Устройство для дискретного по площа-ди экспонирования об'екта

Устройство для дискретного по площа-ди экспонирования об'екта

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Сецнапистичесиик

Респубики

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< 853593 (6I ) Дополнительное к авт. свнд-ву (22)Заявлено 31.05.79 (21) э776113/18 10 с присоединением заявки М (5) ) М. Кл. г; 03 В 3/06

)Ъсударстввнный квмнтет

СССР ва делам нзабретеннЯ н вткрытнЯ (23) Приоритет

Опубликовано 07.08.81. Бюллетень № 29 (53) УДК 77834 (088.8) Дата опуб."чкования описании 07.08.81 (72) Л вторы изобретения

Н.— И. А. Фурман, И. А. Кадомский и Jl. Л. Рачько (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИ(КРЕТ110ГО IIO ПЛОЩАДИ

ЭКСНОНИРОВАНИЯ ОЬЪ1 КТА

Изобретение относнгся к приборостроению, в частности к автоматизации процесса выполнения прецизионных изображений фотошаблонов интегральных схем, фотошаблонов плат печатного монтажа радиоэлектронной аппаратуры, и может использоваться в радиоэлектронике и микроэлектронике.

Известно устройство двухкоординатного перемещения,- содержащее координатный стол и источник света. Обрабатываемый объект располагается на координатном столе, имеющем

10 возможность движения по двум координатам относительно источника света (1).

Известно также устройство, содержащее !

1 координатый стол, каретку однокоординатного перемещения и каретку двухкоординатного перемещения с приводами их перемещений, держа.тель экспонируемого объекта, оптическую систему, источник излучения, дозатор излучения и блок программного управления приводами кареток (2). Обрабатываемый объект располагается на поверхности стола неподвижно, а ис точник света имеет возможность перемещаться по двум координатам относительно обрабатываемого объекта.

Однако отмечается малая производительность устройства, так как при значительных массах перемешаюшихся частей трудно достигнуть больших величин ускорений и, следовательно больших скоростей лля сравнительно небольших величин перемещений.

1(елью изобретения является повышение производительности устройства для дискретного по площади экспони1ювания объекта.

Поставленная цель достигается тем что каретки выполнены в виде двух механически независимых установленных в одной плоскости подвижных индукторов-роторов линейного шагового двигателя, причем приводы синхронного перемещения обеих кареток по одной координате подключены к одному иэ входов блока управления приводами, выход которого по второй координате подключен к другому приводу каретки двухкоординатного перемещения, причем источник иэлучсния. и держатель экспонируемого объекта установлены не

3593 подвижно. В качестве статора линейного шагового двигателя использована опорная магнитная поверхность координатного стола, имеющая выраженные полюса по всей плоскости.

На фиг. 1 приведена принципиальная схема устройства; на фиг, 2 — то же, вид сбоку.

Устройство содержит пластину 1, статор 2 с полюсами 3, индукторы 4 и 5, зеркала 6 и

7, обрабатываемый объект 8, держатель 9 обрабатываемого объекта, источник излучения и формирователь луча 10, дозатор 11, устройство программного управления 12 и блок управления приводами 13.

Устройство работает следующим образом.

Пучок света от источника излучения, например лазера 10, регулируемый дозатором света

11, управляемым устройством программного управления 12, попадает на однокоординатный индуктор 4 и, отразившись от зеркала 6, 1, сположенного на индукторе 4 под углом 45 к направлению луча, попацает на зеркало 7, зафиксированное на индукторе 5 также под утлом 45 к направлению светового луча. Луч света, отразившись от зеркала 7, будет экспонировать материал 8, закрепленный на держателе

9 экспонируемого материала.

При перемещении индуктора 5 в направлении координаты X луч, отраженный от зеркала

7, будет последовательно экспонировать участки объекта 8, расположенные на прямой, параллельной координате Х: При пер мещении индукторов 4 и 5 вдоль координаты У происходит экспозиция участков объекта 8, расположенных на прямой, параллельной координате У. Таким образом, для экспонирования определенных участков, устройство программного управления

12 задает перемещения индукторов 4 и 5 таким образом, чтобы луч света попадал на нужные участки экспонируемого объекта.

Устройство программного управления 12, эацавая скорости перемещения индукторов 4 и 5 по координатам Х и У и регулируя доэатором 11 энергию излучения, может формировать необходимую траекторию движения луча. относительно экспонируемого объекта 8 и формировать на объекте не только прямолинейные, но и криволинейные участки изображения.

0ба иидуктора 4 и 5 перемещаются по координате У синхронно, не имея механической азази, а имея только управление от общих сигиаиов блока управления приводом.

Несмотря на то, что исполнительный орган устройства — индуктор 5 может перемещатъся одновременно по двум координатам Х и У, 4 достаточно массивный источник излучения (лазер) 10 может быть неподвижным ввиду наличия второго индуктора 4, синхронизированного первым индуктором 5 по перемещению в направлении оси У.

Так как в предлагаемом устройстве и об. рабатываемый объект 8 и источник излучения

10 вместе с дозатором излучения 11 неподвижны, то перемещающиеся и щукторы 4 и 5 мо10 гут быть изготовлены малоинерционными.

Таким образом технико-экономические преимущества описанного устройства заключаются в увеличении быстродействия за счет малоинерционности элементов устройства, что позволяет повысить производительность устройства.

Формула изобретения

1. Устройство для дискретного по площади экспонирования объекта, содержащее координатный стол, каретку однокоординапгого перемещения и каретку двухкоординатного перемещения

25 с приводами их перемещений, держатель экспонируемого объекта, оптическую систему, источник излучения, дозатор излучения, устройство программного управления и блок управления приводами кареток, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, каретки выполнены в виде двух механически независимых установленных в одной плоскости подвижных индукторов-роторов линейного шагового двигателя, причем приводы синхрони ного :перемещения обеих кареток по одной координате подключены к одному из входов блока управления приводами, выход которого по второй координате подключен к другому приводу каретки двухкоординатного перемеще40 ния, причем источник излучения и держатель экспонируемого объекта установлены неподвижно.

2. Устройство поп. 1,о тл ичаю шее с я тем, что в качестве статора линейного

45 шагового двигателя использована опорная магнитная поверхность координатного стола, имеюпая выраженные полюса по всей плос. кости.

Источники информации, 5р принятые Во внимание при экспертизе

1. Патент США N4 3617125, НКИ 355 — 46, 1971.

2. Патент США Х 3641885, кл. 354 — 4, 1972 (прототип) .