнены в виде единого Г-образного стержня 5, в средней части которого выполнен спиральный изгиб 6, с помощью которого стержень установлен на оси, закрепленной на корпусе с некоторым зазором для возможности прямолинейного перемещения зонда в подшипниках 4.

Другой токоподводящий конец Г-образного стержня 5 скользит по прорези регулировочного винта 7, закрепленного в штеккере 2 с возможностью вертикального перемещения и служащего для регулировки усчлия прижима зонда к поверхности полупроводникового материала. На зондодержателе 3 закреплена насадка 8, выполненная из изоляционного материала.

При проведении измерения, зондовую головку приводят в соприкосновение зондами с контролируемым полупроводниковым материалом. Зонды, перемещаясь в рубиновых подшипниках, вызывают раскручивание спирального изгиба 6, создающего давление зондов на материал. Другой конец Г-образного стержня 5 скользит по прорези винта

7, не препятствуя прямолинейному перемещению зонда в подшипниках 4.

Выполнение зонда и токоподвода в виде

Г-образного стержня 5 со спиральным изгибом 6 в средней части и размещение регулировочного винта в штеккере позволяет плавно регулировать усилие прижима зонда к поверхности кристалла, что уменьшает возможность появления неомичности контактов на границе металл-полупроводник при недостаточном прижиме зонда к поверхности полупроводникового материала, а также позволяет уменьшить погрешность измерения, возникающую за счет изменения удельного сопротивления в местах контактирования зондов при избыточном давлении их на поверхность кристалла.

Предлагаемая конструкция зондовой головки позволяет уменьшить число контактных переходов из различных металлов в токоподводящие цепи, благодаря чему снижается влияние термоэлектронных явлений при измерении и повышается надежность токоподвода.

Зондовая головка, преимущественно для измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов, содержащая корпус, зонд с зондодержателем, токоподвод и штеккер с регулировочным винтом, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности измерения, зонд и токоподвод выполнены в виде единого Г-образного стержня, причем токоподвод снабжен спиральным изгибом, в полости которого разме30 щена ось, жестко закрепленная на корпусе, а конец токоподвода размещен в прорези винта.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

5 № 661868, кл. Н 05 К 1/04, 1976.

2. Авторское свидетельство СССР № 333732, кл. Н 05 К 3/00, 1972 (прототип).