Устройство для подачи плоских деталей,преимушественно полупроводниковых пластин

Устройство для подачи плоских деталей,преимушественно полупроводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Со.оэ Советских

Со;.иалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свод-ву— (22) Заявлено 1 90379 (21) 2741405/18-21 (53) М. Кл. с присоединением эаявни ¹ (23) Приоритет—

H L 21/00

Н 05 К 13/02

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 150881. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 150081 (5З) УДК 621.867 (088. 8) (72) Авторы изобретения

M.М.Ващук, Н.И,Никулин, П.Н.Маслен цкон

В.H.Êîìàðîâ и 10.Н.Портянников (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ

ПРЕИМУ(. (ЕСТВЕННО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

ПЛАСТИН

Изобретение относится к автоматизации технологических процессов и может быть применено, например, в приборостроении и радиоэлектронной промышленности на тех операциях,где требуется поштучная передача деталей от питателя к рабочей позиции, в частности полупроводниковых пластин при их очистке или фотошаблонов при нанесении фоторезиста.

Известно загрузочное устройство с гидравлическим управлением, содержащее каретку, перемещающуюся по направляющим и снабженную захватом для детали с принудительным приводом.

При загрузке в гнездо рабочей позиции детали последняя отделяется от захвата с помоц|ью гидравлической системы управления. Эта система имеет два соединенных между собой гидроцилиндра, которые взаимодействуют с захватом посредством кулачконо-рычажного механизма, связанного с кареткой flj.

Однако данное устройство имеет сложную конструкцию из-эа наличия принудительного привода захвата . Кроме того, этот привод значительно загромождает рабочую зону обработки деталей.

Наиболее близким к изобретению является устройство для подачи плоских деталей, содержащее установленные на станине питатель, механизм об1Заботкв и механизм транспортирования, выполненный н виде каретки, установленной на направляющих с воэможностью возвратно-поступательного перемещения, и отсекатель (2), Недостатком известного устройства для передачИ плоских деталей янляется возможность механических повреждений транспортируемой детали при трении ее поверхности о наклонную поверхность клинообразного упора.

Цель изобретения — понышение надежности подачи и уменьшение механических повреждений деталей.

Цель достигается тем, что в устройстве для передачи плоских деталей, преимуцестненно полупроводниковых пластин, содержащем установленные на станине питатель, механизм обработки и механизм транспортирования выполненный в виде каретки, установленной на направляющих с воэможностью возвратно- поступательного перемещения, и отсекатель, последний снабжен механизмом качания и выполнен в виде закрепленной на,855791

Формула изобретения

55 бО

65 станине Г-образной рамки с подвижным упором.

При этом механизм качания выполнен в виде шарнирно закрепленного на оси рамки груза, а каретка снабжена толкателем, причем груз установлен с возможностью взаимодействия с толкателем.

Кроме того, механизм качания может быть выполнен в виде сопла, соединенного с системой сжатого воздуха.

На фиг.1 изображено устройство для подачи плоских деталей, преимуществейно полупроводниковых пластин, с механизмом качания в виде груза; на фиг.2 — узел 1 на фиг.1 (механизм обработки с механизмом качания в . внуке груза).; на фиг.3 - то же, вид сверху; на фиг.4 - устройство для подачи плоских деталей с механизмом качания в виде сопла; на фиг.5 — узел П на фиг.4 (механизм обработки с механизмом качания в виде сопла), Устройство содержит станину 1, на которой установлен механизм транспортирования в виде каретки 2 с гнездом 3 для обрабатываемой детали. Каретка 2 установлена с воэможностью возвратно-поступательного движения по направляющим 4. На станине 1 смонтирован также питатель

5 (ванна для отмывки полупроводниковых пластин, внутри которой размещен шнековый транспортер 6, обеспечивающий поштучную выгрузку обрабатываемых деталей) . Каретка 2 осуществляет поштучную загрузку деталей на механизм обработки, например центрифугу ?. Внутри кожуха центрифуги 7 расположен подвижный упор 8, который жестко закреплен на Г-образной рамке 9. Г-образная р мка 9 смонтирована на станине 1 с возможностью качания относительно горизонтальной оси 10, перпендикулярной направлению движения каретки 2. На противоположных концах оси 10 шарнирно закреплены грузы 11, которые взаимодействуют с толкателями 12 и

13, и при этом подвижный упор 8 может находиться в нижнем (утопленном) или верхнем (приподнятом) положении относительно рабочей поверхности гнезда 3 для обрабатываемой детали 14, Центрифуга 7 снабжена ротором 15 и подвижным столиком 16.

