Кольцевое сверло
Иллюстрации
Реферат
Союз Советских
Социвлистических
Республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ (n>847404
Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 050679 (21) 2776898/18-21
{я)м. к,.з
Н 01 L 21/00
В 23 В 51/08 с присоединением заявки ¹
Государственный комитет
СССР но делам изобретений и открытий (23) Приоритет—
Опубликовано 150781. Бюллетень Йо 26
Дата опубликования описания 150781 (53) УДК 621.382 (088. 8) (72) Авторы изобретеиия
М.Я.Виницкий и В.Ф. Романовский
Ил . р<
М
>""Х) нар 8МЦ;1 - ..с т с г (71) Заявитель (54) КОЛЬЦЕВОЕ СВЕРЛО
Изобретение относится к производ- ству полупроводниковых приборов и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых подложек—
5 пластин и.кристаллов.
Известен ультразвуковой инструмент для вырезки круглых полупроводниковых.пластин и кристаллов, на торцевой поверхности корпуса которого напаяны металлические трубки 1 .
Недостатком данного инструмента является его ограниченные технологические возможности: он позволяет вырезать пластины в виде дисков, однако с его помощью невозможно одновременное получение фаски по контуру диска, что необходимо для.повышения качества изготовления пластин и кристаллов.
Известен также комбинированный инструмент для обработки отверстия в иэделиях с одйовременным получением фаски по краю отверстия. Комбинированный инструмент содержит корпус, 25 зенкер и ножи для снятия фаски 21.
Однако данный инструмент не может быть применен при вырезке полупроводниковых пластин и кристаллов, так как для его использования необходимо З0 предварительно иметь отверстие в обрабатываемом изделии.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению является. кольцевое сверло, содержащее корпус и режущую кромку. Режущая кромкЬ расположена на торцевой поверхности корпуса и выполнена в виде тонкой цилиндрической трубки равной высоты (3g .
Однако данное кольцевое сверло также не позволяет одновременно с вырезкой пластин и кристаллов получать на них фаску.
Цель изобретения — расширение технологических возможностей кольцевого сверла.
Поставленная цель достигается тем, что в кольцевом сверле, содержа-. щем корпус и режущую кромку, режущая кромка выполнена в виде отрезка спирали переменной высоты, равномерно уменьшающейся от внешнего к внутреннему концу спирали.
Кроме того, с целью повышения износостойкости кольцевого сверла, режущая кромка выполнена в виде двух или более отрезков спирали, расположенных симметрично относительно
847404 друг друга со смещением на угол 180
120 или 90
На фиг. 1 схематически показано кольцевое сверло с одним отрезком спирали, общий вид; на фиг. 2 - развертка отрезка спирали; на фиг. 3 режущая кромка, состоящая из трех отрезков спирали, вид в плане.
Кольцевое сверло содержит корпус
1 и расположенную на его торцовой поверхности режущую кромку 2, выпол- l0 ненную в виде отрезка спирали переменной высоты, равномерно уменьшающей-. ся от внешнего к внутреннему концу спирали, при этом расстояние между внешним и внутренним концами спирали 15 определяется шириной фаски (ее проекцией).
В качестве режущей кромки 2 применена абразивосодержащая лента, вдоль которой выполнен срез под углом, определяемого по формуле (фиг. 2):
tg (3 = 9о!
6 где 6" — ширина фаски, мм (не показано); 25
1 — длина срезанного участка ленты, мм; сЬ вЂ” угол наклона фаски, град. (не показано).
На фиг.,3 режущая кромка 2 выполне-3р на в виде трех отрезков спирали, расположенных симметрично относительно друг друга со смещением на угол 120О.
Обработку кольцевым сверлом осуществляют следующим образом. 35
Кремниевые пластины с готовыми полупроводниковыми приборами наклеивают шеллаком на стеклянную подложку, которую закрепляют на рабочем столе сверлильного станка. Затем кольцевое сверло корпусом 1 закрепляют в цилин- 40 дре сверлильного станка и приводят во вращение (в направлении уменьшения высоты режущей кромки) .с одновременной подачей кольцевого сверла под нагрузкой в направлении к обрабаты- 45 ваемой кремниевой пластине. При этом вначале режущая кромка 2 воздействует на кремниевую пластину самой высокой своей частью. Эта точка воздействия при вращении кольцевого сверла постоянно описывает окружность диаметром, равным диаметру вырезаемого кристалла, вплоть до полного прорезания кремниевой пластины.
Все остальные участки (точки) режущей кромки последовательно вступают во взаимодействие с кремниевой пластиной по мере углубления кромки.
Этим самым осуществляется съем поверхностного слоя кремния по краю вырезаемого кристалла с образованием фаски. Таким образом, операция обработки фаски завершается одновременно с завершением операции вырезки кристалла из кремниевой пластины.
При использовании кольцевого сверла с несколькими отрезками спирали режущая кромка имеет повышенную износостойкость.
Формула изобретения
1. Кольцевое сверло, преимущественно для сверления хрупких материалов, содержащее корпус и режущую кромку, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей, режущая кромка выполнена в виде отрезка спирали переменной высоты, равномерно уменьшающейся от внешнего к внутреннему концу спирали.
2. Сверло по и. 1, отличают щ е е.с я тем, что, с целью повышения его износостойкости, режущая кромка выполнена в виде двух или более отрезков спирали, расположенных симметрично относительно друг друга со смещением на угол 180, 120 или
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент ФРГ 9 1б14554, кл. Н 01 L 21/302, 1977.
2. Авторское свидетельство СССР
9 122387, кл. В 23 В 51/08, 1958.
3. Авторское свидетельство СССР
М 517412, кл. В 23 В 51/08, 197б (прототип).
847404 фиг.2 фигЗ i
Составитель О. Бочкин
Редактор С.Тимохина Техред А. Ач Корректор Ц.Швьщкая
Заказ 5512/$6 Терее 784 .Подписное
ВИИИИИ Государственного комитета СССР ае делам изобретений и открытий
113035, Иосква, Ж-35, Рауюская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Укгород, ул. Проектная, 4