Способ осаждения ферромагнитногопокрытия носителя записи

Способ осаждения ферромагнитногопокрытия носителя записи

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советскик

Социалистичесмик

Республик

ОПИСАпИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ ii846596

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ (63) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 27. 09. 76 (21) 2408906/18-21 (53) N с присоединением заявки М

С 23 С 13/02

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15.0781, Бюллетень И9 26

Дата опубликования описания 15. 07. 81 (53) УДК 539.216.2 (088.8) (72) Авторы изобретения

И.И. Виноградов, В.Г. Докукин, А.M.

В.Н. Тальвойш и M.P. Тюрико (71) Заявитель (54 ) СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНОГО

ПОКРЫТИЯ НОСИТЕЛЯ ЗАПИСИ

Изобретение относится к технике осаждения металлических покрытий в вакууме, а конкретно к технологии осаждения ферромагнитных

5 покрытий носителей .записи.

Известен способ осаждения магнитных покрытий на основу путем одновременного испарения и осаждения в вакууме по направлению, совпадающему с нормально к основе, ферромагнитного и немагнитного материалов (1 ).

Данный способ не позволяет получить носители записи с высокой разрешающей способностью ввиду низкой коэрцитивной силы ферромагнитного покрытия (не более 10 Э), обусловленной нормальным осаждением ферромагнитного материала.

Наиболее близким по технической 2О сущности к изобретению является способ осаждения ферромагнитного покрытия носителя записи путем вакуумного термического нанесения нескольких слоев на основу под углами 25 относительно нормали,к поверхности основы, превышающими 60

0 причем угол между проекциями направлений потока осаждаемого материала на основу для смежных слоев 180 60(2» 3() Полученное по этому способу ферромагнитное покрытие обладает при достаточной величине коэрцитивной силы (несколько сотен эрстед) низким значением коэффициента выпуклости (0,50,6) петли гистерезиса, что снижает его разрешающую спосОбность. Этот недостаток проявляется особенно сильно при суммарной толщине магнитного слоя, превышающей 500 А, т.е. при толщинах, наиболее приемлемых для магнитной записи.

Цель изобретения — повышение разрешающей способности носителя записи.

Цель достигается тем, что наносят слой одинаковой толщины, а толщина каждого слоя не превышает 50 А.

На фиг. 1 приведена проекция схемы устройства, служащего для осаждения ферромагнитного покрытия на дисковый носитель записи, на фиг,2— то же, вид A на фиг. 1, Устройство содержит диск 1 с приводом 2 вращения, испаритель 3 ферромагнитного материала, экран 4 с окнами 5 и 6, расположенный между вращающимся диском 1 и испарителем 3.

Стрелками 7 обозначены направления осаждения потока пара на диск.

846596

H Заказ, 5382/37

1048 Подписное

Способ осуществляется следующим образом.

Диск 1 с приводом 2 вращения устанавливают относительно испарителя 3 так, чтобы. угол между нормалью к диску и направлениями осаждения пара в зонах осаждения, ограниченных окнами 5 и 6 экрана 4, составлял 65, а угол между проекциями направлений на диск для каждого участка диска при его переходе к следующей зоне осаждения находился в пределах 180 60 .

При равномерном вращении диска йрб» исходит последовательное для каждого . его участка осаждение слоев ферромагнитного материала в зонах, ограниченных окнами 5 и 6. Симметричное расположение окон 6тносительно испарите- . ля обеспечивает одинаковость скоростей и времен осаждения каждого слоя.

Время осаждения выбирают, исходя из скорости осаждения, соответствую- 20 щим нанесению слоя толщиной не более

50 А путем изменения скорости вращения диска. При превышении у отдельных слоев указанной толщины в 50 А, а также при Нарушении равенства толщин этих слоев происходит снижение коэффициеНта выпуклости петли гистерезиса полученного ферромагнитного покрытия с пЬявлением характерных изломов на ее боковых ветвях. Эти изломы свидетельствуют о том,что данное покрытие становится в магнитом отношении неоднородным. При скорости вращения диска 3000 об/мин и скорости осаждения кобальт-никелевого сплава (70Ъ Со) 50 A/c время осаждения одного слоя 2 мс, что соответствует толщине слоя 0,1 R. Интервал между осаждениями 4 мс и 12 мс,что соответствует времени прохождения участком диска зон, затененных ниж- 40 ней и верхней частями экрана 4.Покрытие осаждается в течение 3 мин

Яиц до получения суммарной толщины

1800 X. Полученное магнитное покрытие обладает магнитной анизотропией с направлением легкого намагничивания, перпендикулярным радиусу диска в каждой его точке, и имеет коэрцитивную силу 500 Э, коэффициент выпуклости 1„ коэффициент прямоугольности и 1. Указанные параметры получены для широкого диапазона суммар-, ных толщин магнитного покрытия (200-20000 А) и практически не изменяются при изменении последних.

Использование предлагаемого изобретения позволяет получить высокоэрцитивные магнитные носители записи с высокой разрешающей способностью, что, способствует расширению оперативных возможностей -вычислительных устройств и снижению стоимости хранения единицы информации.

Формула изобретения

Способ осаждения ферромагнитного покрытия носителя записи путем вакуумного термического нанесения нескольких слоев на основу под углами к нормали, превышающими 60 ; причем угол между проекциями направлений потока осаждаемого материала на основу для смежных слоев 180.4-60 отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способ-! ности, наносят слой одинаковой толщины, а толщина каждого слоя не превышает 50 А

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент ФРГ 9 1621263, кл. С 23 С 13/02, опублик. 1971.

2. Патент Англии Р 1104709, кл. С 23 С 13/02, опублик. 1965 (прототип).

f ал ППП "Патент", город, ул. Проектная,4