Высоковакуумный электрический ввод

Высоковакуумный электрический ввод

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (i»855746 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 02. 11. 79 (21) 2835633/24-07 с присоединением заявки Йо (23) Приоритет

Опубликовано 15ф881. Бюллетень Йо 30 (51)М. Кл.

Н 01 В 17/26

Государственный комитет

СССР но дедам нзобретеннй н открыта» (53) УДК 621.315 (088.8) Дата опубликования описания 15. 08. 81 (5 4 ) ВЫСОКОВАКУУИНЫЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВВОД

Изобретение относится к электротехнике, в частности к установкам для напыления металлов и выращивания кристаллов.

Известен электрический ввод в вакуумную камеру, состоящий из мембраиы, токоввода и фланцевого соединения P1) .

Однако указанный электрический ввод имеет огранич"нный ход и скорость вращения за счет использования резиновой мембраны, поэтому возникает разрушение материала мебраны, а также большое газовыделение в рабочий объем камеры, особено при тер- т5 моциклировании. В результате этого данный электрический ввод мало надежен, применение его ограничено.

Наиболее близким к изобретению является высоковакуумный электричес- 20 кий ввод, содержащий токоввод, металлокерамический узел, герметичный корпус, сильфонный узел и присоединительные фланцы j2).

Недостатками известного электри- 25 ческого ввода являются малый ход токоввода, так как сильфонный узел предназначен для небольших перемещений, а также отсутствует возможность вращательного и винтового дви 30 жения, которое необходимо осуществлять в напылительных установках и в установках для выращивания кристаллов.

Цель изобретения — расширение функциональных возможностей.

Поставленная цель достигается тем, что высоковакуумный электрический ввод, содержащий расположенный в герметичном корпусе электрод и охватывающий его изоляционный элемент,. снабжен экраном, выполненным в виде телескопически соединенных втулок с отогнутыми в противоположные стороны концами и расположенным в жидкостном уплотнителе, причем высота втулок соответствует высоте слоя уплотнителя, а изоляционный элемент герметично соединен с экраном и электродом.

На чертеже показано устройство, общий вид, разрез..

Устройство содержит электрод 1, герметично соединенный с изоляционным элементом 2, нижняя часть которого герметично соединена с экраном

3, на нижнем конце которого выполнена промежуточная ванна 4, на верхней части электрода 1,установлен электроконтакт 5. B качестве уплот855746 нителя электрического ввода используется заполненная в ванну б жйдкость 7. В ванне б размещаются телескопические втулки 8, каждая из ко.торых выполнена с отогнутыми в противоположные стороны концами, образующими верхние и нижние оппозитно расположенные буртики с -образными выемками, при этом верхние буртики имеют контакты 9 с проводами 10, соединенные с разъемом 11, а нижние представляют собой промежуточные ванны 12, на концах которых установлены диэлектрические кольца 13.Диэлектрические кольца 14 установлены также на верхних буртиках телескопических втулок 8. Ванна б имеет изоляцию 15 и ограничитель 16 перемещения. Токоввод изолирован также от ванны б керамической втулкой 17, закрепленной байонетно. В нижней части электрода 1 имеется узел 18 вакуумного уплотнения, состоящий из резиновых манжет 19, фторопластовых втулок 20 и гайки 21. Узел, вакуумного уплотнения размещен в герметичном корпусе 22, соединенном с ванной 6 и имеющем штуцер 23 для откачки внутреннего объема. Ванна 6 в верхней части имеет фланец 24, с уплотнителем 25, обеспечивающим герметичное соединение высоковакуумного электрического ввода с рабочим объемом камеры (на чертеже не показана).

Устройство работает следующим образом.

Перед началом использования электрического ввода в ванну б заливают вакуумный уплотнитель 7. Затем при соединительный фланец 24 через уплотнение 25 герметично подсоединяют к рабочему объему установки и производят одновременно откачку внутреннего объема корпуса 22 через штуцер

23 и рабочего объема камеры установки до давления 10 Па. После этого уплотнение готово к работе. Для передачи нужного движения электрод 1 вращают или поступательно перемещают.

При этом обеспечивается контактирование иэделий с устройствами контактами 5 и 9. При поступательном перемещении экран 3 захватывает стенкой промежуточной ванны 4 соседнюю телескопическую втулку 8,вынимая ее из ванны б выше уровня вакуумного уплотнения 7, при этом герметичность уплотнения не нарушается за с ет того, что в промежуточной ванне 4 находится V-образная выемка телескопической втулки 8, окруженная уплотнителем 7. Таким образом, по мере увеличения перемещения электрода захватываются и выходят из ванны 6 все стаканчики 8,образуя телескопический экран. Электрод при этом может вращаться. Электроизоляцию электрода 1 и телескопических втулок 8 обеспечивают резиновая манжета 19,:. фторопластовые втулки 20,-внутренняя выемка керамической втулки 17 и диэлектрические кольца 14. Кроме того, внутренняя поверхность ванны б имеет изоляцию 15. Для ограничения переме щения крайней втулки 8 установлен

15 ограничитель 16, находящийся в ванне б постоянно ниже поверхности уплотнителя на 2-4 мм.

Предлагаемое устройство высоковакуумного электрического ввода

gg позволяет осуществлять в рабочем объеме камеры соединение токоведущих цепей с источниками питания и измерения, находящихся за пределами установки, а также обеспечивает вращательно-поступательные движения энергетических систем с одновременной подачей энергии, работающих в сверхвысоковакуумных установках с давлением не ниже 10 Па.

Формула изобретения

Высоковакуумный электрический ввод, содержащий расположенный в герметичном корпусе электрод, охватывающий eyq изоляционный элемент, о тл и ч ающи и сятем,,что, с целью расширения функциональных воэможностей, снабжен жидкостным уплотнителем и расположенным в нем ® экраном, выполненным в виде телескопически соединенных втулок с отогнутыми в противоположные стороны концами, при этом изоляционный элемент герметично соединен с экраном и электродом, а высота втулок соответствует высоте уплотнителя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Фролов E.Ñ. и др. Вакуумные щ системы и их элементы. Атлас-справочник. N., "Машиностроение", 1968, с. 98, рис. 76.

2. Фролов E.Ñ. и др. Вакуумные системы и их элементы. Атлас-справочник. М., "Машиностроение", 1968, с. 98, рис. 76 ж.

855746

Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений-и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раумская наб., д. 4/5

Закаэ 6924/73

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная,4

Составитель В; Подъячев

Редактор Jf. Копецкая Техред Л. Пекарь КорректорС. Шекмар