Для подъема упора 8 служит сопла 17, соединяемое периодически с сетью сжатого воздуха.

Устройство работает следующим образом.

При перемещении каретки 2 выгруженная иэ питателя 5 плоская деталь

14 (например, полупроводниковая пластина) попадает вначале в гнездо

3 каретки 2. При дальнейшем движении каретки 2 деталь 14 транспооти10

ЗО

3S

50 руется над подвижным упором 8, находящемся в нижнем (утопленном) положении, не касаясь при этом его поверхности, и движется в направлении к зоне обработки — центрифуге 7. При этом столик 16 находится в поднятом (верхнем) положении, и его рабочая поверхность размещена ниже плоскости обрабатываемой детали 14 /например, на 0,2 — 0,.4 мм). После того, как деталь 14 достигает крайнего положения, симметрично расположенные толкатели 13 нажимают на грузы

11, перебрасывая их на противоположную сторону относительно оси 10.

При этом грузы 11, связанные с Гобразной рамкой 9 через ось 10, поднимают подвижный упор 8. Затем каретке 2 сообщается обратный ход при котором деталь 14 перемещается вместе с кареткой 2 до тех пор пока не упрется в подвижный упор 8. Задержанная подвижным упором 8 деталь

14 при дальнейшем перемещении каретки 2 остается на поверхности столика 16, который опускается, и деталь

14 загружается в ротор 15, где закрепляется с помощью вакуумных присосок на центрифуге 7, При дальнейшем обратном ходе каретки 2 толкатель 12 перебрасывает грузы 11 в первоначальное положение, и подвижный упор 3 принимает нижнее положение. После окончания рабочего процесса в зоне обработки (например, с помощью центрифугирования) и выгрузки оттуда детали 14 очередная деталь из питателя 5 попадает в гнездо 3 каретки 2, и процесс повторяется.

В другом варианте конструктивного исполнения средством качания Г-образной рамки 9 служит сопло 17,, соединенное с источником сжатого воздуха. С помощью сопла 17 осуществляется управление подвижным упором 8, обеспечивающим работоспособность предлагаемого устройства, а следовательно, и автомата отмывки пластин, в котором использовано данное устройство.

Изобретение полностью устраняет контактирование детали с упором в процессе ее транспортировки к позиции, что исключает возможность механических повреждений детали.

1. Устройство для подачи плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащее установленные на станине питатель, механизм обработки и механизм транспортирования, выполненный в виде каретки, установленной на направляющих с воэможностью возвратно-поступательного перемещения, и отсекатель, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности подачи и умень855791 шения механических повреждений деталей,отсекатель снабжен механизмом качания и выполнен в виде закрепленной на станине Г-образной рамки с подвижным упором.

2. Устройство по п.l, о т л и ч а ю ц е е с я тем, что механизм ка чания выполнен в ниде шарнирно закрепленного на оси рамки, груза, а каретка снабжена толкатепем, причем груз установлен с возможностью взаимодействия с толкателем.

3. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что механизм качания выполнен в виде сопла, соединенного с системой сжатого воздуха.

Источники информации, принятые во внимание при экспер с ертиэе

1. Заявка Франции Р 2.271.900, кл. В 23 Q 7/00, 1976, 2. Патент Японии 9 51-4098, 1976

,прототип).

855791

Составитель Л. Гришкова

Техред N. Рейвес Корректор Л. Иван

Редактор Л.Копецкая

Закаэ 6943/7б тираж 184 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4