Охлаждаемая ловушка

Охлаждаемая ловушка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

щ 853197

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сацизпистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.10.79 (21) 2829623(25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 07.08.81. Бюллетень № 29 (45) Дата опубликования описания 07.08.81 (51) М. Кл.

F 04F 9(06

Государственный комитет

СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 621.752.1 (088.8) (54) ОХЛАЖДАЕМАЯ ЛО УщКА

Изобретение относится к области вакуумного машиностроения.

Известна охлаждаемая ловушка, содержащая корпус с входным и выходным отверстиями и расположенные в корпусе неподвижные и подвижные отражательные элементы, последние из которых установлены у выходного отверстия (11.

Известная ловушка неэффективно работает после выхода насоса на режим из-за ю ее загрязнения парами рабочей жидкости в начальный период запуска насоса. Кроме того, недостатком ловушки является повышенный расход хладагента и рабочей жидкости насоса. 15

Целью изобретения является повышение защитных свойств охлаждаемой ловушки.

Цель достигается тем, что подвижные элементы выполнены в виде секторов, соединенных между собой с образованием диа- 2о фрагмы переменной проводимости, а к корпусу со стороны выходного отверстия прикреплено коническое кольцо с прорезями, примыкающее к секторам, а секторы выполнены из материала, не смачиваемого ра- 25 бочей жидкостью насоса.

На фиг. 1 изображена ловушка, общий вид; на фиг. 2 — сечение А — А на фиг. 1.

Охлаждаемая ловушка содержит корпус

1 с входным 2 и выходным 3 отверстиями з0 и расположенные в корпусе 1 неподвижные

4 и подвижные отражательные элементы, последние из которых установлены у отверстия 3. Подвижные элементы выполнены в виде секторов 5, соединенных между собой с образованием диафрагмы переменной проводимости, а к корпусу 1 со стороны выходного отверстия 3 прикреплено коническое кольцо 6 с прорезями, примыкающее к секторам 5, которые выполнены из материала, не смачиваемого рабочей жидкостью насоса.

Каждый сектор 5 может вращаться вокруг неподвижной оси 7, закрепленной в корпусе 1, и имеет штифты 8. Верхний из секторов 5 диафрагмы имеет неподвижную ось 9, на которой закреплена штанга 10, имеющая возможность поступательного движения, например, от электромеханического привода 11.

В начальный период работы, до соединения насоса с откачиваемым объемом, диафрагма перекрывает отверстие 3 ловушки.

Поскольку зазор между секторами 5 не превышает длины свободного пробега молекул рабочей жидкости и откачиваемого газа, то пропускная способность диафрагмы не меньше максимальной скорости откачки форвакуумного насоса. Пары рабочей жидкости собираются на поверхности

853197 хаР охлмйЫ

E04WF

/ диафрагмы. По мере улучшения вакуума под действием осевого усилия, создаваемого, например, электромеханическим приводом 11, штанга 10 передвигается, воздействует на верхний из секторов 5 и через 5 штифты 8 — на остальные секторы 5, последние медленно открываются. После выхода диффузионного насоса на режим секторы 5 полностью открывают отверстие 3 ловушки, обеспечивая максимальную прону- |о скную способность. Затем вступает в работу система неподвижных отражательных элементов 4, причем при открытии диафрагмы секторы 5 взаимодействуют с коническим кольцом 6, охлаждаемым от корпу- 15 са 1, которое собирает сконденсированную рабочую жидкость обратно в диффузионный насос. Сконденсированная рабочая жидкость из пространства, ограниченного коническим кольцом 6 и корпусом 1, сли- 20 вается в насос через прорези в коническом кольце 6.

Описываемая ловушка позволяет повысить эффективность улавливания паров рабочей жидкости в период запуска и остано- 25 ва диффузионного насоса путем полного перекрытия выходного отверстия ловушки диафрагмой. При использовании такой ловушки исключается ее замасливание в период пуска и останова диффузионного насоса, характеризующийся наибольшим выбросом паров масла, что позволяет значительно увеличить продолжительность работы ловушки с одной подготовки.

Формула изобретения

1. Охлаждаемая ловушка, содержащая корпус с входным и выходным отверстиями и расположенные в корпусе неподвижные и подвижные отражательные элементы, последние из которых установлены у выходного отверстия, отличающаяся тем, что, с целью повышения защитных свойств, подвижные элементы выполнены в виде секторов, соединенных между собой с образованием диафрагмы переменной проводимости, а к корпусу со стороны выходного отверстия прикреплено коническое кольцо с прорезями, примыкающее к секторам.

2. Ловушка по п. 1, отличающаяся тем, что секторы выполнены из материала, не смачиваемого. рабочей жидкостью насоса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 277169, кл. F 04В 37/08, 1968.

853197

Составитель О. Тишина

Техред И. Пенчко

Корректор О. Тюрина

Редактор А. Багирова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1569/19 Изд. № 385 Тираж 712 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5