Вакуумная установка для нанесения покрытий

Вакуумная установка для нанесения покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскмк

Соцмалистинескмх

Республик

<н855072

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 190974 (2 I) 2067215/18-21 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 15.0881. Бюллетень ¹ 30 (53}M. Кл

С 23 С 13/08

Государственный комитет

СССР но делам изобретений н открытии (53) УДЫ 621. 793. 14 (088. 8) Дата опубликования описания 150881 (72) Авторы изобретения

Г.А. Алексеев, В.А. Дубинский и Н.С. Яшкин (71) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к вакуумному машиностроению и предназначено для вакуумного нанесения пленочных покрытий преимущественно на изделия электронной техники.

Известна вакуумная установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру с размещенными в ней источником наносимого материала и подложкодержателем и шлюзовое транспортирующее устройство (1).

Недостатком установки является ее низкая производительность и большие габариты.

Цель изобретения — повышение производительности и уменьшение габа.ритов.

Поставленная цель достигается тем, что в вакуумной установке, содержащей рабочую камеру с размещенными в ней источником наносимого материала и подложкодержателем и шлюзовое транспортирующее устройство,шлюзовое транспортирующее устройство выполнено в виде двух параллельных штоков, жестко соединенных между собой, рабочая камера снабжена толкателем, установленным перпенди кулярно продольной оси штоков, а под ложкодержатель расположен между штоками. Причем подложкодержатель выполнен в виде двух направляющих.

На чертеже схематически представ5 лена вакуумная установка для нанесения покрытий.

Установка содержит вакуумную технологическую камеру 1, технологические позиции 2 и 3 (например предварительного нагрева и напыления), высоковакуумный откачной агрегат 4 и шлюзовые системы, состоящие, например из двух входных шлюзовых камер 5 и 6 и выходных камер 7 и 8 с насосами 9 и 10 ступенчатой откачки, каждый иэ которых откачивает одновременно по две шлюзовые камеры, соответствующие давлению в камерах

6 и 7 и 5 и 8. Внутри шлюзовых камер расположено шлюзовое транспортирующее устройство, выполненное в виде штоков 11 и 12, жестко соединенных между собой поперечиной 13 и соединенных с приводом 14 возвратно-поступательного движения. Каждый из штоков имеет пазы 15 и 16, в которых располагаются подложки 17.

Съем подложек с загрузочного штока на направляющие 18 производится толкателем 19, кинематически соединенным с приводом 14. Защита эоны

855072

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 6843/40 Тираж 1048 Подписное филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 загрузки заготовок в установку и выгрузки готовой продукции обеспечивается скафакдром 20 и обеспыленной средой;

Работа предлагаемой установки происходит следующим образом. 5

После включения откачных средств, включающих в себя агрегат 4 и насосы 9 и 10, и достижения в камерах 1, 5-8 нужного вакуума и установление нужного режима технологических пози-. ций 2 и 3 (например нагревателя подложек и испарителя) в паз 15 штока 12, находящихся в исходном положении в зоне загрузки скафандра 20,: устанавливается подложка 17. Затем включается привод 14 и шток 12 проносит подложку 17 через шлюзовые камеры 5 и 6 со ступенчатым понижением давления в технологическую камеру 1. В технологической камере подложка толкателя 19 сталкивается на 20 направляющие 18, после чего шток 12 возвращается в исходное положение и описанные операции повторяются.

При..сталкивании на направляющие вто-. рой подложки, она подтолкнет первую 25 по направлению к технологическим позициям. Далее шток 12 приносит третью подложку, которая проталкивает по направлению к позициям 2 и 3 первые две подложки. Так про- 0 должается до тех пор, пока первая подложка не пройдет технологические позиции 2 и 3 и не загрузится в паз

16 штока 11. Далее одновременно с загрузкой последующих подложек шток 35

12 производит выгрузку уже прошедших технологическую обработку подложек штоком 11 внутри скафандра 20.

Продолжительность технологической обработки в камере может не совпадать с временем между двумя после- 40 довательными выгрузками отработанных подложек. Разделение функций шлюзования подложек и функции транспортировки их по технологической цепочке в камере позволяет настроить предлагаемую установку на любой ритм при сохранении заданного времени технологической обработки подложек путем искусственного увеличения длины пути, проходимого подложкой в вакуумной камере в зоне дейетвия технологических факторов.

В связи с этим появляется возможность согласования ритма работы предлагаемой установки с ритмом работы других автоматов при встраивании ее в конвейерную линию.

1. Вакуумная установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру с размещенными в ней источником наносимого материала и подложкодержателем и шлюзовое транспортирующее устройство, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью повышения производительности и уменьшения габаритов установки, шлюзовое транспортирующее устройство выполнено в виде двух параллельных штоков, жестко соединенных между собой, рабочая камера снабжена толкателем, установленным перпендикулярно продольной оси штоков, а подложкодержатель расположен между штоками.

2. Установка по п.1, о т л ич а ю щ а я с я тем, что подложкодержатель выполнен в виде двух направляющих.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем.

М., "Энергия", 1972, с. 96.