Пневмоэлектрический преобразователь

Пневмоэлектрический преобразователь

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик ф а г

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ (б1) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 280678 (21) 2635987/18-10 (5 )М с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

6 01 б 7/18

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 150781, Бюллетень Но 26 (53) УДК 531. 787 (088.8) Дата опубликования описания 150781

5., (71) Заявители уфимский авиационный институт им Орджоникидзе ." и Башкирский филиал AH СССР (54) ПНЕВМОЭЛЕКТРИЧЕСКИИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ

Изобретение относится к информационно-измерительной технике и может. быть применено в устройствах для пре. образования давления в электрический сигнал.

Известен дифференциальный манометр,, содержащий V-образную измерительную трубку,. заполненную рабочей жидкостью, и преобразователь перемещения в электрический сигнал индукционного типа Г13 .

Однако у этого устройства малая чувствительность,.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является преобразователь механических смещений и сил в электрические сигналы, содержащий полупроводник одного типа. проводимости, на .поверхности которого расположен слой изоляционного материала- 2О окисла, и области истока и стока другого типа проводимости, расположенные в подложке, затвор, расположенный на противоположной стороне подложки и металл установленный над окислом с зазором, .в котором металл может перемещаться, приближаясь к полупровод нику или удаляясь от него. Области истока и стока и затвор соединены с источниками напряжения.

Недостатком этого устройства является нелинейность рабочей характеристики во всем диапазоне перемещения металла.

Цель изобретения. - повышение ли- нейности рабочей характеристики. с

Поставленная цель достигается тем, что в известном устройстве, содержащем полупроводниковую подложку,,одного типа проводимости, в которой расположены области штока и истока другого. типа проводимости и эатвор, затвор выполнен в виде V- îáðàçíîé диэлектрической трубки, заполненной электрОпроводной жидкостью и установленной вдоль областей стока и истока.

На фиг.1 приведена конструкция невмоэлектрического преобразователя; на фиг.2 - разрез A-А на фиг.1.

Устройство состоит из полупровод-. никовой подложки 1 из кремня п-типа, в которой расположены области истока

2, и стока 3 р+-типа, между и вдоль которых расположена V-образная диэлектрическая.трубка 4 из стекла, колена

5 и 6, которые соединены с входным каналом 7 и каналом опорного сигнала 8 соответственно, которые подключены .к узлу 9 задания сигналов. В трубке.4 установлен электрический

847091

Формула изобретения

- с= 53

A-A (2

Ь2.2 !

Pu2.!

Составитель A.Çðàæåâñêèé

Техред Т.Маточка Корректор Л.Иван

Редактор Т.Парфенова

Заказ 5468/64 Тираж 907 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород. Ул. Проектная, 4 вывод 10. Часть объема трубки 4 заполнена электропроводной жидкостью (ртутью) 11. Область истока 2 последовательно соединена-с источником 12 постоянного напряжения Е, с регистрирующим устройством 13 и областью стока 3. Вывод 10 соединен с областью истока 2.

Устройство работает следующим образом.

При подключении источника 12 питания в подложке 1 индукцируется токопроводящий канал под той частью трубки 4, которая заполнена ртутью 11.

Ртуть 11 выполняет функции электрода затвора МДП-транзистора, ширина которого изменяется при изменении входного, например, пневматического сигнала. Пневматический входной сигнал поступает по каналу 7 в колено 5 и вызывает частичное заполнение или разряжение объема трубки 4 ртутью 11.

После снятия пневматического сигнала ртуть 11 возвращается в исходное положение под действием опорного сигнала канала 8.

Ток .преобразователя., регистрируемый устройством 13, определяется линейным выражением где k - постоянный коэффициент, зависящий оТ электрофизических параметров МДП -транзистора;

S> - площадь канала, перекрываемого ртутью 11 под действием пневмосигнала. .Таким образом, рабочая характеристика преобразователя (зависимость вы ходного тока от пневмосигнала) является линейной.

Пневмоэлектрический преобразователь, содержащий полупроводниковую подложку одного типа проводимости,в которой расположены области стока и

15 истока другого типа проводимости,и затвдр, отличающийся тем, что,. с целью повышения линейности рабочей характеристики в нем затвор выполнен в виде V-образной диэлектриЩ ческой трубки, заполненной электропроводной жидкостью и установленной вдоль областей стока и истока.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 638857, кл. 0 01 L 7/18, 1974..

2. Авторское свидетельство СССР .Р 315068, кл. G 01 L 7/16, 1970 (прототип).