Оптико-телевизионная система для обна-ружения дефектов фотошаблонов

Оптико-телевизионная система для обна-ружения дефектов фотошаблонов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

II АВтОРОФОмУ сйнДюпл стВУ (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 06,1077 (21) 2528768/18-28

Союз Советских

Социалистических

Республик

<1 847014 (51)М. Кл. с присоединением заявки Ж

G 01 В 9/04

Государственный комитет

СССР по делам изобретений. н открытий (23) Г1риоритет

Опубликовано 15078 Бюллетень N2 26

Дата опубликования описания 1507.81 (53) УДК 621. 396..661.81.5 (088.8) О.С. Астратов, В.И. Волхонский, Л.В; Воробьев, — В.В. Дулеев, lO.A. Молчанов, М.A.Íèêèòèíà, В.П.Руковчук и В Р. Ликарпенков (72) Авторы изобретения

l (71) Заявитель

Ленинградский институт авиационного приборостроения (54) ОПТИКО-TEJIKBH3HOHHAR СИСТЕМА ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ

ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ

Изобретение относится к контроль- но-измерительной технике и может быть использовано при контроле фотошаблонов, например интегральных микросхем.

Известна оптико-телевизионная система для обнаружения дефектов фотошаблонов, содержащая координатный стол с механизмами для ориентации контролируемого фотошаблона, датчики линейных перемещений фотошаблона по двум координатам и фотоэлектрическую систему, состоящую из виэуального тубуса, проекционного и осветительного каналов и фотоприемного устройства()

Эта система обладает, недостаточным быстродействием и надежностью обнаружения дефектов.

Наиболее близкой к изобретению является оптико-телевизионная система для обнаружения дефектов фотошаблонов, содержащая координатный стол с механизмами для ориентации контролируемого фотошаблона, датчики линейных перемещений фотошаблона по двум координатам, два осветителя измери-. тельной позиции координатного стола, проекционный объектив, расположенный над измерительной позицией координатного стола, передающую телевизионную камеру, установленную фоточувствительной поверхностью в плоскости изображения проекционного объектива, и детектор дефектов, вход которого соединен с выходом передающей телевизионной камеры (2).

Эта система обладает недостаточной надежностью обнаружения дефектов.

Цель изобретения — повышение надежности обнаружения дефектов.

Поставленная цель достигается тем, что оптико-телевизионная система для обнаружения дефектов фотошаблонов снабжена блоком суммирования оптичес15 ких изображений модулей контролируемого фотошаблона, расположенным меж-.„ ду измерительной позицией координатного стола и проекционным объективом, и блоком противофазного включения

20 осветителей, соединенным входом с выходом синхронизатора передающей телевизионной камеры, а первым и вторым .выходами — со входами соответствующих осветителей.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства..

Устройство содержит координатный стол 1 с механизмами 2 и 3 ориентации контролируемого фотошаблона 4, 30 датчики 5 и 6 линейных перемещений

847014 фотошаблона 4 по двум координатам, осветители 7 и 8 измерительной позиции координатного стола 1, проекцион- ный объектив 9, расположенный над измерительной позицией координатного стола 1, передающую телевизионную камеру 10, установленную фоточувствительной поверхностью н плоскости иэображения проекционного объектива

9, блок 11 суммирования оптических изображений модулей контролируемого фотошаблона 4, расположенный между измерительной позицией координатного стола 1 и проекционным объективом 9, блок 12 противофазного включения осветителей 7 и 8, соединенный входом с выходом синхронизатора передающей телевизионной камеры 10, а первым и вторым выходами со входами соответствующих осветителей 7 и 8, и детектор 13 дефектов контролируемого фотошаблона 4, соединенный входом с выходом передающей телевизионной камеры 10.

Детектор 13 дефектов контролируемого фотошаблона 4 может совмещать н себе некоторые функции управляющей вычислительной машины. В этом случае детектор 13 дефектов дополнительно соединен двумя входами с выходами датчиков 5 и 6 линейных перемещений фотошаблона 4 по двум координатам, а двумя выходами со входами механизмов 2 и 3 ориентации контролируемого фотошаблона 4.

Оптико-телевизионная система работает следующим образом.

Перед началом контроля контролируемый фотошаблон 4 ориентируют таким образом, чтобы образующие его элементов были параллельны линии, соединяющей оптические оси блока суммирования оптических изображений модулей контролируемого фотошаблона

4, а регулировкой расстояния между оптическими центрами его нходных эрачков добиваются полного совмещения контролируемых участков, что соответстн.ет полному отсутствию изображения на экране детектора 13 дефектов.

Сонмещаемые изображения участков фотошаблона 4 попеременно засвечиваются осветителями 7 и 8, управляемыми блоком 12 противофазного включения осветителей 7 и 8, и через общий проекционный объектив 9 последовательно во времени проецируются на фоточувствительную поверхность передающей телевизионной камеры 10, кото ля преобразует световой поток н электрические сигналы. Синхронизатор передающей телЕвизионной камеры

10 обеспечивает синхронность растров камеры 10 и детектора 13 дефектов.

При поступлении сигнала с камеры 10 на детектор 13 дефектов он может работать следующим образом.

Сигнал направляется на вход сравнивающего элемента непосредственно, 5

2О

S0

55 а на его второй нход — через блок памяти, который работает в режиме задержки одного кадра телевизионной развертки. Выходной сигнал сравнивающего элемента появляется только при наличии дефектов на одном из сравниваемых участков фотошаблона 4. ,В этом случае блок для записи и обработки информации выдает команду на остановку механизмов 2 и 3 ориентации.координатного стола 1 через программное устройство, записывает поступающие с датчиков 5 и 6 линейных перемещений координаты дефектных участков и выдает команду на включение регистратора дефектов совмещения.

Оператор классифицирует обнаруженный дефект и в случае выхода его за допуск снимает фотошаблон с контроля.

Если дефект укладывается в допуск, оператор дает команду на продолжение контроля нведением соответствующей команды в программное устройство.

Возможен режим автоматизированного контроля в случае применения в качестве регистратора дефектов совмещения автоматического измерителя величины рассогласования, который дает команду на продолжение контроля, если обнаруженный дефект не выходит за поле допусков.

Формула изобретения

Оптико-телевизионная система для обнаружения дефектов фатошаблонов, содержащая координатный стол с механизмами для ориентации контролируемого фотошаблона, датчики линейных перемещений фотошаблона по двум координатам, два осветителя измерительной позиции координатного стола, проекционный объектив, расположенный над измерительной позицией координатного стола, передающую телевизионную камеру, установленную фоточунствительной поверхностью в плоскости изображения проекционного объектива, . и детектор дефектов, вход которого соединен с выходом передающей телевизионной камеры, о т л и ч а ю щ а я— с я тем, что, с целью повышения надежности обнаружения дефектов, она снабжена блоком суммирования оптических изображений модулей контролируемого фотошаблона, расположенным между измерительной позицией координатного стола и проекционным объективом, и блоком противофазного включейия осветителей, соединенным нходом с выходом синхронизатора передающей телевизионной камеры, а первым и вторым выходами со входами соответствующих осветителей.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 556699774466, кл. G 01 В 11/02,21.07.75.

2. Авторское снидетельство СССР

Р 481766, кл. G 01 В 9/04, 21.07. 72 (прототип).

847014

Составитель II. Юров

Редактор М. Бандура ТехредЖ. Кастелевич Корректор М Ыаров и

Заказ 5462/61 Тираж 642 Подписное

BHHMIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филнал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная; 4