Устройство для измерения толщиныстравливаемого слоя металла и cko-рости травления

Устройство для измерения толщиныстравливаемого слоя металла и cko-рости травления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистических

Реснублнк

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное и авт, саид-а; (51)М. Кл.

G 01 В 7/06 (22) Заявлено 0510.79 (21) "" 6498/25-28 с присоединением заявии Й9 1

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликованр 150781. Бюллетень М 26 (53) УДК 621. 794, .41(088.8) Дата опубликования описания 1507.81 (54 ) JJCTPOACTBO ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

CTPABJIHBAEN0I О СЛОЯ МЕТАЛЛА

И СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к техничес-, ким измерителям, а именно к измерению параметров процесса травления.

Известно устройство для измерения толщины стравливаемого слоя металла и скорости травления, содержащее крепежную скобу с прижимами, направляющие, установленные на скобе, газособирающий сосуд, выполненный с возможностью возвратно-поступательного перемещения по направляющим, измерительный наконечник и датчики, сигнали- зирующие о скорости травления и о величине снятого слоя металла (1) .

Недостатком данного устройства яв 15 ляется низкая точность измерения скорости травления, вызванная тем, что в процессе стравливания металла увеличивается расстояние между поверхностью обрабатываемой детали и газособираю- 20 щим сосудом, в результате чего увеличивается поток:газа, проходящий мимо сосуда, а также тем, что на измерение величины стравленного слоя оказывают влияние эксплуатационные зазоры.

Цель изобретения — повышение точ. ности измерения.

Указанная цель достигается тем, что устройство снабжено калиброванным .кольцом, связанным гибкой тягой с 30 газособирающим сосудом и надетым на измерительный наконечник, а последний выполнен в виде установленного на крепежной скобе микрометрического винта с конической головкой.

На фиг. 1 представлена конструкция предложенного устройства; на фиг.2 вид A на фиг. 1.

Устройство содержит крепежную скобу 1; при помощи которой оно крепится к вертикально расположенной обрабатываемой детали 2, контактный измерительный наконечйик, выполненный в виде микрометрического винта 3 с конической головкой 4, калиброванное кольцо 5, надетое на коническую головку 4. В крепежной скобе 1 выполнены направляющие 6, в которых может перемещаться подвижная прямоугольная рамка 7, к которой асимметрично, с возможностью поворота, крепится газособирающий сосуд 8. Рамка 7 соединена с калиброванным кольцом 5 гибкой тягой 9. На крепежной скобе

1 расположены датчик 10, сигнализирующий о снятии слоя металла заданной величины, и датчик 11, сигнализируюЬ ий о скорости травления.

На рамке 7 закреплен магнит 12.

847001

Газособирающий сосуд 8 имеет наклонное дно 13 с отверстием 14 для входа газа в сосуд и выхода иэ него.

На скобе 1 нанесена шкала 15, указывающая на положение микрометрического винта 3.

Устройство работает следующим образом.

При помощи крепежной скобы 1 оно крепится к обрабатываемой детали 2 таким образом, что в первоначальном положении сосуд 8 касается обрабатываемой детали 2. По шкале .15, вращая микрометрический винт 3, устанавливают коническую головку 4 на расстоянии от поверхности детали 2, равном толщине калиброванного кольца за вычетом величины снимаемого слоя металла. Опускают обрабатываемую де. таль -2 в травильный раствор и устанавливают ее вертикально, Выделяющийся в процессе травления газ заполня- 2О ет нижнюю часть сосуда 8 и, через отверстия 14, попадает в сосуд, вытес-" няя иэ него раствор, По мере стравливания металла асимметрично закрепленный сосуд 8 под действием своего веса поворачивается относительно верхней части рамки 7 по часовой стрелке до упора в обрабатываемую поверхность, что исключает утечку газа между сосудом и деталью в процессе заполнения сосуда газом. Когда подъемная сила газа:превысит силу тяжести сосуда 8, рамки 7 и калиброванного кольца 5 сосуд 8 поднимается вверх и поднимает рамку 7, которая свободно перемещается в направляющих 6 скобы

1. Рамка 7 через гибкую тягу 9 ноднимает кольцо 5, которое начинает перемещаться по конической головке 4 до тех пор, пока не упрется в поверхность обрабатываемой детали 2, что 4О препятствует дальнейшему подъему сосуда 8. Затем, поскольку сосуд 8 закреплен асимметрично на рамке 7, подъемная сила поворачивает его против часовой стрелки, газ выходит через отверстие 14, и сосуд поворачивается по часовой стрелке и опускается вниз.

Далее цикл, повторяется. При движении. рамки 7 вверх магнит 12 замыкает датчик 11, Частота замыкания датчика 11 пропорциональна интенсивности газовыделения, т.е. скорости травления.

После снятия слоя металла заданной величины кольцо 5 во время подьема сосуда 8 проходит между головкой

4 измерительного наконечника и,поверхностью обрабатываемой детали 2, сосуд 8 поднимается выше, и магнит

12 замыкает датчик 10, включая сигнализацию о достижении заданной величины отравливаемого слоя металла.

Процесс травления после этого прекращают.

Данное устройство дает положительный эффект за счет повышения точности измерейия величин снимаемого слоя металла и скорости травления.

Формула изобретения

Устройство для измерения толщины стравливаемого слоя металла и скорости травления, содержащее крепежную скобу с прижимами, направляющие, установленные на скобе, газособирающий сосуд, выполненный с воэможностью возвратно-поступательного перемещения по направляющим, измерительный наконечник и датчики, сигнализирующие о скорости травления и величине снятого слоя металла, о т л и ч а ющ е е с я тем, что с целью повышения точности .измерения, оно снабжено калиброванным кольцом, связанным гибкой тягой с газособирающим сосудом и надетым на измерительный наконечник, е последний выполнен в виде ус тановленного на крепежной скобе микрометрического винта с конической головкой..

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 603702, кл. G 01 В 7/06, 1978

1прототий3.